我國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)要適應(yīng)技術(shù)潮流房轿,根據(jù)市場(chǎng)需求惑妥,做到“新苗交替治弯、遠(yuǎn)近結(jié)合孕称、品種齊全式涝、滿足需求”,做到“大酝遇、中、小并舉”杏蟋,“集團(tuán)化和專業(yè)化生產(chǎn)并存”驳芙,向國(guó)內(nèi)外兩個(gè)市場(chǎng)相結(jié)合的國(guó)際化方向發(fā)展,讓傳感器和檢測(cè)儀表抓住信息化的發(fā)展機(jī)遇震崎。傳感器和檢測(cè)儀表的現(xiàn)狀掰闯,并預(yù)測(cè)了今后的發(fā)展趨勢(shì)
工業(yè)設(shè)備在制造過(guò)程及整機(jī)性能測(cè)試中離不開(kāi)各種機(jī)械量和幾何量,有些工業(yè)設(shè)備在運(yùn)行中還要經(jīng)常對(duì)多種物量進(jìn)行檢測(cè)或監(jiān)視汉锡,包括位移的钞、速度、加速度扰肌、力抛寝、力矩、功率曙旭、壓力盗舰、流量、溫度桂躏、硬度钻趋、密度川陆、濕度、比重蛮位、黏度较沪、長(zhǎng)度、角度失仁、形狀购对、位置、表面粗糙度陶因、表面波形等协包,這些均屬于物理量。實(shí)際生產(chǎn)忠牛、生活和科學(xué)實(shí)驗(yàn)中還會(huì)遇到化學(xué)量幔憋、生物量(包括醫(yī)學(xué)),而所有這一切克鼠,從信號(hào)工程的角度來(lái)看全乙,都需要通過(guò)傳感器,將其轉(zhuǎn)換成電信號(hào)(近代還可以轉(zhuǎn)換成光信號(hào))滚尼,而后再進(jìn)行信號(hào)的傳輸侄伟、處理、存儲(chǔ)鉴吕、顯示撇委、控制……,從信息的角度看捌唾,這些信號(hào)連同聲音和圖象信息都是信息的源頭汪仰,所以傳感器和檢測(cè)儀表、測(cè)量?jī)x表是信息科學(xué)技術(shù)的三部分(信息獲取吆视、信息傳輸典挑、信息處理)中的重要部分。
在現(xiàn)代工業(yè)設(shè)備中啦吧,傳感器和檢測(cè)儀表是不可或缺的一部分的理由您觉,還可由以下兩方面來(lái)看,傳統(tǒng)的工業(yè)設(shè)備如在其上增加了必要的傳感器授滓,配備精密測(cè)量部件(附件)琳水,則其功能和精度可以提高,便于用戶操作和維護(hù)褒墨,安全等級(jí)也可以提高炫刷,設(shè)備可以增值;工業(yè)設(shè)備作為自動(dòng)化系統(tǒng)的控制對(duì)象或作為自動(dòng)化系統(tǒng)的一部分,必須能與自動(dòng)化系統(tǒng)的三部分(檢測(cè)浑玛、控制绍申、執(zhí)行)相兼容或提供接口,使之集成為一個(gè)有機(jī)的整體顾彰,無(wú)論是單機(jī)自動(dòng)化或作為大型自動(dòng)化裝置的一部分极阅,都使該工業(yè)設(shè)備的用途擴(kuò)大。綜上所述蜻罕,作為工業(yè)設(shè)備本身增加傳感器和檢測(cè)儀表蛹鼎、測(cè)量?jī)x表或提供接口,是傳統(tǒng)設(shè)備更新?lián)Q代的必要條件涯贝。
傳感器是一種把非電量轉(zhuǎn)變成電信號(hào)的器件列充,而檢測(cè)儀表在模擬電子技術(shù)條件下,一般是包括傳感器跃呛、檢測(cè)點(diǎn)取樣設(shè)備及放大器(進(jìn)行抗干擾處理及信號(hào)傳輸)频咨,當(dāng)然還有電源及現(xiàn)場(chǎng)顯示部分(可選擇),電信號(hào)一般為連續(xù)量秦砌、離散量?jī)煞N埃账,實(shí)際上還可分成模擬量、開(kāi)關(guān)量经聊、脈沖量等唱棍,模擬信號(hào)傳輸采用統(tǒng)一信號(hào)(4-20mADC等)。數(shù)字化過(guò)程中守譬,檢測(cè)儀表變化比較大估喷,經(jīng)過(guò)幾個(gè)階段,近來(lái)多采用ASIC專用集成電路疗韵,而且把傳感器和微處理器及網(wǎng)絡(luò)接口封裝在一個(gè)器件中兑障,完成信息獲取、處理蕉汪、傳輸、存貯等功能逞怨。在自動(dòng)化儀表中經(jīng)常把檢測(cè)儀表稱為變送器者疤,如問(wèn)題變送器、壓力變送器等叠赦。
因?yàn)閭鞲衅饔糜诟餍懈鳂I(yè)驹马,加之近年家用電器、汽車(chē)除秀、信息產(chǎn)業(yè)三方面的飛速發(fā)展糯累,對(duì)傳感器需求大增,所以傳感器制造業(yè)發(fā)展很快,形成獨(dú)立的產(chǎn)業(yè)泳姐,這就拉動(dòng)了工業(yè)設(shè)備效拭,特別是半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展,所以人們有必要特別關(guān)注傳感器產(chǎn)業(yè)门烧。
傳感器產(chǎn)品品種繁多甜湾,基于的科學(xué)原理多,技術(shù)密集鹅棺,具有多樣性兜充、邊緣性、綜合性和技藝性脂性,需要多學(xué)科雄睦、多種高新技術(shù)配合。雖然傳感器具有高附加效益汹振,但本身價(jià)格不高娇裁,所以要推動(dòng)傳感器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,是有難度的宴甩。
傳感器和檢測(cè)儀表的現(xiàn)狀
傳感器產(chǎn)品的門(mén)類品種繁多证账,用于流程工業(yè)的主要有:溫度傳感器、壓力傳感器沾尔、重量傳感器除踱、流量傳感器、液位傳感器吩抓、氧敏傳感器涉茧、力敏傳感器、氣敏傳感器疹娶、分析儀表……伴栓,用于機(jī)械工業(yè)的還有:開(kāi)關(guān)類的接近/定位傳感器安全門(mén)開(kāi)關(guān)等安全傳感器、旋轉(zhuǎn)編碼器雨饺、視覺(jué)傳感器钳垮、速度傳感器、加速度傳感器等额港,國(guó)內(nèi)傳感器共分10大類饺窿,24小類,6000個(gè)品種移斩,而國(guó)外品種更多肚医,如美國(guó)約有17000種傳感器,所以發(fā)展傳感器品種的領(lǐng)域很寬廣向瓷。
中國(guó)傳感器的市場(chǎng)近幾年一直持續(xù)增長(zhǎng)肠套,一般增長(zhǎng)速度超過(guò)15%歇肖,2003年銷(xiāo)售額為186億元兔卤,同比增長(zhǎng)率為9%疹返,預(yù)計(jì)2008年將增加到506億美圓遗秩。2003年中國(guó)傳感器應(yīng)用四大領(lǐng)域?yàn)楣I(yè)及汽車(chē)電子產(chǎn)品芍锚、通信電子產(chǎn)品阴香、消費(fèi)電子產(chǎn)品仰税、專用設(shè)備桌强,其中工業(yè)和汽車(chē)電子產(chǎn)品占市場(chǎng)份額的33.5%窖硝。由于改革開(kāi)放爷瓜,我國(guó)巨大的市場(chǎng)棵欧,引來(lái)了各國(guó)廠商,如西門(mén)子享偎、橫河运荸、霍尼威爾、歐姆龍漏匹、邦納等公司吩擒,這為最終用戶和工業(yè)設(shè)備制造商帶來(lái)了很大的便利,而國(guó)內(nèi)傳感器和檢測(cè)儀表生產(chǎn)雖有發(fā)展硫朦,但這遠(yuǎn)不能跟上形勢(shì)的需求贷腕。各國(guó)傳感器生產(chǎn)和研發(fā)的規(guī)模在不斷擴(kuò)大,美國(guó)約有1300家生產(chǎn)和開(kāi)發(fā)傳感器的廠家咬展,100多個(gè)研究院所和院校泽裳,日本有800家廠商。我國(guó)近年建立了傳感器技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室破婆、微米/納米國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等研發(fā)基地涮总,初步建立了敏感元件和傳感器產(chǎn)業(yè),2000年總產(chǎn)量超過(guò)13億只祷舀,目前我國(guó)已有1688家從事傳感器的生產(chǎn)和研發(fā)的企業(yè)瀑梗,其中MEMS研制生產(chǎn)的已有50多家,到“十五”末期裳扯,敏感元件和傳感器年總產(chǎn)量已達(dá)到20億只抛丽。
我國(guó)在參加國(guó)際傳感器市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)方面也走出了新路子,如沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院的“傳感器國(guó)家工程研究中心饰豺∑膛Γ”已向美國(guó)出口力敏傳感器芯片40萬(wàn)只。
傳感器技術(shù)包括敏感機(jī)理哟忍,敏感材料,工藝設(shè)備和計(jì)測(cè)技術(shù)四個(gè)方面約有30多種技術(shù)秃囚。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展融确,傳感器技術(shù)發(fā)展很快喘玄,我國(guó)研發(fā)的力量尚需大量投入,特別要加強(qiáng)具存自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的傳感器的創(chuàng)新開(kāi)發(fā)醒横』鹊浚科研成果的轉(zhuǎn)化及傳感器生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)化問(wèn)題,在我國(guó)更是迫在眉睫的問(wèn)題禁舌,在批量生產(chǎn)情況下出募,控制傳感器產(chǎn)品性能(主要是穩(wěn)定性、可靠性)权煎,使之合格率達(dá)到商業(yè)化產(chǎn)業(yè)要求蒂扇,就需要有先進(jìn)的制造工藝和自動(dòng)化水平很高的工藝設(shè)備,因此應(yīng)在開(kāi)發(fā)專用工藝設(shè)備上下功夫狱揩,解決傳感器生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)化的“瓶頸”問(wèn)題喝暂。在傳感器的應(yīng)用上,特別是新型傳感器的應(yīng)用上彻犁,還得大力推廣叫胁,改革開(kāi)放創(chuàng)造了市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)條件,各種工業(yè)設(shè)備應(yīng)用了先進(jìn)的傳感器汞幢,這擴(kuò)大了傳感器市場(chǎng)驼鹅,也使我國(guó)新型傳感器生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)化有了動(dòng)力。
在傳感器生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)化過(guò)程中森篷,應(yīng)該在引進(jìn)國(guó)際技術(shù)和自主創(chuàng)新兩方面都不放松输钩。在引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)中,可以提高自己的技術(shù)疾宏,同時(shí)也滿足了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的需求张足,形成了傳感器生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)規(guī)模。如橫河公司最近發(fā)布的EJX多變量變送器坎藐,就是個(gè)可以考慮引進(jìn)技術(shù)的例子为牍,它精度高(0.025%)、智能化程度高岩馍,采用現(xiàn)場(chǎng)總線技術(shù)碉咆,由于能把質(zhì)量、流量浇沧、介質(zhì)壓力及導(dǎo)管堵塞診斷盆篡、蒸氣體熱診斷和孔板磨損情況等多種變量和信息經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)總線傳輸給中央控制室;對(duì)保證生產(chǎn)和提供設(shè)備維護(hù)信息坏扣、保證安全運(yùn)行都很有利春异,這種新型變送器的發(fā)展,配合了自動(dòng)化系統(tǒng)管控一體化的變革则徒,只有信息源頭能力強(qiáng)了氛坪,信息豐富了瞳弱,才能使信息化更好促進(jìn)生產(chǎn)力發(fā)展。另外骡侮,廣闊的重化工工業(yè)市場(chǎng)使得新型傳感器變送器在石油化工纽债、冶金、電力等多個(gè)行業(yè)用量可以達(dá)到批量化產(chǎn)業(yè)要求束沼。
傳感器和檢測(cè)儀表的發(fā)展趨勢(shì)
近年來(lái)倚痰,傳感器正處于傳統(tǒng)型向新型傳感器轉(zhuǎn)型的發(fā)展階段。新型傳感器的特點(diǎn)是微型化揣誓、數(shù)字化系谐、智能化、多功能化盏混、系統(tǒng)化蔚鸥、網(wǎng)絡(luò)化,它不僅促進(jìn)了傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的改造许赃,而且可導(dǎo)致建立新型工業(yè)止喷,是21世紀(jì)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。微型化是建立在微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)基礎(chǔ)上的混聊,目前已成功應(yīng)用在硅器件上形成硅壓力傳感器(如上述EJX變送器)弹谁。
微電子機(jī)械加工技術(shù),包括體微機(jī)械加工技術(shù)句喜、表面微機(jī)械加工技術(shù)预愤、LIGA技術(shù)(X光深層光刻、微電鑄和微復(fù)制技術(shù))咳胃、激光微加工技術(shù)和微型封裝技術(shù)等植康。MEMS的發(fā)展,把傳感器的微型化展懈、智能化销睁、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。傳感器的檢測(cè)儀表停柬,在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上累筋,內(nèi)置微處理器,或把微傳感器和微處理器及相關(guān)集成電路(運(yùn)算放大器盯糠、A/D或D/A书瘤、存貯器、網(wǎng)絡(luò)通訊接口電路)等封裝在一起完成了數(shù)字化洁揽、智能化叙杨、網(wǎng)絡(luò)化、系統(tǒng)化杉轿。(注:MEMS技術(shù)還完成了微電動(dòng)機(jī)或執(zhí)行器等產(chǎn)品占窥,將另作文介紹)網(wǎng)絡(luò)化方面学虑,目前主要是指采用多種現(xiàn)場(chǎng)總線和以太網(wǎng)(互聯(lián)網(wǎng)),這要按各行業(yè)的特點(diǎn)唆海,選擇其中的一種或多種,近年內(nèi)最流行的有FF憾宅、Profibus赞季、CAN、Lonworks奢驯、AS-Interbus申钩、TCP/IP等。
除MEMS外瘪阁,新型傳感器的發(fā)展還有賴于新型敏感材料撒遣、敏感元件和納米技術(shù),如新一代光纖傳感器管跺、超導(dǎo)傳感器义黎、焦平面陳列紅外探測(cè)器、生物傳感器豁跑、納米傳感器廉涕、新型量子傳感器、微型陀螺艇拍、網(wǎng)絡(luò)化傳感器狐蜕、智能傳感器、模糊傳感器卸夕、多功能傳感器等层释。
多傳感器數(shù)據(jù)融合技術(shù)正在形成熱點(diǎn),它形成于20世紀(jì)80年代讨拷,它不同于一般信號(hào)處理馅拗,也不同于單個(gè)或多個(gè)傳感器的監(jiān)測(cè)和測(cè)量,而是對(duì)基于多個(gè)傳感器測(cè)量結(jié)果基礎(chǔ)上的更高層次的綜合決策過(guò)程姨痊。有鑒于傳感器技術(shù)的微型化仓疯、智能化程度提高,在信息獲取基礎(chǔ)上购狈,多種功能進(jìn)一步集成以致于融合魂欺,這是必然的趨勢(shì),多傳感器數(shù)據(jù)融合技術(shù)也促進(jìn)了傳感器技術(shù)的發(fā)展杂猾。多傳感器數(shù)據(jù)融合的定義概括:把分布在不同位置的多個(gè)同類或不同類傳感器所提供的局部數(shù)據(jù)資源加以綜合虏绑,采用計(jì)算機(jī)技術(shù)對(duì)其進(jìn)行分析,消除多傳感器信息之間可能存在的冗余和矛盾签子,加以互補(bǔ)就壳,降低其不確實(shí)性搭为,獲得被測(cè)對(duì)象的一致性解釋與描述,從而提高系統(tǒng)決策涤伐、規(guī)劃馒胆、反應(yīng)的快速性和正確性,使系統(tǒng)獲得更充分的信息凝果。其信息融合在不同信息層次上出現(xiàn)祝迂,包括數(shù)據(jù)層(像素層)融合、特征層融合器净、決策層(證據(jù)層)融合型雳。由于它比單一傳感器信息有如下優(yōu)點(diǎn),即容錯(cuò)性山害、互補(bǔ)性纠俭、實(shí)時(shí)性、經(jīng)濟(jì)性浪慌,所以逐步得到推廣應(yīng)用冤荆。應(yīng)用領(lǐng)域除軍事外,已適用于自動(dòng)化技術(shù)眷射、機(jī)器人匙赞、海洋監(jiān)視、地震觀測(cè)只逐、建筑季距、空中交通管制、醫(yī)學(xué)診斷荞亩、遙感技術(shù)等方面蒿蛆。
工業(yè)設(shè)備在制造過(guò)程及整機(jī)性能測(cè)試中離不開(kāi)各種機(jī)械量和幾何量,有些工業(yè)設(shè)備在運(yùn)行中還要經(jīng)常對(duì)多種物量進(jìn)行檢測(cè)或監(jiān)視汉锡,包括位移的钞、速度、加速度扰肌、力抛寝、力矩、功率曙旭、壓力盗舰、流量、溫度桂躏、硬度钻趋、密度川陆、濕度、比重蛮位、黏度较沪、長(zhǎng)度、角度失仁、形狀购对、位置、表面粗糙度陶因、表面波形等协包,這些均屬于物理量。實(shí)際生產(chǎn)忠牛、生活和科學(xué)實(shí)驗(yàn)中還會(huì)遇到化學(xué)量幔憋、生物量(包括醫(yī)學(xué)),而所有這一切克鼠,從信號(hào)工程的角度來(lái)看全乙,都需要通過(guò)傳感器,將其轉(zhuǎn)換成電信號(hào)(近代還可以轉(zhuǎn)換成光信號(hào))滚尼,而后再進(jìn)行信號(hào)的傳輸侄伟、處理、存儲(chǔ)鉴吕、顯示撇委、控制……,從信息的角度看捌唾,這些信號(hào)連同聲音和圖象信息都是信息的源頭汪仰,所以傳感器和檢測(cè)儀表、測(cè)量?jī)x表是信息科學(xué)技術(shù)的三部分(信息獲取吆视、信息傳輸典挑、信息處理)中的重要部分。
在現(xiàn)代工業(yè)設(shè)備中啦吧,傳感器和檢測(cè)儀表是不可或缺的一部分的理由您觉,還可由以下兩方面來(lái)看,傳統(tǒng)的工業(yè)設(shè)備如在其上增加了必要的傳感器授滓,配備精密測(cè)量部件(附件)琳水,則其功能和精度可以提高,便于用戶操作和維護(hù)褒墨,安全等級(jí)也可以提高炫刷,設(shè)備可以增值;工業(yè)設(shè)備作為自動(dòng)化系統(tǒng)的控制對(duì)象或作為自動(dòng)化系統(tǒng)的一部分,必須能與自動(dòng)化系統(tǒng)的三部分(檢測(cè)浑玛、控制绍申、執(zhí)行)相兼容或提供接口,使之集成為一個(gè)有機(jī)的整體顾彰,無(wú)論是單機(jī)自動(dòng)化或作為大型自動(dòng)化裝置的一部分极阅,都使該工業(yè)設(shè)備的用途擴(kuò)大。綜上所述蜻罕,作為工業(yè)設(shè)備本身增加傳感器和檢測(cè)儀表蛹鼎、測(cè)量?jī)x表或提供接口,是傳統(tǒng)設(shè)備更新?lián)Q代的必要條件涯贝。
傳感器是一種把非電量轉(zhuǎn)變成電信號(hào)的器件列充,而檢測(cè)儀表在模擬電子技術(shù)條件下,一般是包括傳感器跃呛、檢測(cè)點(diǎn)取樣設(shè)備及放大器(進(jìn)行抗干擾處理及信號(hào)傳輸)频咨,當(dāng)然還有電源及現(xiàn)場(chǎng)顯示部分(可選擇),電信號(hào)一般為連續(xù)量秦砌、離散量?jī)煞N埃账,實(shí)際上還可分成模擬量、開(kāi)關(guān)量经聊、脈沖量等唱棍,模擬信號(hào)傳輸采用統(tǒng)一信號(hào)(4-20mADC等)。數(shù)字化過(guò)程中守譬,檢測(cè)儀表變化比較大估喷,經(jīng)過(guò)幾個(gè)階段,近來(lái)多采用ASIC專用集成電路疗韵,而且把傳感器和微處理器及網(wǎng)絡(luò)接口封裝在一個(gè)器件中兑障,完成信息獲取、處理蕉汪、傳輸、存貯等功能逞怨。在自動(dòng)化儀表中經(jīng)常把檢測(cè)儀表稱為變送器者疤,如問(wèn)題變送器、壓力變送器等叠赦。
因?yàn)閭鞲衅饔糜诟餍懈鳂I(yè)驹马,加之近年家用電器、汽車(chē)除秀、信息產(chǎn)業(yè)三方面的飛速發(fā)展糯累,對(duì)傳感器需求大增,所以傳感器制造業(yè)發(fā)展很快,形成獨(dú)立的產(chǎn)業(yè)泳姐,這就拉動(dòng)了工業(yè)設(shè)備效拭,特別是半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展,所以人們有必要特別關(guān)注傳感器產(chǎn)業(yè)门烧。
傳感器產(chǎn)品品種繁多甜湾,基于的科學(xué)原理多,技術(shù)密集鹅棺,具有多樣性兜充、邊緣性、綜合性和技藝性脂性,需要多學(xué)科雄睦、多種高新技術(shù)配合。雖然傳感器具有高附加效益汹振,但本身價(jià)格不高娇裁,所以要推動(dòng)傳感器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,是有難度的宴甩。
傳感器和檢測(cè)儀表的現(xiàn)狀
傳感器產(chǎn)品的門(mén)類品種繁多证账,用于流程工業(yè)的主要有:溫度傳感器、壓力傳感器沾尔、重量傳感器除踱、流量傳感器、液位傳感器吩抓、氧敏傳感器涉茧、力敏傳感器、氣敏傳感器疹娶、分析儀表……伴栓,用于機(jī)械工業(yè)的還有:開(kāi)關(guān)類的接近/定位傳感器安全門(mén)開(kāi)關(guān)等安全傳感器、旋轉(zhuǎn)編碼器雨饺、視覺(jué)傳感器钳垮、速度傳感器、加速度傳感器等额港,國(guó)內(nèi)傳感器共分10大類饺窿,24小類,6000個(gè)品種移斩,而國(guó)外品種更多肚医,如美國(guó)約有17000種傳感器,所以發(fā)展傳感器品種的領(lǐng)域很寬廣向瓷。
中國(guó)傳感器的市場(chǎng)近幾年一直持續(xù)增長(zhǎng)肠套,一般增長(zhǎng)速度超過(guò)15%歇肖,2003年銷(xiāo)售額為186億元兔卤,同比增長(zhǎng)率為9%疹返,預(yù)計(jì)2008年將增加到506億美圓遗秩。2003年中國(guó)傳感器應(yīng)用四大領(lǐng)域?yàn)楣I(yè)及汽車(chē)電子產(chǎn)品芍锚、通信電子產(chǎn)品阴香、消費(fèi)電子產(chǎn)品仰税、專用設(shè)備桌强,其中工業(yè)和汽車(chē)電子產(chǎn)品占市場(chǎng)份額的33.5%窖硝。由于改革開(kāi)放爷瓜,我國(guó)巨大的市場(chǎng)棵欧,引來(lái)了各國(guó)廠商,如西門(mén)子享偎、橫河运荸、霍尼威爾、歐姆龍漏匹、邦納等公司吩擒,這為最終用戶和工業(yè)設(shè)備制造商帶來(lái)了很大的便利,而國(guó)內(nèi)傳感器和檢測(cè)儀表生產(chǎn)雖有發(fā)展硫朦,但這遠(yuǎn)不能跟上形勢(shì)的需求贷腕。各國(guó)傳感器生產(chǎn)和研發(fā)的規(guī)模在不斷擴(kuò)大,美國(guó)約有1300家生產(chǎn)和開(kāi)發(fā)傳感器的廠家咬展,100多個(gè)研究院所和院校泽裳,日本有800家廠商。我國(guó)近年建立了傳感器技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室破婆、微米/納米國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等研發(fā)基地涮总,初步建立了敏感元件和傳感器產(chǎn)業(yè),2000年總產(chǎn)量超過(guò)13億只祷舀,目前我國(guó)已有1688家從事傳感器的生產(chǎn)和研發(fā)的企業(yè)瀑梗,其中MEMS研制生產(chǎn)的已有50多家,到“十五”末期裳扯,敏感元件和傳感器年總產(chǎn)量已達(dá)到20億只抛丽。
我國(guó)在參加國(guó)際傳感器市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)方面也走出了新路子,如沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院的“傳感器國(guó)家工程研究中心饰豺∑膛Γ”已向美國(guó)出口力敏傳感器芯片40萬(wàn)只。
傳感器技術(shù)包括敏感機(jī)理哟忍,敏感材料,工藝設(shè)備和計(jì)測(cè)技術(shù)四個(gè)方面約有30多種技術(shù)秃囚。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展融确,傳感器技術(shù)發(fā)展很快喘玄,我國(guó)研發(fā)的力量尚需大量投入,特別要加強(qiáng)具存自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的傳感器的創(chuàng)新開(kāi)發(fā)醒横』鹊浚科研成果的轉(zhuǎn)化及傳感器生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)化問(wèn)題,在我國(guó)更是迫在眉睫的問(wèn)題禁舌,在批量生產(chǎn)情況下出募,控制傳感器產(chǎn)品性能(主要是穩(wěn)定性、可靠性)权煎,使之合格率達(dá)到商業(yè)化產(chǎn)業(yè)要求蒂扇,就需要有先進(jìn)的制造工藝和自動(dòng)化水平很高的工藝設(shè)備,因此應(yīng)在開(kāi)發(fā)專用工藝設(shè)備上下功夫狱揩,解決傳感器生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)化的“瓶頸”問(wèn)題喝暂。在傳感器的應(yīng)用上,特別是新型傳感器的應(yīng)用上彻犁,還得大力推廣叫胁,改革開(kāi)放創(chuàng)造了市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)條件,各種工業(yè)設(shè)備應(yīng)用了先進(jìn)的傳感器汞幢,這擴(kuò)大了傳感器市場(chǎng)驼鹅,也使我國(guó)新型傳感器生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)化有了動(dòng)力。
在傳感器生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)化過(guò)程中森篷,應(yīng)該在引進(jìn)國(guó)際技術(shù)和自主創(chuàng)新兩方面都不放松输钩。在引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)中,可以提高自己的技術(shù)疾宏,同時(shí)也滿足了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的需求张足,形成了傳感器生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)規(guī)模。如橫河公司最近發(fā)布的EJX多變量變送器坎藐,就是個(gè)可以考慮引進(jìn)技術(shù)的例子为牍,它精度高(0.025%)、智能化程度高岩馍,采用現(xiàn)場(chǎng)總線技術(shù)碉咆,由于能把質(zhì)量、流量浇沧、介質(zhì)壓力及導(dǎo)管堵塞診斷盆篡、蒸氣體熱診斷和孔板磨損情況等多種變量和信息經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)總線傳輸給中央控制室;對(duì)保證生產(chǎn)和提供設(shè)備維護(hù)信息坏扣、保證安全運(yùn)行都很有利春异,這種新型變送器的發(fā)展,配合了自動(dòng)化系統(tǒng)管控一體化的變革则徒,只有信息源頭能力強(qiáng)了氛坪,信息豐富了瞳弱,才能使信息化更好促進(jìn)生產(chǎn)力發(fā)展。另外骡侮,廣闊的重化工工業(yè)市場(chǎng)使得新型傳感器變送器在石油化工纽债、冶金、電力等多個(gè)行業(yè)用量可以達(dá)到批量化產(chǎn)業(yè)要求束沼。
傳感器和檢測(cè)儀表的發(fā)展趨勢(shì)
近年來(lái)倚痰,傳感器正處于傳統(tǒng)型向新型傳感器轉(zhuǎn)型的發(fā)展階段。新型傳感器的特點(diǎn)是微型化揣誓、數(shù)字化系谐、智能化、多功能化盏混、系統(tǒng)化蔚鸥、網(wǎng)絡(luò)化,它不僅促進(jìn)了傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的改造许赃,而且可導(dǎo)致建立新型工業(yè)止喷,是21世紀(jì)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。微型化是建立在微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)基礎(chǔ)上的混聊,目前已成功應(yīng)用在硅器件上形成硅壓力傳感器(如上述EJX變送器)弹谁。
微電子機(jī)械加工技術(shù),包括體微機(jī)械加工技術(shù)句喜、表面微機(jī)械加工技術(shù)预愤、LIGA技術(shù)(X光深層光刻、微電鑄和微復(fù)制技術(shù))咳胃、激光微加工技術(shù)和微型封裝技術(shù)等植康。MEMS的發(fā)展,把傳感器的微型化展懈、智能化销睁、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。傳感器的檢測(cè)儀表停柬,在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上累筋,內(nèi)置微處理器,或把微傳感器和微處理器及相關(guān)集成電路(運(yùn)算放大器盯糠、A/D或D/A书瘤、存貯器、網(wǎng)絡(luò)通訊接口電路)等封裝在一起完成了數(shù)字化洁揽、智能化叙杨、網(wǎng)絡(luò)化、系統(tǒng)化杉轿。(注:MEMS技術(shù)還完成了微電動(dòng)機(jī)或執(zhí)行器等產(chǎn)品占窥,將另作文介紹)網(wǎng)絡(luò)化方面学虑,目前主要是指采用多種現(xiàn)場(chǎng)總線和以太網(wǎng)(互聯(lián)網(wǎng)),這要按各行業(yè)的特點(diǎn)唆海,選擇其中的一種或多種,近年內(nèi)最流行的有FF憾宅、Profibus赞季、CAN、Lonworks奢驯、AS-Interbus申钩、TCP/IP等。
除MEMS外瘪阁,新型傳感器的發(fā)展還有賴于新型敏感材料撒遣、敏感元件和納米技術(shù),如新一代光纖傳感器管跺、超導(dǎo)傳感器义黎、焦平面陳列紅外探測(cè)器、生物傳感器豁跑、納米傳感器廉涕、新型量子傳感器、微型陀螺艇拍、網(wǎng)絡(luò)化傳感器狐蜕、智能傳感器、模糊傳感器卸夕、多功能傳感器等层释。
多傳感器數(shù)據(jù)融合技術(shù)正在形成熱點(diǎn),它形成于20世紀(jì)80年代讨拷,它不同于一般信號(hào)處理馅拗,也不同于單個(gè)或多個(gè)傳感器的監(jiān)測(cè)和測(cè)量,而是對(duì)基于多個(gè)傳感器測(cè)量結(jié)果基礎(chǔ)上的更高層次的綜合決策過(guò)程姨痊。有鑒于傳感器技術(shù)的微型化仓疯、智能化程度提高,在信息獲取基礎(chǔ)上购狈,多種功能進(jìn)一步集成以致于融合魂欺,這是必然的趨勢(shì),多傳感器數(shù)據(jù)融合技術(shù)也促進(jìn)了傳感器技術(shù)的發(fā)展杂猾。多傳感器數(shù)據(jù)融合的定義概括:把分布在不同位置的多個(gè)同類或不同類傳感器所提供的局部數(shù)據(jù)資源加以綜合虏绑,采用計(jì)算機(jī)技術(shù)對(duì)其進(jìn)行分析,消除多傳感器信息之間可能存在的冗余和矛盾签子,加以互補(bǔ)就壳,降低其不確實(shí)性搭为,獲得被測(cè)對(duì)象的一致性解釋與描述,從而提高系統(tǒng)決策涤伐、規(guī)劃馒胆、反應(yīng)的快速性和正確性,使系統(tǒng)獲得更充分的信息凝果。其信息融合在不同信息層次上出現(xiàn)祝迂,包括數(shù)據(jù)層(像素層)融合、特征層融合器净、決策層(證據(jù)層)融合型雳。由于它比單一傳感器信息有如下優(yōu)點(diǎn),即容錯(cuò)性山害、互補(bǔ)性纠俭、實(shí)時(shí)性、經(jīng)濟(jì)性浪慌,所以逐步得到推廣應(yīng)用冤荆。應(yīng)用領(lǐng)域除軍事外,已適用于自動(dòng)化技術(shù)眷射、機(jī)器人匙赞、海洋監(jiān)視、地震觀測(cè)只逐、建筑季距、空中交通管制、醫(yī)學(xué)診斷荞亩、遙感技術(shù)等方面蒿蛆。
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