采用多種傳感器進(jìn)行測(cè)量和檢測(cè)已成為一種似乎正在不斷加速的發(fā)展趨勢(shì)都陵。 

　　多傳感器測(cè)量技術(shù)

　　采用多種傳感器進(jìn)行測(cè)量和檢測(cè)已成為一種似乎正在不斷加速的發(fā)展趨勢(shì)璃蓬。在當(dāng)今的測(cè)量中，常用的傳感器包括：接觸(觸發(fā))式測(cè)頭逮百、在其狽叮尖部位采用色光或鄰近效應(yīng)的測(cè)頭艾烫、攝像視頻系統(tǒng)，以及各種類型的激光測(cè)頭氯北。面世不久的X 射線計(jì)算機(jī)斷層掃描(CT)傳感器可以對(duì)工件進(jìn)行深層檢測(cè)拄讨。雖然每種傳感器都有其特定的用途，但將它們集成到一起正變得更加容易蹦漠。

　　美國(guó)光學(xué)測(cè)量產(chǎn)品(OGP)公司總裁stephen Flynn認(rèn)為椭员，將多種傳感器集成到一起是尸種已不算太新潮的發(fā)展趨勢(shì)，盡管該公司后來(lái)在這種技術(shù)上又增加了一些新的變化笛园。Flynn說(shuō)隘击，“我們?cè)?986年就開發(fā)了自己的第一個(gè)多傳感器系統(tǒng)，事實(shí)上研铆，當(dāng)時(shí)我們?cè)谶@項(xiàng)技術(shù)上處于領(lǐng)先水平埋同。如今，在我們生產(chǎn)的任何一款測(cè)量系統(tǒng)上棵红，采用多傳感器都已不足為奇凶赁。”O(jiān)GP公司專門研究以視頻傳感器為主的高精密測(cè)量系統(tǒng)窄赋。開發(fā)多傳感器測(cè)量系統(tǒng)意味著需要集成另外白恤叮頭和傳感器哟冬。

　　Flynn認(rèn)為，多傳感器測(cè)量技術(shù)的發(fā)展動(dòng)力是用戶需要能快速忆绰、精確浩峡、方便(只需一次裝夾)地測(cè)量微小形貌特征的能力可岂。每種傳感器都有自己的強(qiáng)項(xiàng)和局限性——將它們集成到一起，可使每種傳感器都充分發(fā)揮自己的優(yōu)勢(shì)村钧。例如僵息，OGP的高放大率視頻傳感器可用于直接檢測(cè)工件的邊緣；接觸式測(cè)頭可用于測(cè)量相交形成邊緣的各個(gè)表面臊骂；而激光測(cè)頭和白光掃描測(cè)頭則非常適合測(cè)量表面輪廓咕咸。Flynn指出，低成本計(jì)算機(jī)平臺(tái)不斷提高的處理速度云拔，以及易于使用的測(cè)量軟件是多傳感篡池叮量的關(guān)鍵使能技術(shù)倡剥。

　　OGP公司的SmartScope系列多傳感器坐標(biāo)測(cè)量機(jī)規(guī)格齊全，既有結(jié)構(gòu)小巧緊湊的臺(tái)式測(cè)量機(jī)足曹，也有測(cè)量范圍很大的落地式測(cè)量機(jī)檀萝。該系列測(cè)量機(jī)的最新型號(hào)是尸種大尺寸臺(tái)式測(cè)量機(jī)——SmartScope Quest 300。該機(jī)的機(jī)械結(jié)構(gòu)是為多傳感器測(cè)量而設(shè)計(jì)的江刚。測(cè)量機(jī)上配置了幾種可選傳感器朋凰。在不同表面上具有重要特征的工件可以安裝在一個(gè)MTR旋轉(zhuǎn)分度臺(tái)上，并機(jī)動(dòng)調(diào)整到最佳位置驴荡，供任何可用的傳感器進(jìn)行測(cè)量情组。

　　Werth公司是另一家從采用單一的光學(xué)測(cè)量技術(shù)轉(zhuǎn)向采用多傳感器測(cè)量技術(shù)的企業(yè)。它開發(fā)的許多新型測(cè)量機(jī)上都包括了多個(gè)旋轉(zhuǎn)軸箩祥，以滿足安裝多種傳感測(cè)頭的要求院崇，其中集成了光學(xué)測(cè)頭、激光測(cè)頭袍祖、接觸式測(cè)頭以及儀器本身的高精度觸覺(jué)一光纖測(cè)頭亚脆。Werth ScopeCheck  V就是這些新型多傳感器測(cè)量機(jī)的一個(gè)典型實(shí)例。該傭置用于在車間現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境下測(cè)量車削和銑削工件盲泛，可使用的傳感器包括Werth公司的視頻測(cè)頭、具有全部圖像處理功能的光學(xué)測(cè)頭键耕、激光測(cè)頭寺滚、Renishaw公司的點(diǎn)到點(diǎn)觸發(fā)式測(cè)頭、動(dòng)態(tài)掃描測(cè)頭屈雄，以及Werth公司的光纖和輪廓測(cè)頭村视。

　　Optiv系列測(cè)量機(jī)是海克斯康測(cè)量集團(tuán)旗下的Brown & Sharpe公司推出的多傳感器測(cè)量系統(tǒng)酒奶。Optiv測(cè)量系統(tǒng)采用視頻攝像測(cè)頭作為主傳感器蚁孔，擴(kuò)充的可選傳感器包括接觸式測(cè)頭、激光測(cè)頭或白光測(cè)頭(WLS)纪孔。2008年9月推出的Optiv Classic測(cè)量系統(tǒng)是現(xiàn)有的Optiv Referonce眠亿、Optiv Advantage和Optiv 

　　Performance系列測(cè)量機(jī)的入門級(jí)型號(hào)衷屋。這三種現(xiàn)有的測(cè)量系統(tǒng)都被設(shè)計(jì)為模塊化結(jié)構(gòu)，因此可以配置不同的傳感器和測(cè)量機(jī)功能也控，為今后增加測(cè)量用途提供了靈活性尔粮。Optiv測(cè)量系統(tǒng)有超過(guò)25種尺寸規(guī)格與測(cè)量精度組合，以及各種測(cè)量附件可供用戶選擇用省。

　　多傳感器測(cè)量技術(shù)也被移植到了坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(CMM)上激靡。基于視頻的測(cè)量系統(tǒng)非常適合用于檢測(cè)尺寸較小败民、精度較高的工件娩纱，而CMM則主要設(shè)計(jì)用于檢測(cè)尺寸較大的工件。過(guò)去坡驹，CMM上只使用接觸式測(cè)頭磨豁，而現(xiàn)在，采用其他類型的傳感器來(lái)拓展測(cè)量功能的CMM正日益增多遮尚。這種發(fā)展趨勢(shì)的一個(gè)實(shí)例是禾苎模克斯康測(cè)量集團(tuán)2008年9月推出的CMM-V高分辨力視頻測(cè)頭。該測(cè)頭與Brown & Sharpe或Sheffield公司生產(chǎn)的CMM兼容蒜撮，也可以安裝在設(shè)計(jì)用于測(cè)量大型工件的Teoastar-m和Renishaw暴构， PH10M/MQ腕關(guān)節(jié)式測(cè)座上。固定式光學(xué)測(cè)頭的視場(chǎng)較小段磨，而且只有一個(gè)光源取逾，可以作為一種低成本的CMM多傳感器升級(jí)方案，用于測(cè)量一些小的形貌特征苹支、金屬薄板上雕出的圖案砾隅，以及容易變形的工件。

　　另一個(gè)實(shí)例是SeanShark激光輪廓測(cè)頭债蜜，它是為工件檢測(cè)晴埂、逆向工程或全檢與逆向工程的組合應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。該裝置可提供一個(gè)通用的即插即用界面寻定，可以兼容Romer公司的便攜式關(guān)節(jié)臂測(cè)量機(jī)儒洛、Brown & Sharpe或Sheffield公司的CMM，以及Tesastar-m腕關(guān)節(jié)式測(cè)座狼速。此外琅锻，各種傳感器測(cè)量軟件的設(shè)計(jì)相對(duì)獨(dú)立，也是多傳感器技術(shù)能夠拓展其應(yīng)用范圍的關(guān)鍵要素儿戏。利用弘饶啵克斯康測(cè)量集團(tuán)的PC-DMIS坐標(biāo)測(cè)量專用軟件，那些對(duì)接觸式測(cè)頭比較熟悉的用戶將會(huì)發(fā)現(xiàn)，為其他類型的傳感測(cè)頭開發(fā)測(cè)量程序并不是一件十分困難的事情耻宋。

　　白光測(cè)頭(WLS)是一種反光式(TTL)傳感器腿弛。與TTL激光測(cè)頭不同的是，白光測(cè)頭對(duì)于反射信號(hào)的振幅或信號(hào)強(qiáng)度并不敏感谅囚，它只能測(cè)量色度水平大于30000的色光瑰保。可從這些光中選出一種單色光作為測(cè)量光雄防。白光測(cè)頭具有以下幾項(xiàng)優(yōu)勢(shì)：① 由于其光斑尺寸可小至1.5µm柱阱，因此具有較高的測(cè)量精度；② 由于能夠測(cè)量與測(cè)頭成88°以上的角度(這一點(diǎn)與激光測(cè)頭不同)康局，因此具有較好的可達(dá)性概尝；③ 由于不會(huì)受到被測(cè)材料的狀況、顏色或組織結(jié)構(gòu)的影響蟆盐，因此它對(duì)環(huán)境條件不敏感承边；④ 由于測(cè)頭重量較輕，因此易于安裝石挂。

　　WLS測(cè)量系統(tǒng)的應(yīng)用范圍包括：精密模制零件博助、小型機(jī)加工零件、小型陶瓷零件或沖壓零件痹愚、接骨螺釘以及其他各種小型精密零件的測(cè)量富岳。當(dāng)然，白光測(cè)頭作為多傳感器測(cè)量系統(tǒng)的一個(gè)組成部分拯腮，也具有出色表現(xiàn)窖式。在多傳感器測(cè)量系統(tǒng)中加入了白光測(cè)頭的一個(gè)實(shí)例是Werth公司的色光聚焦測(cè)(Chromatic Focus Probe)。當(dāng)白光光源中包含的不同波長(zhǎng)的色光被一組透鏡折射到不同的焦距上后动壤，該測(cè)頭能分辨出它們之間的距離萝喘。另一個(gè)實(shí)例是OGP公司的非接觸式白光掃描“彩虹”測(cè)頭(Rainbow Probe) ，該測(cè)頭的光斑尺寸可小至2&microm琼懊，它還能通過(guò)分析反射光的光譜阁簸，測(cè)定工件表面高度的變化。

　　X射線CT測(cè)量技術(shù)

　　傳感測(cè)量的一種新的前沿技術(shù)是采用X射線計(jì)算機(jī)斷層掃描(CT) 

　　對(duì)工件進(jìn)行精密測(cè)量掩纺。盡管多種傳感器的集成應(yīng)用大大推動(dòng)了測(cè)量技術(shù)的發(fā)展蜗原，但是，目前大多數(shù)此類測(cè)量系統(tǒng)所集成的傳感器都只能對(duì)工件表面進(jìn)行測(cè)量峦铲。對(duì)于一些復(fù)雜、幾何形狀(尤其是隱藏在工件深處的凹槽贼扩、內(nèi)部切口等幾何形狀)的測(cè)量筑轻，需要編寫復(fù)雜的測(cè)量程序，還需要工件璧酣、傳感器(或二者一起)進(jìn)行復(fù)雜的測(cè)量運(yùn)動(dòng)具雹。在某些情況下滥庭，必須將工件剖開，才能對(duì)其進(jìn)行充分測(cè)量衔系，因此不可能對(duì)工件實(shí)行100%全檢胞讯。為了深人了解工件內(nèi)部狀況并對(duì)其進(jìn)行精確測(cè)量，一些企業(yè)正在求助于CT技術(shù)砾褂。盡管CT以前也曾用于工業(yè)目的(如用于確定工件內(nèi)部是否存在缺陷和裂紋)炸涝，但通過(guò)對(duì)該技術(shù)進(jìn)行新的改造，如今已將其轉(zhuǎn)化為一種精度可達(dá)微米級(jí)的精密測(cè)量裝置馍资。通過(guò)獲取一個(gè)物體的數(shù)百幀乃至數(shù)千幀X射線切片筒主，CT可利用這些切片重構(gòu)工件的三維立體圖像。功能強(qiáng)大的計(jì)算機(jī)和計(jì)算機(jī)群組能夠處理從CT下載的海量數(shù)據(jù)鸟蟹，從而使CT精密測(cè)量的實(shí)現(xiàn)成為可能乌妙。

　　Werth公司副總裁Jeff Bibee表示，“我們的X射線CT系統(tǒng)可通過(guò)一次裝夾工件實(shí)現(xiàn)全部精密測(cè)量建钥√僭希”他指出，X射線測(cè)量的精度通常并不高熊经，其焦點(diǎn)尺寸在50～100µm范圍內(nèi)泽艘。但是，該公司開發(fā)了一種精度補(bǔ)償系統(tǒng)奈搜，將多傳感器測(cè)量方法與X射線結(jié)合起來(lái)悉盆，從而形成了一種可用于精密零件制造業(yè)的精密CT測(cè)量系統(tǒng)。Bibee解釋說(shuō)馋吗，“多傳感器測(cè)量方法只用于第一個(gè)環(huán)節(jié)焕盟，我們用這些傳感器(如光學(xué)測(cè)頭或接觸式測(cè)頭)采集工件的精確數(shù)據(jù)，以建立校準(zhǔn)點(diǎn)云福咙。然后铣飘，我們將X射線CT數(shù)據(jù)與校準(zhǔn)點(diǎn)云進(jìn)行最優(yōu)擬合，對(duì)X射線測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行重新校準(zhǔn)秋孕。這一步驟可對(duì)X熟淺測(cè)量中常見的熟淺硬化和失真效應(yīng)造成的誤差進(jìn)行補(bǔ)償卤酬。目前，這種X 射線測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量精度可控制在幾微米以內(nèi)绞胡≌碛椋”

　　當(dāng)X射線管發(fā)出不同頻率或不同顏色的熟淺時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生服胃“射線硬化”現(xiàn)象覆逊。由于材料對(duì)不同頻率射線的吸收率不同(對(duì)低頻射線的吸收往往大于對(duì)高頻射線的吸收)叶素，因此，這種特性會(huì)在測(cè)量中產(chǎn)生一種“偽影”。對(duì)工件的X 熟淺切片進(jìn)行三維重構(gòu)是基于對(duì)所有頻率熟淺的測(cè)量屹请。如果不同頻率的熟淺不能在相同時(shí)間內(nèi)穿過(guò)工件材料枚鸭，測(cè)量結(jié)果就會(huì)失真。由于頻率較低的射線被吸收后癣臭，X射線穿過(guò)工件材料的速度會(huì)加快饵较，稱為X射線被“硬化”，因此遭赂，這種失真被稱為“射線硬化效應(yīng)”循诉。X射線發(fā)射管的頻譜范圍越寬，切片越大嵌牺，工件材料的“吸收能力”越強(qiáng)打洼，射線硬化效應(yīng)就越顯著，必須考慮予以補(bǔ)償?shù)氖д婢驮酱蟆?/p>

　　Werth公司的Tomoscope CT測(cè)量裝置的最大空間測(cè)量范圍為500mm×350mm×350mm 逆粹，最大允許誤差(MPE)的最優(yōu)值為(2.5+L/120)&microm募疮。由于Tomoscope測(cè)量裝置為多傳感器系統(tǒng)，因此它也包括了可選的光學(xué)測(cè)頭僻弹、圖像處理功能以及觸發(fā)式和動(dòng)態(tài)接觸威狽叮頭阿浓。體積更小、精度更高的Tomocheck CT 測(cè)量裝置的最大允許誤差(MPE)可達(dá)(0.25+L/900)&microm蹋绽。據(jù)Werth公司介紹芭毙，采用該裝置，在20分鐘以內(nèi)(而無(wú)需數(shù)天時(shí)間)即可完成第一個(gè)環(huán)節(jié)的檢測(cè)工作(建立校準(zhǔn)點(diǎn)云)卸耘。

　　Werth公司副總裁Jeff Bibee表示魁跷，“我們的X射線CT系統(tǒng)可通過(guò)一次裝夾工件實(shí)現(xiàn)全部精密測(cè)量◇现”他指出洗念，X射線測(cè)量的精度通常并不高，其焦點(diǎn)尺寸在50～100µm范圍內(nèi)奖踏。但是提蕴，該公司開發(fā)了一種精度補(bǔ)償系統(tǒng)，將多傳感器測(cè)量方法與X射線結(jié)合起來(lái)橱泻，從而形成了一種可用于精密零件制造業(yè)的精密CT測(cè)量系統(tǒng)灼镣。Bibee解釋說(shuō)，“多傳感器測(cè)量方法只用于第一個(gè)環(huán)節(jié)抢坯，我們用這些傳感器(如光學(xué)測(cè)頭或接觸式測(cè)頭)采集工件的精確數(shù)據(jù)丐浑，以建立校準(zhǔn)點(diǎn)云。然后豫鲁，我們將X射線CT數(shù)據(jù)與校準(zhǔn)點(diǎn)云進(jìn)行最優(yōu)擬合丽优，對(duì)X射線測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行重新校準(zhǔn)歹恬。這一步驟可對(duì)X熟淺測(cè)量中常見的熟淺硬化和失真效應(yīng)造成的誤差進(jìn)行補(bǔ)償。目前手趣，這種X 射線測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量精度可控制在幾微米以內(nèi)》世螅”

　　 Carl Zeiss工業(yè)測(cè)量技術(shù)(IMT) 公司的CT及工程經(jīng)理Kevin Legacy說(shuō)绿渣，“我喜歡把X射線CT測(cè)量機(jī)視為未來(lái)的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)⊙喙ⅲ”Zeiss公司為測(cè)量精密零件而開發(fā)的Metrotom 測(cè)量機(jī)的空間測(cè)量范圍為300mm×300mm×300mm中符。該公司也承認(rèn)，CT測(cè)量機(jī)存在由射線硬化和射線散射而引起的固有誤差誉帅。Logacy表示淀散，Zeiss公司關(guān)心的另一個(gè)問(wèn)題是X射線測(cè)量的空間變化誤差。由于X射線與孔蚜锨、雜質(zhì)和材料的相互作用档插，在工件表面上0.03mm的失真在工件內(nèi)部深處就可能放大為0.15mm的失真。

　　 Shark激光測(cè)頭)正被應(yīng)用子三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(包括便攜式關(guān)節(jié)臂測(cè)量機(jī)) Carl Zeiss工業(yè)測(cè)量技術(shù)(IMT) 公司的CT及工程經(jīng)理Kevin Legacy說(shuō)亚再，“我喜歡把X射線CT測(cè)量機(jī)視為未來(lái)的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)郭膛。”Zeiss公司為測(cè)量精密零件而開發(fā)的Metrotom 測(cè)量機(jī)(圖2氛悬、圖3)的空間測(cè)量范圍為300mm×300mm×300mm盏酵。該公司也承認(rèn)，CT測(cè)量機(jī)存在由射線硬化和射線散射而引起的固有誤差勃撼。Logacy表示蚊霞，Zeiss公司關(guān)心的另一個(gè)問(wèn)題是X射線測(cè)量的空間變化誤差。由于X射線與孔鳞集、雜質(zhì)和材料的相互作用姆盲，在工件表面上0.03mm的失真在工件內(nèi)部深處就可能放大為0.15mm的失真。

　　Legacy解釋說(shuō)铜氛，“為了對(duì)可能的失真進(jìn)行誤差補(bǔ)償二场，我們主要采用了三個(gè)策略。第一蟀委，我們圍繞一種高質(zhì)量的測(cè)量機(jī)來(lái)制造Metrotom; 

　　第二缤棍，我們采用可溯源到公認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)(如NIST和PTB)的標(biāo)準(zhǔn)件對(duì)測(cè)量機(jī)進(jìn)行預(yù)校準(zhǔn)，我們測(cè)量這些標(biāo)準(zhǔn)件的方法與目前在坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上的測(cè)量方法完全相同猜艇；第三衅快，我們進(jìn)行了某些內(nèi)部處理，從而不必與一種標(biāo)準(zhǔn)更高的傳感裝置(如接觸式測(cè)頭)進(jìn)行任何種類的比對(duì)跳昼“慵祝”Metrotom測(cè)量機(jī)在整個(gè)測(cè)量空間內(nèi)可達(dá)到的精度規(guī)范為：MPEE=9+L/50µm肋乍。Zeiss公司推薦Metrotom的校準(zhǔn)周期為一年，與三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的校準(zhǔn)周期類似敷存。

　　目前墓造，適合用X 射線CT測(cè)量機(jī)檢測(cè)的材料還局限于密度相對(duì)較低(小于4gm/cm3)的材料，如鋁锚烦、復(fù)合材料觅闽、塑料、陶瓷等涮俄。Legacy解釋說(shuō)蛉拙，“測(cè)量密度較高的材料要求X射線具有較大的功率和較好的聚焦能力。目前彻亲，我們測(cè)量機(jī)產(chǎn)生的X射線大約為225kV孕锄。”他指出苞尝，X射線CT測(cè)量機(jī)今后的改進(jìn)方向包括X射線的聚焦能力和更好的探測(cè)性能畸肆，而不僅僅是更大的測(cè)量功率(盡管它對(duì)于較高密度材料的測(cè)量至關(guān)重要)。某些裝置(如X射線瞄準(zhǔn)儀)可能會(huì)在這些方面提供一些更強(qiáng)的能力宜切。

　　傳感測(cè)頭的分類與用途

　　盡管多傳感器測(cè)量技術(shù)的應(yīng)用在日益擴(kuò)大察贵，但用于數(shù)據(jù)采集的典型傳感器仍然可以歸納為以下三種類型(X射線傳感器除外): 

　　(1)接觸式測(cè)頭

　　接觸式測(cè)頭在測(cè)量時(shí)與被測(cè)工件表面直接接觸。測(cè)頭所用測(cè)針的長(zhǎng)度和直徑可能會(huì)影響測(cè)量精度孤咏。對(duì)于某些特定的工件材料(如橡膠)旋喊，接觸式測(cè)頭會(huì)使其表面發(fā)生變形，從而可能給出錯(cuò)誤的測(cè)量結(jié)果山刨。

　　(2)視頻測(cè)頭

　　視頻測(cè)頭屬于非接觸式測(cè)頭哲陷，在對(duì)垂直于相機(jī)光軸的平面(X-Y平面)進(jìn)行測(cè)量時(shí)，這種測(cè)頭也是測(cè)量速度最快随港、測(cè)量精度最高的測(cè)頭墙议。許多現(xiàn)代化的視頻測(cè)量設(shè)備都采用了變焦透鏡、自動(dòng)聚焦技術(shù)溃登，并且在Z軸方向具有較大的測(cè)量行程久挖，可在系統(tǒng)測(cè)量空間范圍內(nèi)的任一位置實(shí)現(xiàn)精確的非接觸測(cè)量。

　　(3)激光測(cè)頭

　　用于多傳感器測(cè)量系統(tǒng)的激光測(cè)頭可以采用三角測(cè)量法犬捧，或者激光束直接通過(guò)州個(gè)視頻系統(tǒng)相機(jī)的鏡頭進(jìn)行測(cè)量(即TTL激光測(cè)頭)歹对。三角測(cè)量法激光測(cè)頭的安裝通常與視頻光軸不同軸，而TTL激光測(cè)頭則與視頻系統(tǒng)同軸安裝强重，激光束通過(guò)其鏡頭出射绞呈。這兩種激光測(cè)頭都采用單一聚焦光點(diǎn)測(cè)量，即對(duì)整個(gè)被測(cè)表面進(jìn)行掃描间景，以獲取其輪廓數(shù)據(jù)佃声。有些離軸安裝的三角測(cè)量法激光測(cè)頭要受到光束與被測(cè)表面鵝謝角度的限制艺智。而TTL激光測(cè)頭的優(yōu)勢(shì)在于激光束與視頻測(cè)量系統(tǒng)共享同一光路，這一特點(diǎn)使這兩種類型的傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)快速轉(zhuǎn)換圾亏，并使監(jiān)測(cè)激光在視頻圖像中的位置成為可能十拣。

　　目前，各種更具專業(yè)化特點(diǎn)的高精度傳感器正在不斷面世志鹃，例如：Werth公司的光纖測(cè)頭有一個(gè)球徑為10µm的測(cè)量頭父晶，采用光纖技術(shù)進(jìn)行測(cè)量；OPG公司為其Smart-Scope Quest 多傳感器測(cè)量系統(tǒng)開發(fā)了一種采用干涉測(cè)量法的新型TTL激光測(cè)頭弄跌，在測(cè)量工件特征時(shí)，該測(cè)頭在工作距離為200mm時(shí)的分辨力可達(dá)尝苇。5&micro铛只；m以下(工作距離較小時(shí)可達(dá)到更高的分辨力)。

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