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【加工案例】斗山機(jī)床在半導(dǎo)體中的應(yīng)用(三)拋光/金屬化

不論是應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的陶瓷材料请梢、還是不銹鋼和鈦等難切削的加工材料士袜,斗山機(jī)床都擁有完善的解決方案摆抑。

每年韓國(guó)IT產(chǎn)業(yè)所需的80%以上的機(jī)床是由斗山機(jī)床提供塘丝。斗山機(jī)床擁有完善的售前售后服務(wù)赔癌,秉承著顧客至上的原則,無(wú)論在什么情況下澜沟,都能夠?yàn)榭蛻籼峁┳钔昝赖姆?wù)及多種不同的解決方案灾票。

#01

前工藝設(shè)備

(一)真空裝置

(二)噴射/清洗/加熱

(三)拋光/金屬化

(四)晶圓傳輸系統(tǒng)

#02

后工藝設(shè)備

(五)晶圓檢查設(shè)備

(六)模具

(七)切屑檢查設(shè)備

#03

其它設(shè)備

其他零部件

CMP拋光墊

【主要材料】

聚氨酯

【加工特征】

干式加工

通過集塵處理保持清潔

對(duì)研磨作業(yè)有利的真空卡盤夾具

【斗山推薦設(shè)備】

PUMA VT series

高性能立式車削中心

干式加工 集塵裝置 真空卡盤

強(qiáng)力主軸

在同級(jí)別產(chǎn)品中采用最大功率/扭矩規(guī)格

執(zhí)行強(qiáng)力切削,可期待加工性能的提升

為高扭矩茫虽,提供齒輪箱類型的主軸

客戶的選擇面有所增加

最大轉(zhuǎn)速 1800r/min

最大扭矩 4443N.m

最大功率(S3 60%/連續(xù)) 45/37W

多重集塵裝置

靶材

【主要材料】

銅刊苍、鋁、鈦

【加工特征】

要求精密度:溫度調(diào)節(jié)

要求精密度:高度測(cè)量?jī)x

批量生產(chǎn):自動(dòng)化應(yīng)對(duì)

【斗山推薦設(shè)備】

PUMA V8300M

高性能立式車削中心

高精密 自動(dòng)化

冷水機(jī)及測(cè)量?jī)x器

自動(dòng)化解決方案:機(jī)器人

提高生產(chǎn)性

新工藝比原工藝提高11%


(斗山機(jī)床中國(guó)有限公司)

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