機(jī)器視覺在半導(dǎo)體中的應(yīng)用--晶圓檢測
客戶要求:
經(jīng)過光刻的晶圓在檢測后會(huì)發(fā)現(xiàn)大量的壞品抛寝,壞品通常是打上標(biāo)志涨颜,如果是不完整的晶片也是屬于壞品项滑。
要求把良品檢測出來依沮,并把它的坐標(biāo)位置與角度傳送給運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),再由機(jī)械結(jié)構(gòu)作出進(jìn)一步的調(diào)整枪狂。CCD危喉、鏡頭、光源由固定座固定不需要移動(dòng)。
實(shí)現(xiàn)方式:
硬件:CCD采用臺(tái)灣敏通高清晰度相機(jī)
圖像采集卡采用創(chuàng)科視覺的PCI2100圖像采集卡辜限,隨卡帶有圖象定位軟件皇拣。
鏡頭使用COMPUTAR鏡頭
光源是環(huán)形紅光
軟件:采用創(chuàng)科視覺公司的ckvision軟件開發(fā)包進(jìn)行二次開發(fā)。
ckvision提供多種高級(jí)功能
條形碼讀出
輪廓識(shí)別
普通物體識(shí)別
模式匹配
斑點(diǎn)檢測
邊緣檢測
表面分析
快速傅利葉轉(zhuǎn)換
濾波器
坐標(biāo)跟蹤
目標(biāo)定位
條碼識(shí)別
各種圖象邏輯運(yùn)算
OCR光學(xué)字符號(hào)識(shí)別
圖象形態(tài)分析
實(shí)現(xiàn)過程:
因?yàn)榭蛻粜枰覀兲峁﹫D像方面的DLL庫薄嫡,只需要圖象采集氧急、打開保存、圖象捕捉岂座、顯示圖象态蒂、在圖象上顯示用戶設(shè)置的檢測框與十字線、提供灰度直方圖拉诲、二值化功能赤蚜、對象計(jì)數(shù)、對象中心和角度的輸出威卑、檢測壞點(diǎn)屁爵、檢測是否完整等功能。
開發(fā)工具采用VC6您凸、為了加快運(yùn)行速度嵌入了Intel匯編指令晚神,為了達(dá)到更好的檢測效果我們對ckvision的工具進(jìn)行了部分修改。
壞點(diǎn)檢測與是否完整檢測使用具有學(xué)習(xí)功能的匹配算法宠宗,對象中心與角度的檢測使用了
輪廓識(shí)別和邊緣檢測算法饮协。
應(yīng)用效果:
目前該圖象庫已經(jīng)得到了多家客戶的使用與測試。功能已經(jīng)得到了完整的改善瓣硼,已經(jīng)開始批量生產(chǎn)啰价。
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