Renishaw全新激光測量技術(shù)為您提供簡便的精密定位解決方案

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Renishaw的RLE激光尺是基于激光干涉原理設(shè)計的延刘，與傳統(tǒng)的鋼帶/玻璃光柵相比若锁，不但易于使用凌净，同時也能提供理想的性能悲龟。

該系統(tǒng)設(shè)計簡便，利用光纖連接直接將激光束導(dǎo)入軸上的測量位置冰寻，從而避免了傳統(tǒng)同類系統(tǒng)所需的復(fù)雜的轉(zhuǎn)向须教、分光和安裝結(jié)構(gòu)。通過這種傳送方式斩芭，我們可以實現(xiàn)快速安裝轻腺，大大減少了安裝空間和綜合成本。RLE系統(tǒng)包括兩個主要部件：RLU激光器和RLD激光探測頭划乖，并且可以提供不同的配置選項贬养。Renishaw可以提供與單光程發(fā)射頭配合使用的回射反射鏡，也能提供雙光程應(yīng)用的光學(xué)鏡(平面鏡)阶庆。
在使用標準的雙光程差分干涉儀進行一米以內(nèi)的測量時郎博，RLE系統(tǒng)是理想的選擇，常見的應(yīng)用有：光刻機铺享、集成電路模板抱壶、半導(dǎo)體硅片、LCD 檢測設(shè)備潘乖、光纖校正裝置院颜、計量以及其它精密運動系統(tǒng)。

最近毛龟，RLE家族再添新恫的埂：

? 性能顯著提升的RLU20激光器，穩(wěn)頻精度高達10-9 ppm胡撩。在真空條件下韭张，在300毫米的軸上，其定位誤差優(yōu)于1納米派交。
? 差分干涉儀探測頭主要用于處理/檢測設(shè)備需要光路精細準直的應(yīng)用場合卓奄。探測頭可以安裝在真空腔體的外部，而激光束可以通過合適的位置進入真空腔體止毕。探測頭內(nèi)集成了激光光束調(diào)節(jié)裝置，可以對每組激光光束獨立進行俯仰和偏擺的調(diào)節(jié)漠趁。無需進入腔體扁凛，即可完成儀器的安裝忍疾！
? 36位并行接口(RPI20)可以對正弦/余弦輸入信號提供4096細分，最高分辨率可達40皮米(百億分之一米)

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檢測設(shè)備運動儀器集成電路玻璃鋼帶

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