真空測量是真空技術(shù)中的一個重要組成部分考阱。用于測量真空度的儀器稱為真空計鸡蒲。

　　真空熱處理爐及真空熔煉爐常用的真空計有：熱偶真空計電離真空計等脚自。它們的工作原理如下：

　　（一）熱偶真空計

　　熱偶真空計由敏感元件钳舵、熱偶規(guī)管和測量儀器組成螺坟。熱偶規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通，外殼為玻璃管寝丹，管內(nèi)有加熱絲和熱偶絲底咳。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時，由于溫差效應(yīng)肩堡，在回路中有熱電勢產(chǎn)生珍霉。如加熱絲電壓保持恒定，則熱偶絲的電勢限決于加熱絲的溫度都璃，而加熱絲的溫度與被測氣體的壓強有關(guān)嘿杖。壓強低，氣體熱導(dǎo)率小以舒，被氣體帶走的熱量少趾痘，加熱絲溫度升高，熱偶絲的熱電勢增大蔓钟；反之永票，則熱電勢減少±哪回路中的熱電勢用毫伏表測量侣集，表中的毫伏數(shù)即反映出真空度的高低。為了保證加熱絲的電壓穩(wěn)定兰绣，而接入了穩(wěn)壓電源世分。所以測量儀器是由測量熱電勢的毫伏表和規(guī)管加熱絲穩(wěn)壓電源兩部分組成。

　∽罕纭（二）電離真空計

　　這種真空計主要用于測量高真空度臭埋。在低壓強氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數(shù)與氣體壓強成正比按照離產(chǎn)生的方法不同臀玄，利用熱陰極發(fā)射電子使氣體電離的真空計叫熱陰極電離真空計瓢阴；其中畅蹂，熱陰極電離真空計由熱陰極規(guī)管和測量儀器組成。測量儀器由規(guī)管工作電源癌蚂、發(fā)射電流穩(wěn)壓器渴肿、離子流測量放大器等部分組成。熱陰極電離規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通在策。熱陰極電離規(guī)管是一個三極管，管內(nèi)有陰極隘唁、柵及和收集極敌灰。收集極電位相對于陰極電負電位；柵極相對于陰極電正電位杏疑。當電離規(guī)管通電加熱后甥晦，陰極發(fā)射電子，在電子到達柵極的過程中参枯，與氣體分子碰撞而產(chǎn)生正離子和電子的電離現(xiàn)象敢亥。當發(fā)射電流一定時，正離子數(shù)日與被測氣體壓強成正比辩溢。正離子被收集極收集后梳命，經(jīng)測量電路放大，可由批示電表讀出所要測量的真空度状勤。

　⌒场（三）復(fù)合真空計

　　通常，對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成持搜，而應(yīng)采用復(fù)合真空計密似，應(yīng)用較多的是電離與熱偶式復(fù)合真空計。它的測量范圍為13.33--666.6×10-8Pa葫盼。熱偶真空計測量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空残腌；電離真空計測量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。復(fù)合真空計附有一個熱偶規(guī)管贫导、一個電離規(guī)管抛猫，分別接在真空系統(tǒng)上，通過旋鈕可分別給兩個規(guī)管加熱脱盲，并選擇使用邑滨。

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