近期辨蓄，山東省光電子產(chǎn)業(yè)取得突破性進展，山東大學(xué)晶體材料國家重點實驗室碳化硅單晶爐研制成功宾芥，制約山東光電子發(fā)展的主要瓶頸已被打破侣夷。
　　
　　山東大學(xué)晶體材料國家重點實驗室繼碳化硅生長加工技術(shù)和器件應(yīng)用取得突破之后横朋，在消化吸收國外單晶爐的基礎(chǔ)上，綜合多年單晶生長和半導(dǎo)體薄膜外延的經(jīng)驗百拓，集成創(chuàng)新琴锭，成功地研制出2英寸碳化硅單晶爐，并生長出了2英寸碳化硅單晶耐版。
　　
　　碳化硅單晶產(chǎn)業(yè)化最后的一個難關(guān)被成功攻破祠够，實現(xiàn)了從單晶生長爐制造压汪、單晶生長粪牲、襯底加工和應(yīng)用的全部國產(chǎn)化。單晶爐的研發(fā)成功為我們走有山東特色的半導(dǎo)體照明奠定了堅實的基礎(chǔ)止剖，填補了國內(nèi)空白腺阳，打破了國外壟斷。

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