海德漢編碼器的核心部分是測(cè)量基準(zhǔn),通常是柵距為0.25μm到10μm的刻線。這些精確的刻線是由海德漢先進(jìn)的工藝制作出來的(比如DIADUR或AURODUR工藝),它們是影響海德漢編碼器精度的決定性因素度陆。這些刻線存在于規(guī)定的細(xì)小間隔里,它們的邊緣清晰度很高献幔。而且刻線抵抗機(jī)械和化學(xué)影響的能力強(qiáng)懂傀,抗震動(dòng)和沖擊的能力也很強(qiáng)。有固定的熱膨脹性能蜡感。 |
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相位光柵 |
特殊的制造工藝可以生產(chǎn)出有特定光學(xué)特性的三維柵格蹬蚁。這些柵格的寬度在幾個(gè)微米到四分之一微米之間。 |
SUPRADUR |
SUPRADUR工藝制造出來的柵格很像三維光柵郑兴,但它們只有平面結(jié)構(gòu)缚忧,所以抗污染能力很強(qiáng)。 |
MAGNODUR |
只有幾個(gè)微米的非常薄的磁性層上有很精細(xì)的磁柵杈笔。 |
DIADUR |
DIADUR精確刻線由基體上非常薄的鉻層構(gòu)成闪水,通常基體為玻璃或玻璃陶瓷蒙具℃腋纾刻線的精度在微米和亞微米的氛圍內(nèi)。 |
AURODUR |
AURODUR刻線是由高反射率的被腐蝕的金線構(gòu)成勒蜀。AURODUR刻線的基體通常是鋼津咒。 |
METALLUR |
由于反射黃金層的特殊光學(xué)合成物, METALLUR刻線顯示為實(shí)際成面構(gòu)造雁碘。因此它們特別抗污染哩拔。 | |
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