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高精度合式測量系統(tǒng)
·U2（XY平面）=（2.0+L/250）μm
·分辨率 0.1μm
·兩個(gè)不同倍率光學(xué)系統(tǒng)
·具有專利權(quán)的可編程環(huán)光(PRL)
·Windows 2000操作系統(tǒng)
·自定義客戶界面
·獨(dú)有的邊緣尋邊的算法程序
| Benchmark 儀器參數(shù)指標(biāo) |
| 測量范圍 |
300×150×150 MM |
| 分辨率 |
0.1μm(0.000004") |
| 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) |
DC 伺服馬達(dá) |
| 速度 |
200 MM/sec |
| 載重 |
25kg |
| 物鏡放大倍數(shù) |
0.8x / 3.2x |
1x / 4x |
2.5x / 10x |
5x / 20x |
10x / 40x |
25x / 100x |
| 工作距離 |
84 MM |
34 MM |
32 MM |
33 MM |
20 MM |
13 MM |
| 視野（ MM） |
低倍
7.36
x
5.74 |
高倍
1.84 x 1.43 |
低倍
6.13 x 4.78 |
高倍
1.53
x
1.2 |
低倍
2.45 x 1.91 |
高倍
0.61 x 0.48 |
低倍
1.23 x 0.96 |
高倍
0.31
x
0.24 |
低倍
0.61 x 0.48 |
高倍
0.15 x 0.12 |
低倍
0.25 x 0.19 |
高倍
0.06
x
0.05 |
| 分辨率 |
9.96 |
2.49 |
8.3 |
2.08 |
3.32 |
0.83 |
1.66 |
0.42 |
0.83 |
0.21 |
0.33 |
0.08 |
| 屏幕顯示放大倍率 |
30x |
120x |
36x |
143x |
90x |
358x |
179x |
716x |
358x |
1431 |
895x |
3578 |
| 光源系統(tǒng) |
標(biāo)配：LED背光丽猬，多種顏色的同軸正光
選配：具有專利的可編程的環(huán)光 |
| 影像處理 |
用戶可根據(jù)自己需要去除毛邊宿饱，邊緣尋邊器，快速尋邊器脚祟，自動(dòng)聚焦丐吹，及可供選取配的具有專利柵格投影系統(tǒng)，區(qū)域?qū)ぶ行墓δ芾迷埽瑹襞趬勖鼫y試性聚。 |
|
軟件 |
多種座標(biāo)系統(tǒng)，智能化搜索和建立座標(biāo)系統(tǒng)筝贮，功能強(qiáng)大編程功能饶粪，包括數(shù)學(xué)計(jì)算，變量名定義芙棚，循環(huán)分流等蒂茶。多種不同CAD文本輸入。數(shù)據(jù)可以直接輸出去數(shù)據(jù)庫调拳，SPC程序小梢。 |
| 圖象處理傳感器 |
高分辨率數(shù)字化B&WCCD照相機(jī) 765×576象素。 |
| 計(jì)算機(jī) |
Intel奔騰4處理器Windows 2000操作系統(tǒng) |
| 電源 |
自動(dòng)轉(zhuǎn)換100－240V 50/60HZ |
| 環(huán)境 |
17～33℃ 20～80%濕度 |
| 重量 |
155 ㎏ |
| 外觀尺寸 |
720×775×873 MM |
| 工作站 |
標(biāo)配：17″SVGA顯示器杀肩，操作標(biāo)挤奢，鼠標(biāo)，鍵盤
選配：15″LCD顯示器洞难，操作桿舆吮，鼠標(biāo)，鍵盤 |
| 精度 |
U2（XY平面）=（2.0+L/250）μm
U1（Z軸）=（1.5+L/50）μm
L：測量長度單位 MM |
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