863計劃先進制造與自動化領域支持的“面向MEMS加工的精密定位技術的研究”進展順利,已經完成了二自由度笛卡爾坐標高速高精度定位系統(tǒng)研制工作耍休。

本課題在研究過程中,發(fā)展了一種由直線音圈電機直接驅動的2自由度笛卡爾坐標型用于IC芯片封裝的高速高精度定位裝置。其結構特點采用直線音圈電機直接驅動X、Y工作臺,省去了傳動環(huán)節(jié),而且音圈電機具有無滯后香题、高響應饶辆、高速度及高加速度、控制方便等特點,有效地提高了該定位裝置的性能雌隅。通過采用無間隙新型解耦結構,不僅使機構具有傳統(tǒng)XY工作臺運動學解耦的特點,而且可將驅動部件置于底座上,降低了機構的運動慣量翻默。采用直線光柵作為末端位置反饋,可以較好地保證系統(tǒng)的高速高精度。 本研究成果除用于面向MEMS微連接和組裝裝備的開發(fā)外,相關的單元技術在其它領域中,如IC封裝恰起、精密電子設備裝配流水線修械、生物芯片制備、大范圍高速掃描裝置中均有廣泛的應用前景检盼。面向不同的應用領域,通過單元技術集成,可開發(fā)出不同的應用系統(tǒng)肯污。

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