不論是應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的陶瓷材料请梢、還是不銹鋼和鈦等難切削的加工材料士袜,斗山機(jī)床都擁有完善的解決方案摆抑。
每年韓國(guó)IT產(chǎn)業(yè)所需的80%以上的機(jī)床是由斗山機(jī)床提供塘丝。斗山機(jī)床擁有完善的售前售后服務(wù)赔癌,秉承著顧客至上的原則,無(wú)論在什么情況下澜沟,都能夠?yàn)榭蛻籼峁┳钔昝赖姆?wù)及多種不同的解決方案灾票。
#01
前工藝設(shè)備
(一)真空裝置
(二)噴射/清洗/加熱
(三)拋光/金屬化
(四)晶圓傳輸系統(tǒng)
#02
后工藝設(shè)備
(五)晶圓檢查設(shè)備
(六)模具
(七)切屑檢查設(shè)備
#03
其它設(shè)備
其他零部件
CMP拋光墊
【主要材料】
聚氨酯
【加工特征】
干式加工
通過集塵處理保持清潔
對(duì)研磨作業(yè)有利的真空卡盤夾具
【斗山推薦設(shè)備】
PUMA VT series
高性能立式車削中心
干式加工 集塵裝置 真空卡盤
強(qiáng)力主軸
在同級(jí)別產(chǎn)品中采用最大功率/扭矩規(guī)格
執(zhí)行強(qiáng)力切削,可期待加工性能的提升
為高扭矩茫虽,提供齒輪箱類型的主軸
客戶的選擇面有所增加
最大轉(zhuǎn)速 1800r/min
最大扭矩 4443N.m
最大功率(S3 60%/連續(xù)) 45/37W
多重集塵裝置
靶材
【主要材料】
銅刊苍、鋁、鈦
【加工特征】
要求精密度:溫度調(diào)節(jié)
要求精密度:高度測(cè)量?jī)x器
批量生產(chǎn):自動(dòng)化應(yīng)對(duì)
【斗山推薦設(shè)備】
PUMA V8300M
高性能立式車削中心
高精密 自動(dòng)化
冷水機(jī)及測(cè)量?jī)x器
自動(dòng)化解決方案:機(jī)器人
提高生產(chǎn)性
新工藝比原工藝提高11%
(斗山機(jī)床中國(guó)有限公司)
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