據(jù)日經(jīng)BP社報(bào)道：日本相繼推出了與MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)以息，Micro Electro Mechanical Systems）相關(guān)的國(guó)家項(xiàng)目。預(yù)算總額達(dá)一百數(shù)十億日元，將大大推動(dòng)MEMS相關(guān)開(kāi)發(fā)曹仗。
　　2007年夏季，作為日本文部科學(xué)省科學(xué)技術(shù)及學(xué)術(shù)政策局推進(jìn)的“尖端融合領(lǐng)域革新創(chuàng)造基地的形成”計(jì)劃的課題之一——“微系統(tǒng)融合研究開(kāi)發(fā)”啟動(dòng)了產(chǎn)學(xué)合作項(xiàng)目蠕搜。日本東北大學(xué)的江刺正喜研究小組與理光怎茫、豐田汽車(chē)等11家公司于2007年夏季共同啟動(dòng)了產(chǎn)學(xué)合作項(xiàng)目。目標(biāo)是通過(guò)走在MEMS領(lǐng)域前沿的研究小組與擁有具體應(yīng)用對(duì)象的企業(yè)合作妓灌，使各種MEMS技術(shù)盡快達(dá)到實(shí)用水平轨蛤。該項(xiàng)目使用的是科學(xué)技術(shù)振興調(diào)節(jié)資金。首年度預(yù)算為3億日元虫埂。特點(diǎn)是擁有可低成本試制MEMS元件的體制祥山。
　　日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省主導(dǎo)的項(xiàng)目包括2008年度開(kāi)始的“BEANS（Bio Electro-mechanical Autonomous Nano Systems）項(xiàng)目”和“夢(mèng)幻芯片開(kāi)發(fā)項(xiàng)目”。BEANS計(jì)劃在2008～2012的5年內(nèi)以約100億日元的預(yù)算實(shí)施掉伏。將把生物科技和納米功能融入MEMS技術(shù)缝呕，推進(jìn)旨在開(kāi)拓新應(yīng)用的研究。該項(xiàng)目由全權(quán)制定微機(jī)械和MEMS相關(guān)政策的日本制造產(chǎn)業(yè)局產(chǎn)業(yè)機(jī)械科負(fù)責(zé)斧散。夢(mèng)幻芯片開(kāi)發(fā)項(xiàng)目旨在開(kāi)發(fā)三維LSI诚咪，計(jì)劃5年內(nèi)有數(shù)十億日元的預(yù)算（粗略估計(jì)為15億日元/年）。由全權(quán)制定LSI和電子設(shè)備相關(guān)政策的日本商務(wù)信息政策局信息通信設(shè)備科負(fù)責(zé)沉卷。
　　綜上所述准贯，今后5年內(nèi)日本將會(huì)有前所未有的巨額MEMS預(yù)算被執(zhí)行。設(shè)備及材料廠商有望接到大量“特需”訂單凰拇。 

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