隨著微處理器等功能的應(yīng)用璧亮，過去相對(duì)較大的多探頭測(cè)量設(shè)備乖订，現(xiàn)在變成了小型的臺(tái)式多探頭測(cè)量系統(tǒng)终息。多探頭測(cè)量系統(tǒng)是由過去用于影像檢驗(yàn)的臺(tái)式測(cè)量系統(tǒng)裝備觸發(fā)式探頭和激光探頭形成的夺巩。

　　帶有觸發(fā)式探頭或激光探頭的光學(xué)式測(cè)量系統(tǒng)具有很多優(yōu)點(diǎn)。它將2種或3種測(cè)量系統(tǒng)與一個(gè)多功能傳感器系統(tǒng)組合使用艺滑，有效地降低了設(shè)備成本右木。Nikon公司（Nikon Instruments Inc.）的NEXIV可視系統(tǒng)就是將光學(xué)測(cè)量儀和通透鏡式激光儀（TTL）組合在一起使用的，這種可視技術(shù)與TTL的組合真正實(shí)現(xiàn)了測(cè)量精度跳犹、生產(chǎn)速度塌卜、測(cè)量復(fù)雜輪廓能力的最佳化。

　　Nikon公司的組合產(chǎn)品包括NEXIV VMR 3020型臺(tái)式多探頭測(cè)量系統(tǒng)和6555型橋式設(shè)計(jì)模式測(cè)量?jī)x玻冗。臺(tái)式系統(tǒng)可以用來測(cè)量小型工件启脉，如電子元件和小型機(jī)加工零件，6555型橋式設(shè)計(jì)模式測(cè)量?jī)x用于大型和重型工件的測(cè)量逐枢。多探頭測(cè)量系統(tǒng)有兩種基本平臺(tái)综澄，一個(gè)是以標(biāo)準(zhǔn)的CMM（坐標(biāo)測(cè)量?jī)x）為基礎(chǔ)的平臺(tái)，另一個(gè)是以標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)或可視系統(tǒng)為基礎(chǔ)的平臺(tái)遍跌。應(yīng)用CMM測(cè)量時(shí)神卢，被測(cè)工件固定不動(dòng)，只需移動(dòng)探頭竖怯。這樣蠕膀，在測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)組時(shí)好猪，移動(dòng)探頭可完成全部測(cè)量工作。同時(shí)社露，CMM上的探測(cè)儀非常輕便挟阻，保證了探頭的靈敏性。在一個(gè)可視系統(tǒng)或光學(xué)系統(tǒng)里峭弟，工件要沿著X軸方向和Y軸方向移動(dòng)附鸽，而光學(xué)裝置則能沿著Z軸方向上下移動(dòng)，從而測(cè)量到高度瞒瘸。因此坷备，這兩種工作平臺(tái)的設(shè)計(jì)是完全不同的。

　　使用以光學(xué)為基礎(chǔ)的平臺(tái)情臭，只能夠測(cè)量質(zhì)量相對(duì)較輕的工件省撑，與許多以可視系統(tǒng)為基礎(chǔ)的只能測(cè)量輕質(zhì)工件的平臺(tái)不同的是，標(biāo)準(zhǔn)的CMM型工作平臺(tái)能測(cè)量重型工件俯在，因?yàn)樗闹圃斐杀据^高竟秫，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，在工作臺(tái)上移動(dòng)較重的工件時(shí)跷乐，工作臺(tái)也不會(huì)下沉肥败。但是，如果在工作臺(tái)上移動(dòng)發(fā)動(dòng)機(jī)組泊宴，則工作臺(tái)的部分區(qū)域就有可能發(fā)生彎曲變形屑淌。

　　人們將攝像頭安裝在CMM上進(jìn)行實(shí)驗(yàn)大約已有20年的歷史了。據(jù)說钱图，第一臺(tái)這種光學(xué)式探頭測(cè)量?jī)x的設(shè)計(jì)是隨著一種多感應(yīng)系統(tǒng)的開始研究而出現(xiàn)的荞狠，應(yīng)用這種技術(shù)的第一臺(tái)測(cè)量?jī)x是德國的Wegu公司根據(jù)馬爾（Mahr）的要求，在1999年制造生產(chǎn)出來的撩怀。

　　隨著Wegu公司專利技術(shù)的應(yīng)用和Mahr公司測(cè)量系統(tǒng)的發(fā)展罚蛾，一個(gè)測(cè)量?jī)x組合了具有可視能力的光學(xué)式探頭（CCD攝像頭）、激光探頭和觸發(fā)式探頭氛侨。Mahr公司最近推出了一種新型臺(tái)式系統(tǒng)Marvision Multiscope MS 222 3D CMM缩笤，就是一個(gè)典型的多探頭測(cè)量系統(tǒng)，它包括一個(gè)自動(dòng)探測(cè)觸發(fā)器汞潦、一個(gè)自動(dòng)探測(cè)轉(zhuǎn)換器殿恤、可調(diào)電機(jī)、影像快速聚焦系統(tǒng)和一個(gè)自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)演徘，測(cè)量范圍為250 mm×200 mm×200mm慎陵，最大承載可達(dá)到10kg，分辨率為0.5mm喻奥。

　　與大型系統(tǒng)相比席纽，臺(tái)式多探頭測(cè)量系統(tǒng)也存在它的局限性捏悬，比如說測(cè)量精度不夠高。原因是多方面的润梯，部分是因?yàn)樗鼈兪褂脤?duì)環(huán)境有一定要求的低檔系統(tǒng)过牙。由于沒有一個(gè)穩(wěn)定的平臺(tái)底座，使用時(shí)也不是在可控溫的實(shí)驗(yàn)室里纺铭，因此會(huì)導(dǎo)致測(cè)量精度不高寇钉。但是由于價(jià)格低，使得它們能夠廣泛地服務(wù)于大眾舶赔。這種小型臺(tái)式系統(tǒng)在整個(gè)銷售中占到了40%扫倡。作為一種技術(shù)成熟的多探頭測(cè)量系統(tǒng)，與其他測(cè)量系統(tǒng)不同的只是測(cè)量工件的范圍竟纳。

　　隨著微機(jī)處理器功能的提高撵溃，使得多探頭測(cè)量系統(tǒng)能在較小的體積內(nèi)容納更多的功能，從而出現(xiàn)了高檔的臺(tái)式系統(tǒng)锥累。臺(tái)式系統(tǒng)的真正出現(xiàn)僅在8掸柏、9年前，曾經(jīng)只有大型昂貴的地面式測(cè)量?jī)x才具有的功能淆逛，現(xiàn)在，小型臺(tái)式測(cè)量?jī)x也全部擁有了裳岳。

　　隨著PC板尺寸變小倒你，整個(gè)CNC控制器也變小。現(xiàn)在的CNC數(shù)控臺(tái)式測(cè)量?jī)x已經(jīng)全部自動(dòng)化了锡疗，而且設(shè)備單元齊全鼓宿。整個(gè)臺(tái)式測(cè)量?jī)x包含了驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、伺服系統(tǒng)和控制系統(tǒng)囊嘲，取代了過去立在它們旁邊的控制器情键。

　　在Mitutoyo公司的產(chǎn)品中，其高檔產(chǎn)品數(shù)控式（CNC）Quick Vision系列多探頭測(cè)量?jī)x锯帚，與以前的產(chǎn)品相比钢墩，其精度更高、速度更快（約為以前的3倍）楞播。該公司的UMAP（超聲波微觀精確探測(cè)）多探頭系統(tǒng)是使用可視技術(shù)和超聲波探頭來探測(cè)燃油噴嘴上的微小孔以及其他小型工件的用押。

　　最初，UMAP系統(tǒng)是為日本的本田汽車公司量身定做的靶剑，用來測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)燃油噴嘴上的排氣孔蜻拨。UMAP系統(tǒng)在日本銷售近1年后，Mitutoyo公司又向美國市場(chǎng)推出了該系統(tǒng)桩引。該公司應(yīng)美國光纖工業(yè)的要求缎讼，為其生產(chǎn)精密測(cè)量量具來測(cè)量光纖連接器收夸、光纖套圈上的微小孔。這種特定測(cè)量?jī)x的市場(chǎng)反應(yīng)很好血崭，很多發(fā)動(dòng)機(jī)制造商對(duì)該產(chǎn)品非常感興趣卧惜，想將其應(yīng)用于發(fā)動(dòng)機(jī)燃油噴嘴的測(cè)量中。

　　新型多探頭測(cè)量系統(tǒng)替代了原有的測(cè)量系統(tǒng)功氨，成本的降低使得多探頭測(cè)量感應(yīng)設(shè)備具有較高的性價(jià)比序苏。與3個(gè)只能安裝在實(shí)驗(yàn)室里的固定設(shè)備相比，多探頭測(cè)量系統(tǒng)的感應(yīng)環(huán)境允許使用一個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行多方面的應(yīng)用捷凄。

　　OGP公司的多探頭測(cè)量設(shè)備SmartScope Quest系列包括臺(tái)式系統(tǒng)和大型地面式系統(tǒng)忱详。隨著多探頭測(cè)量設(shè)備在醫(yī)療、汽車借睬、航空阿座、塑料和電子工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用，OGP這個(gè)已經(jīng)有20多年銷售多探頭測(cè)量設(shè)備歷史的公司奏宽，通過在現(xiàn)有系統(tǒng)的基礎(chǔ)上增加幾個(gè)探頭腮哩，開發(fā)出了SmartScope Quest系統(tǒng)。OGP公司最近推出了一種新型測(cè)量?jī)xQuest 650卸窿，這種地面式多傳感器系統(tǒng)包括影像系統(tǒng)腻酱、激光系統(tǒng)、觸發(fā)式探測(cè)系統(tǒng)唐肩、鉸接探測(cè)頭和連續(xù)接觸式探測(cè)儀烧歹，并且有一個(gè)橋式結(jié)構(gòu)的剛性花崗巖底座，測(cè)量范圍為600mm×660mm×300mm穗掘，并且能對(duì)X軸霸拦、Y軸、Z軸三個(gè)方向進(jìn)行測(cè)量称啸，Z軸方向上可以測(cè)量400mm屏疗。

　　理論上講，多探頭測(cè)量設(shè)備對(duì)制造商而言是最好的澜术。光學(xué)技術(shù)的優(yōu)勢(shì)是邊緣探測(cè)艺蝴，探頭進(jìn)入工件內(nèi)部測(cè)量表面，無需接觸就可以迅速地獲得數(shù)據(jù)鸟废，而普通的測(cè)量量具是不能完成的吴趴。此外，激光探頭也能測(cè)量表面輪廓侮攀，同時(shí)也能通過非接觸式測(cè)量快速生成數(shù)據(jù)锣枝。

　　與此同時(shí)，多探頭測(cè)量技術(shù)也面臨著挑戰(zhàn)兰英，因?yàn)槠踩竺總€(gè)傳感器之間的聯(lián)系必須精確供鸠。

　　TTL的技術(shù)優(yōu)勢(shì)是軸上可視儀和軸上通透鏡式激光儀可以與其他系統(tǒng)很好地進(jìn)行連接，因?yàn)樗鼈兪褂猛粋€(gè)光學(xué)系統(tǒng)來對(duì)一個(gè)探測(cè)點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量陨闹，即在該探測(cè)點(diǎn)上既有透鏡聚焦又有激光聚焦楞捂。如果在同一個(gè)測(cè)量量具上有兩個(gè)探頭，則就有可能產(chǎn)生偏離趋厉，必須使每個(gè)探頭之間緊密相連寨闹。在多探頭測(cè)量?jī)x中，有時(shí)人們可以使用光學(xué)式探頭陶簿，有時(shí)也可選擇觸發(fā)式探頭或者激光探頭進(jìn)行測(cè)量欣骏，如果三者相互之間有偏離，就必須進(jìn)行連接性調(diào)整或者連接校準(zhǔn)航十，所有的探頭都要作為導(dǎo)致系統(tǒng)不確定性的誤差和偏差的潛在因素而被考慮耽晦。

　　可視系統(tǒng)和光學(xué)系統(tǒng)的最大問題是在測(cè)量工件時(shí)，與對(duì)照相比呈灰色的測(cè)量陰影诊势。因?yàn)橹挥谐屎诎讓?duì)照時(shí)洲棍，才是高對(duì)照度。通過使用計(jì)算機(jī)和軟件算法來確定灰色對(duì)灰色邊緣探測(cè)的改變荔闭，并且有了很大提高助碰。Nikon公司使用了Cognex公司的可視系統(tǒng)，該公司在低對(duì)照度邊緣探測(cè)領(lǐng)域擁有領(lǐng)先的技術(shù)毒沥。

　　由于缺乏軟件工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)婚乌，使得越來越多的測(cè)量裝備供應(yīng)商向客戶提供他們自己版本的軟件。在軟件方面存在一個(gè)最為關(guān)鍵的問題是一個(gè)軟件能否處理來自不同探頭的數(shù)據(jù)埋村。首先，確定一個(gè)在X祝峻、Y魔吐、Z軸上的點(diǎn)，使用光學(xué)式探頭莱找、觸發(fā)式探頭或者激光探頭測(cè)量酬姆，然后將這些點(diǎn)處理成數(shù)據(jù)，形成單一的幾何特征奥溺，或者計(jì)算出使用觸發(fā)式探頭的表面和使用光學(xué)式探頭測(cè)量的表面之間的距離辞色。人們可以選擇相對(duì)更容易操作的系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量，而這是早期的操作系統(tǒng)根本不具備的浮定。

　　事實(shí)上相满，在多探頭測(cè)量系統(tǒng)里，并沒有真正的標(biāo)準(zhǔn)和通用軟件桦卒，每個(gè)大賣主都已經(jīng)形成了自己獨(dú)有的一套方法：用他們自己的軟件立美，以他們自己特有的方式匿又，成功地解決了那些技術(shù)問題。

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