微流控芯片技術(shù)馏段，是一種操控微尺度流體的技術(shù)男枝，主要涉及亞微米級結(jié)構(gòu)的運(yùn)用 稀境，也被稱為芯片實(shí)驗(yàn)室（Lab-on-a-Chip）悟旧。該技術(shù)將化學(xué)嚼锄、生物以及藥物分析流程中的樣品制備、反應(yīng)蔽豺、分離区丑、檢測等一系列操作單元，整合在一塊微米尺度的芯片上修陡。憑借其微型化沧侥、集成化和自動化的優(yōu)勢，微流控芯片技術(shù)在藥物制劑研發(fā)與生產(chǎn)濒析、高通量藥物篩選分析、生物傳感器制造等生命科學(xué)研究領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用啥纸，極大地推動了相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)革新與發(fā)展号杏。  

作為全球表面計(jì)量領(lǐng)域的先行者，馬爾在微流控芯片技術(shù)領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)斯棒，特別是在微通道幾何尺寸盾致、表面光潔度和微型傳感器3D形貌分析等方面。源自德國制造的MarSurf CM explorer 3D光學(xué)解決方案荣暮，能夠精準(zhǔn)契合微流控芯片技術(shù)領(lǐng)域?qū)苄蚊矞y量的嚴(yán)苛需求庭惜。  

馬爾3D共聚焦顯微鏡 

– MarSurf CM explorer 100

? 基于共聚焦逐層掃描原理的非接觸式測量技術(shù)  

? 2納米的縱向分辨率   

? 80納米的橫向分辨率   

? 卓越的重復(fù)精度高達(dá)0.15納米   

? 快速測量并實(shí)現(xiàn)大范圍自動3D拼接   

? 超高動態(tài)性能仇钞，可同時(shí)測量金屬，非金屬和涂層表面   

? 全電動大行程CNC平臺籽钝，操作簡單方便可實(shí)現(xiàn)自動化批量檢測

馬爾3D共聚焦顯微鏡 

– 在微流控芯片中的測量參數(shù)

2D和3D 形貌幾何分析

? 微觀元器件檢測  

? 注入口和微通道連接檢測   

? 微通道寬度毯甘、深度、體積和面積等分析   

? 壓力傳感器直徑航赦、間距和空間等分析   

? 3D數(shù)模比對

粗糙度測量分析 - 表面光潔度會影響流體的流通

? 浸濕  

? 流量   

? 表面張力（液滴形狀）

應(yīng)用案例

微流控芯片中的微通道3D形貌

  可分析寬度沙书、深度、角度和通道內(nèi)粗糙度犹狮，平面度等參數(shù)

微流控芯片中的傳感器3D形貌

可分析傳感器曲率半徑优学、PV、幾何結(jié)構(gòu)特征和3D數(shù)模比對等    

（Mahr馬爾精密量儀）

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