日本精工開發(fā)出面向半導(dǎo)體晶圓搬送機(jī)器人的軸承——“真空無塵環(huán)境用高清潔度軸承”盗晨，并將在2006年4月向市場推出角接觸球軸承、四點(diǎn)接觸球軸承和向心球軸承3種產(chǎn)品。該公司2004年推出了“真空無塵環(huán)境用N系列薄壁軸承”鞭玩，與此前產(chǎn)品相比該產(chǎn)品的脫氣和微塵較少啰林，而且潤滑油的耐久性也較高，新產(chǎn)品進(jìn)一步降低了脫氣离览，提高了耐久性能鸡焰。

　　發(fā)生脫氣的原因，首先就是使用有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗時(shí)殘留在軸承表面的油污限番，以及殘留在封裝上的潤滑材料等有機(jī)物舱污。其次，潤滑劑也會(huì)產(chǎn)生脫氣弥虐。

　　新產(chǎn)品的特點(diǎn)：（1）采用溶解力強(qiáng)的超純水進(jìn)行精密清洗扩灯；（2）開發(fā)出了新型封裝；（3）觸球軌道面采用了處理低蒸汽壓碳?xì)浠衔镉蜔颇さ摹癊-DFO”霜瘪。這樣一來珠插，將附著在軸承上的殘留有機(jī)物減少到了此前的大約1/5，同時(shí)將脫氣減至此前1/5颖对，耐久性能提高至此前5倍丧失。

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