不日前偎窘，2023年Semicon China展會(huì)在一片熱烈氛圍中順利收官。展會(huì)進(jìn)行期間罕偎，F(xiàn)esto展位現(xiàn)場(chǎng)人潮絡(luò)繹不絕很澄，眾多「費(fèi)家明星」以其在半導(dǎo)體制造中的能力展現(xiàn)吸引了無(wú)數(shù)觀眾目光。其中颜及，主打晶圓防護(hù)的「專(zhuān)業(yè)清道夫」N2 Purge氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)備受關(guān)注甩苛。

困擾半導(dǎo)體制造商們防污染問(wèn)題如何解決？

提高晶圓良品率的關(guān)鍵就是它俏站？

有沒(méi)有可能讯蒲，高效的解決方案只需簡(jiǎn)單的獲取方式？

 制造秘訣 一鍵揭曉  

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中乾翔，運(yùn)輸和儲(chǔ)存過(guò)程是防護(hù)關(guān)鍵點(diǎn)爱葵。氧氣、濕氣和氣態(tài)分子污染物隱藏在各處反浓，隨時(shí)等著對(duì)晶圓產(chǎn)生結(jié)構(gòu)性破壞。

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既能了解智造秘訣還能學(xué)外語(yǔ)

    成本    

Festo提供預(yù)組裝的功能單元赞哗，不僅減少了使用者在配件方面的額外費(fèi)用峡哥，還能降低裝配、管路和測(cè)試方面的成本蕴脯。

  安全性  

整套系統(tǒng)解決方案僅有兩個(gè)氣動(dòng)接口烙昼，得以減少氣體泄漏方面的風(fēng)險(xiǎn)。

    精度    

Festo比例流量控制器中含有帶比例方向的控制閥和壓電閥曼沐，可針對(duì)于不同流量場(chǎng)合實(shí)現(xiàn)可靠的精確控制泛红。

系統(tǒng)的閉合控制回路確保了流量的準(zhǔn)確和穩(wěn)定以及無(wú)遲滯的線性行為〔停基于伯努利效應(yīng)的流量測(cè)量技術(shù)麻镶，使得流量能在上游壓力瞬變時(shí)仍具有卓越穩(wěn)定性。

 使用壽命  

壓電比例閥在工作時(shí)不發(fā)熱匿胎、無(wú)磁場(chǎng)端葵、基本不產(chǎn)生噪音。其設(shè)計(jì)能在整個(gè)使用期有效規(guī)避因顆粒磨損引起的氣流污染問(wèn)題公垒，從而預(yù)防由摩擦造成的磨損新框，大幅延長(zhǎng)閥門(mén)的使用壽命。

    能耗    

采用壓電技術(shù)的比例流量控制閥僅在啟動(dòng)狀態(tài)下需要電流队魏，待機(jī)狀態(tài)下無(wú)需通電公般。與電流閥相比，壓電比例閥的能耗最多能減少95%胡桨。

    體積    

整套系統(tǒng)解決方案的部件小巧官帘、體積緊湊、構(gòu)造輕便，特別適用于對(duì)操作設(shè)備有嚴(yán)格限制的空間有限的生產(chǎn)區(qū)遏佣。

功能豐富度

吹掃和真空功能集成在一個(gè)系統(tǒng)中挖炬，以豐富其功能性價(jià)值；流量控制器更能集成到高架運(yùn)輸系統(tǒng)中状婶，實(shí)現(xiàn)靈活化應(yīng)用意敛。

9月6日-8日

Festo期待與更多半導(dǎo)體行業(yè)伙伴一起

再會(huì)于臺(tái)灣SEMICON展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)

（費(fèi)斯托中國(guó)）

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