傳感器和儀表元器件是儀器儀表與自動(dòng)化系統(tǒng)最基礎(chǔ)元器件之一眉尸。傳感器和儀表元器件具有服務(wù)面廣域蜗、品種繁多、需求量大等特點(diǎn)噪猾,其技術(shù)水平和產(chǎn)品質(zhì)量的提高筑累,將為我國(guó)制造業(yè)信息化奠定基礎(chǔ)。
現(xiàn)狀與問(wèn)題
我國(guó)傳感器和儀器儀表的技術(shù)和產(chǎn)品疗刮,經(jīng)過(guò)發(fā)展蝌购,有了較大的提高忿迷。全國(guó)已經(jīng)有1600多家企事業(yè)單位從事傳感器和儀表元器件的研制铅阎、開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)歌饺。但與國(guó)外相比瓢疤,我國(guó)傳感器和儀表元器件的產(chǎn)品品種和質(zhì)量水平,尚不能滿(mǎn)足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的需求愤凭,總體水平還處于國(guó)外上世紀(jì)90年代初期的水平窥窜。存在的主要問(wèn)題有:
(1)科技創(chuàng)新差原俘,核心制造技術(shù)嚴(yán)重滯后于國(guó)外划烫,擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品少哥谷,品種不全岸夯,產(chǎn)品技術(shù)水平與國(guó)外相差15年左右们妥。
(2)投資強(qiáng)度偏低,科研設(shè)備和生產(chǎn)工藝裝備落后监婶,成果水平低旅赢,產(chǎn)品質(zhì)量差惑惶。
(3)科技與生產(chǎn)脫節(jié),影響科研成果的轉(zhuǎn)化带污,綜合實(shí)力較低,產(chǎn)業(yè)發(fā)展后勁不足鱼冀。
戰(zhàn)略目標(biāo)
到2020年柔睡,傳感器及儀表元件領(lǐng)域應(yīng)爭(zhēng)取實(shí)現(xiàn)三大戰(zhàn)略目標(biāo):
以工業(yè)控制、汽車(chē)螺子、通訊、環(huán)保為重點(diǎn)服務(wù)領(lǐng)域蟹助,以傳感器纽肄、彈性元件遗渊、光學(xué)元件夹村、專(zhuān)用電路為重點(diǎn)對(duì)象邦墅,發(fā)展具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的原創(chuàng)性技術(shù)和產(chǎn)品;
以MEMS工藝為基礎(chǔ)灾测,以集成化垦巴、智能化和網(wǎng)絡(luò)化技術(shù)為依托,加強(qiáng)制造工藝和新型傳感器和儀表元器件的開(kāi)發(fā)秦爆,使主導(dǎo)產(chǎn)品達(dá)到和接近國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品的先進(jìn)水平憔披;
以增加品種、提高質(zhì)量和經(jīng)濟(jì)效益為主要目標(biāo)望门,加速產(chǎn)業(yè)化锰霜,使國(guó)產(chǎn)傳感器和儀表元器件的品種占有率達(dá)到70%~80%谊某,高檔產(chǎn)品達(dá)60%以上。
發(fā)展重點(diǎn)
傳感器技術(shù)
(1)MEMS工藝和新一代固態(tài)傳感器微結(jié)構(gòu)制造工藝:深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝估骡;封裝工藝:如常溫鍵合倒裝焊接、無(wú)應(yīng)力微薄結(jié)構(gòu)封裝尤喂、多芯片組裝工藝串篓;新型傳感器:如用微硅電容傳感器辽奥、微硅質(zhì)量流量傳感器绩寂、航空航天用動(dòng)態(tài)傳感器、微傳感器诅福,汽車(chē)專(zhuān)用壓力、加速度傳感器拖叙,環(huán)保用微化學(xué)傳感器等氓润。
(2)集成工藝和多變量復(fù)合傳感器微結(jié)構(gòu)集成制造工藝咖气;工業(yè)控制用多變量復(fù)合傳感器挖滤,如:壓力、靜壓斩松、溫度三變量傳感器,氣壓抵怎、風(fēng)力岭参、溫度、濕度四變量傳感器马怎,微硅復(fù)合應(yīng)變壓力傳感器票援,陳列傳感器。
(3)智能化技術(shù)與智能傳感器信號(hào)有線或無(wú)線探測(cè)校社、變換處理、邏輯判斷摸进、功能計(jì)算潘所、雙向通訊、自診斷等智能化技術(shù)畏梆;智能多變量傳感器奈懒,智能電量傳感器和各種智能傳感器、變送器铣猩。
(4)網(wǎng)絡(luò)化技術(shù)和網(wǎng)絡(luò)化傳感器傳感器網(wǎng)絡(luò)化技術(shù);網(wǎng)絡(luò)化傳感器贿肩,使傳感器具有工業(yè)化標(biāo)準(zhǔn)接口和協(xié)議功能龄寞。
儀表元器件
(1)彈性元件開(kāi)發(fā)和完善新型成型工藝:電沉積成型工藝鲁其,焊接成型工藝耻覆;重點(diǎn)開(kāi)發(fā)航空、航天用的低剛度慢荧、大位移朽慕、長(zhǎng)壽命的微小型精密波紋管,高溫高壓閥用波紋管盹挑;研制波紋管高效成型工藝設(shè)備和性能檢測(cè)儀器。
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