由PVD技術(shù)所產(chǎn)生的硬質(zhì)涂層已在用于金屬切割和成型模具行業(yè)取得令業(yè)界滿意的成果汗销,這些涂層包括:TiN旧毯、TiAlN物少、TiCN和CrN等。星弧涂層在該行業(yè)所開發(fā)的以Cr為基礎(chǔ)的CromaStar系列涂層的成績尤為突出升价。
CromaStar涂層采用星弧涂層的增強型磁控陰極弧技術(shù)沉積而獲得慢俄。傳統(tǒng)的電弧硬膜沉積技術(shù)茧天,由于電弧技術(shù)的特點,所沉積的膜層通常含有較大的有害顆粒和金屬液滴妄结,涂層所表現(xiàn)出的宏觀特性包括摩擦系統(tǒng)過高磨夕,涂層表面較為粗糙。由于采用增強型磁控陰極弧技術(shù)CromaStar具有表面形貌更加光滑蔓姚,膜層的摩擦系數(shù)更低和膜層的硬度更高的特點捕虽。從掃描電鏡下所觀測到的表面情況來看,CromaStar膜層致密坡脐、平整泄私,達(dá)到和磁控濺射技術(shù)所獲得的涂層表面質(zhì)量。 性能比較
|
CrN |
CromaStar |
摩擦系數(shù) |
0.94 |
0.1 |
硬度 |
Hv2200 |
Hv2800 |
使用數(shù)據(jù)表明备闲,在金屬冷壓成型模具上應(yīng)用CromaStar涂層可使其壽命提高數(shù)十倍甚至數(shù)百倍晌端。同時,由于涂層的良好表面質(zhì)量和低摩擦系數(shù)恬砂,被加工的產(chǎn)品質(zhì)量也得以提高斩松。與其它涂層(TiCN)相比,CromaStar在不銹鋼板材成型應(yīng)用方面也具有更好的使用結(jié)果觉既。這是因為CromaStar除了具有較低的摩擦系數(shù)之外,還具有非常優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性乳幸。它不易和鋼材中的其它化學(xué)元素產(chǎn)生化學(xué)鍵的結(jié)合瞪讼,從而使其不會產(chǎn)生粘料現(xiàn)象,模具表面在使用過程中始終光潔如新粹断。
其良好的耐磨性殖祈,CromaStar是提高金屬冷壓成型模具壽命極其成型產(chǎn)品品質(zhì)的優(yōu)良工藝選擇。此外恼孩,CromaStar的優(yōu)異化學(xué)穩(wěn)定性粮戈、極低的摩擦系數(shù)和高質(zhì)量的表面光潔度,使其在諸如半導(dǎo)體封裝等高精密模具行業(yè)有著非常廣泛的應(yīng)用前景牙硫。
來半導(dǎo)體IC封裝產(chǎn)品朝多腳化亭圆、輕薄化與引腳微細(xì)化發(fā)展。由于產(chǎn)品變的輕薄短小防徊,而產(chǎn)品的容許誤差量也越行縮小柏豆,導(dǎo)致其封裝模具需要更良好的耐腐蝕性能和耐磨性能。采用傳統(tǒng)鍍硬鉻表面處理工藝的封裝模具在完成封膠后选芦,黏著效應(yīng)的影響會造成硬化的封膠殘屑留在模具內(nèi)这毁,極可能對下一次的封裝造成損害。同時赌列,由于金屬鉻的硬度并不是太佳混闪,在耐磨性方面钮隙,不會對模具的使用壽命由太大的貢獻(xiàn)。星弧CromaStar涂層可充分考慮到相關(guān)業(yè)者于制程上所遭遇的問題属瓣,在與硬鉻耐磨耗的比較中载迄,其耐磨性較硬鉻高出近4倍。在PH值=2的酸液中常溫下浸入16小時硬鉻完全腐蝕奠涌,并深入基材0.8mm宪巨。而CromaStar僅有微小孔腐蝕痕跡。在實際應(yīng)用中溜畅,有CromaStar涂層的封裝模具的壽命可提高3~4倍捏卓,從而很大程度上降低了封裝業(yè)者在磨具上的使用成本。
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