1.引言

　　機床的傳動誤差是指在機床傳動鏈的輸入軸驅(qū)動完全準(zhǔn)確且為剛性的條件下揭北，其輸出軸的實際位移與理論位移之差藏络。機床上實現(xiàn)工件表面成形所需復(fù)合運動的傳動鏈――“內(nèi)聯(lián)系”傳動鏈的兩末端執(zhí)行元件之間必須始終嚴格保持符合給定要求的運動關(guān)系屁样。傳動鏈的傳動精度是指其傳遞運動的準(zhǔn)確程度畏帖，可用傳動誤差來衡量拢掷。由于機床實際存在傳動鏈誤差，導(dǎo)致工件表面成形運動軌跡存在誤差曹动，最終反映到被加工工件上即引起成形表面的形狀誤差等斋日。由于機床傳動鏈主要由齒輪副、蝸輪蝸桿副墓陈、螺紋副等組成恶守，因此傳動鏈誤差主要來源于這些傳動元件的加工精度及安裝精度。從運動學(xué)角度來講贡必，一切引起瞬時傳動比偏離給定傳動要求的因素均是傳動鏈誤差的來源兔港。

　　對機床傳動誤差的測量是對傳動誤差進行有效補償?shù)那疤嵊购粒虼藱C床傳動誤差的精密測量一直是機械傳動技術(shù)的一項重要研究課題。機床傳動誤差的基本測量方法是在機床的相關(guān)部位安裝傳感器衫樊，借助于采用機飒赃、光、電原理的測量儀器并應(yīng)用誤差評定理論對機床傳動系統(tǒng)各環(huán)節(jié)的誤差進行測量科侈、分析及調(diào)整载佳，從而找出誤差產(chǎn)生的原因及變化規(guī)律。

　　2.傳感器的選用

　　根據(jù)傳動鏈末端元件的運動性質(zhì)正確臀栈、合理地選用蔫慧、安裝傳感器是準(zhǔn)確測量傳動鏈運動精度的必要條件。根據(jù)工作原理嘹征，機床傳動誤差測量常用傳感器可分為以下幾類：

　⌒钐荨（1）光柵傳感器

　　光柵傳感器的最大優(yōu)點是信號處理方式簡單，使用方便纸靠，測量精度高（國外著名廠家如德國Heidenhain游推、西班牙Fagor等公司制造的光柵傳感器精度可達1μm/m）；缺點是光柵尺價格較昂貴誓读，對工作環(huán)境要求較高胳雁，玻璃光柵尺的線脹系數(shù)與機床不一致，易造成測量誤差伞让。

　】凳拧（2）激光傳感器

　　激光傳感器（包括單頻和雙頻激光）具有較高的測量精度，但測量成本也較高停濒，對環(huán)境條件變化（如溫度菲恢、氣流、振動等）較敏感衣右，在生產(chǎn)現(xiàn)場使用時必須采取措施保證測量的穩(wěn)定性和可靠性锁孟。

　　（3）磁柵傳感器

　　磁柵尺可分為線狀（有效測量長度3m）和帶狀（有效測量長度可達30m）兩種型式茁瘦，其優(yōu)點是制造成本較低品抽，安裝使用方便，線脹系數(shù)與機床相同甜熔；缺點是測量精度低于光柵尺圆恤，由于磁信號強度隨使用時間而不斷減弱，因此需要重新錄磁腔稀，給使用帶來不便盆昙。

　　（4）感應(yīng)同步器

　　感應(yīng)同步器的優(yōu)點是制造成本低焊虏，安裝使用方便弱左，對工作環(huán)境條件要求不高窄陡；缺點是信號處理方式較復(fù)雜炕淮，測量精度受到測量方法的限制（傳統(tǒng)測量方法的測量精度約為2～5μm）拆火。

　　根據(jù)信號輸出方式的不同，可將傳感器分為模擬式和數(shù)字式兩大類涂圆。數(shù)字式傳感器又可分為增量式叶奈、絕對式和信號調(diào)制式等幾種。

　　在計算機測試系統(tǒng)中还纤，模擬式傳感器的輸出信號需利用模數(shù)轉(zhuǎn)換器（A/D）進行數(shù)字化處理尸惭，而在高分辨率情況下A/D轉(zhuǎn)換的成本較高，此外解決微小模擬信號（如微伏級）的抗干擾問題也相當(dāng)困難埠邻。

　　在數(shù)字式傳感器中男磅，絕對式編碼器可輸出并行數(shù)字信號，無需A/D轉(zhuǎn)換苞惰，易與計算機接口蜂澄。但隨著測量精度的提高，絕對式編碼器的成本也越來越高咕诊，甚至高于高精度A/D轉(zhuǎn)換的成本墨攻，因此在許多實際應(yīng)用場合難以被接受。增量式傳感器和信號調(diào)制式傳感器的制造成本較低焚卖，抗干擾能力較強汹魁，可在不改變編碼器刻線密度的情況下采用細分技術(shù)大幅度提高分辨率，因此在傳動鏈精度測量中這兩類傳感器使用最多晰绎。常見的增量式傳感器包括光柵增量編碼器寓落、磁柵傳感器、容柵編碼器等荞下；信號調(diào)制式傳感器主要有感應(yīng)同步器伶选、激光干涉儀、地震儀锄弱、旋轉(zhuǎn)變壓器等考蕾。

　　3.機床傳動誤差的動態(tài)測量方法

　　傳動誤差的基本測量原理：設(shè)θ1、θ2分別為輸入会宪、輸出軸的位移（角位移或線位移）肖卧，輸入、輸出之間的理論傳動比為i掸鹅，如以θ1作為基準(zhǔn)塞帐，輸出軸的實際位移與理論位移的差值即為傳動鏈誤差δ，即δ＝θ2-θ1/i巍沙。根據(jù)對位移信號θ1葵姥、θ2的測量方法不同荷鼠，傳動誤差測量方法可分為比相測量法和計數(shù)測量法兩大類。

　　3.1機床傳動誤差比相測量方法

　　兩傳感器的輸出信號θ1献舍、θ2之間的相位關(guān)系反映了傳動鏈的傳動誤差逛指。當(dāng)傳動誤差TE＝0，即傳動比恒定時苟及，θ1骤转、θ2之間保持恒定的相位關(guān)系；當(dāng)傳動比i發(fā)生變化時夷钥，θ1锚蛀、θ2之間的相位關(guān)系也隨之發(fā)生變化。比相測量法就是通過測定θ1婿残、θ2之間的相位關(guān)系來間接測量傳動誤差TE核宿。隨著數(shù)字技術(shù)、計算機技術(shù)的發(fā)展襟腹，比相測量法經(jīng)歷了從模擬比相→數(shù)字比相→計算機數(shù)字比相的發(fā)展過程顾篡。

　　（1）模擬比相法

　　常用的觸發(fā)式相位計即采用了模擬比相法蜀骗。模擬比相的原理：兩路信號經(jīng)分頻后變?yōu)橥l率信號進入比相計悦追，它們之間的時差Δt取決于θ1、θ2之間的相位差δ（t）限寞。經(jīng)雙穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器鑒別后忍啸，Δt變換為與比相矩形波占空比相對應(yīng)的模擬量Δu，占空比的變化即反映了傳動鏈的傳動誤差履植。

　　模擬比相測量系統(tǒng)存在以下問題：①δ（t）是以2π為周期并按一定規(guī)律變化的周期函數(shù)计雌，設(shè)f為相位變化頻率，ω＝2πf為角頻率玫霎，則有δ（t）＝δ（ωt）凿滤。兩信號比相時，相位測量是以1/f為周期的重復(fù)測量庶近，由條件0≤δ（ωt）≤2π可知翁脆，Δu與δ（t）具有線性關(guān)系。由于δ（ωt）呈周期變化鼻种，因此要求模擬記錄表頭的時間常數(shù)τ小于被測變化相位差的周期反番，即τ≤1/f，否則在前一個相位變化周期內(nèi)還未獲得準(zhǔn)確讀數(shù)時叉钥，后一個周期已開始重復(fù)罢缸，這樣就無法實時記錄相位差的變化。因此模擬比相法的動態(tài)測量性能較差码累，不能適應(yīng)實時分析處理的動態(tài)測量要求譬椰。②測量分辨率與測量范圍相互制約踏蚓，如提高分辨率，則會減小量程姚不，為此需配置量程選擇電路惫投，被測信號的相位差必須小于360°。③要求進入比相計的兩路信號頻率相同光丢，即只能進行同頻比相旋蝎，因此兩路信號的分頻/倍頻器必須滿足傳動比變化要求，電路結(jié)構(gòu)復(fù)雜镰掐，抗干擾能力差，適用范圍較小琐幔。

　≌ǔ稀（2）數(shù)字比相法

　　數(shù)字比相采用邏輯門和計數(shù)器來實現(xiàn)，相位差直接以數(shù)字量形式輸出为稽。比相原理：兩同頻信號θ1碗屏、θ2經(jīng)放大整形后得到兩組脈沖信號u1、u2疑苔，它們分別通過邏輯門電路控制計數(shù)器的開甫匹、關(guān)。計數(shù)器的計數(shù)結(jié)果即為θ1惦费、θ2之間的時間間隔Δt兵迅，它與相位差δ（t）成正比。設(shè)比相信號周期為T薪贫，則有δ（t）＝2πΔt/T恍箭。

　　數(shù)字比相測量法的主要特點為：①由于Δt值不僅取決于兩信號的相位差δ（t），而且還與兩信號的頻率有關(guān)瞧省。因此扯夭，為獲得較高精度的測量結(jié)果，就必須保證兩比相脈沖信號和時鐘信號均有較高精度鞍匾。在一個比相周期T內(nèi)交洗，任何引起比相信號頻率變化的因素都將影響測量結(jié)果。②雖然數(shù)字比相彌補了模擬比相的一些不足橡淑，測量穩(wěn)定性和可靠性有所提高构拳，但仍然只能適用于同頻比相。

　∨荒　（3）微機細分比相法

　　20世紀80年代以來蒂抒，測試儀器微機化成為測量技術(shù)的重要發(fā)展趨勢。在機床傳動誤差測量中二搀，微機細分比相法開始得到廣泛應(yīng)用先兆。

　　微機細分比相法是數(shù)字比相法的微機化應(yīng)用肢箕。由于計算機具有強大的邏輯、數(shù)值運算功能和控制功能爵例，極易實現(xiàn)兩路信號的高頻時鐘細分牲支、比相及輸出，因此外圍線路的制作比較簡單豌淹。傳動誤差為δ（t）＝2πNt/N窥血。在比相過程中，高頻脈沖φ不再由外部振蕩電路產(chǎn)生措坐，而直接采用計算機內(nèi)部的時鐘CP牢辣；脈沖CP的計數(shù)不再采用邏輯門電路計數(shù)器，而采用計算機內(nèi)的可編程定時/計數(shù)器拣播。微機細分比相測量法具有如下優(yōu)點：①兩路比相信號無須頻率相同（即被測傳動鏈的傳動比可為任意值）晾咪，在傳動鏈誤差的計算中，傳動比為一常數(shù)贮配。②比相相位差可為任意值谍倦，不受相位差必須小于360°的限制。③實現(xiàn)了時鐘細分與比相的一體化泪勒，使硬件接口線路大大簡化昼蛀。由于可編程計數(shù)器的分頻數(shù)可由計算機軟件控制，因此可方便地調(diào)整采樣頻率圆存，以適應(yīng)不同轉(zhuǎn)速下傳動鏈誤差的測量叼旋。④系統(tǒng)的細分精度和測量精度較高，便于構(gòu)成智能化辽剧、多功能測量系統(tǒng)送淆。

　　3.2機床傳動誤差計數(shù)測量方法

　　模擬比相和數(shù)字比相均為同頻比相，為獲得同頻比相信號怕轿，必須首先進行傳動比分頻偷崩；為保證各誤差范圍不致發(fā)生2π相位翻轉(zhuǎn)，還需要進行量程分頻撞羽。由于分頻會降低測量分辨率欣挠，因此必須在分頻前先進行倍頻，這就使測量系統(tǒng)變得較為復(fù)雜蚀攘。此外怕枣，對于非整數(shù)傳動比因無法分頻而不能進行測量。

　　數(shù)字計數(shù)測量法采用非同頻比相嘴略，因此不需對兩路脈沖信號進行分頻處理庸既，可直接利用兩傳感器輸出脈沖之間的數(shù)量關(guān)系來計算機床傳動誤差。

　　（1）直接計數(shù)測量法

　　直接計數(shù)測量法原理：設(shè)輸入技熊、輸出軸傳感器的每轉(zhuǎn)輸出信號數(shù)分別為λ1倾莽、λ2，選擇輸出軸θ2作為基準(zhǔn)軸望吧，采樣間隔T等于θ2脈沖信號的周期或它的整數(shù)倍板刑。根據(jù)傳動誤差的定義，第j次采樣時的傳動誤差為：δ（j）＝［N1（tj）-N2（tj）（iλ1/λ2）］2π/λ1俊炒。

　　由于θ1邑键、θ2是時間上離散的脈沖序列，因此在測量過程中休玩，采樣時間間隔（N2個θ2脈沖）內(nèi)θ1脈沖的計數(shù)N1（tj）是隨時間而變化的著淆，且通常為非整數(shù)。這樣哥捕，其小數(shù)部分Δ所造成的誤差Δ2π/λ1就被忽略了牧抽。此外，實際傳動系統(tǒng)的（iλ1/λ2）不一定總為整數(shù)遥赚，即脈沖θ1的頻率不一定是θ2的整數(shù)倍，如將N1理論視為整數(shù)處理將造成理論誤差阐肤，從而限制其應(yīng)用范圍凫佛。

　　（2）微機細分計數(shù)測量法

　　微機細分計數(shù)測量法的測量步驟為：①以前一個θ2脈沖作為開門信號孕惜，后一個θ2脈沖作為關(guān)門信號愧薛，用計數(shù)器對θ1的脈沖個數(shù)N0進行計數(shù)；②利用時鐘脈沖CP對脈沖序列θ1進行插值細分衫画，對θ1脈沖信號的小數(shù)周期計數(shù)值TΔ和整數(shù)周期計數(shù)值T2分別計數(shù)毫炉；③計算傳動誤差：δ（t）＝（N0+TΔ/T2-iλ1/λ2）2π/λ1。

　　微機細分計數(shù)測量法具有以下優(yōu)點：①可有效減小測量誤差Δ树季；②可充分利用計算機內(nèi)部資源及軟件控制來簡化外部硬件電路垄套；③將測量采樣、數(shù)據(jù)處理和結(jié)果分析融為一體令叉，實現(xiàn)了智能化測量沦浆。

聲明：本網(wǎng)站所收集的部分公開資料來源于互聯(lián)網(wǎng)，轉(zhuǎn)載的目的在于傳遞更多信息及用于網(wǎng)絡(luò)分享溜帐，并不代表本站贊同其觀點和對其真實性負責(zé)将盾，也不構(gòu)成任何其他建議。本站部分作品是由網(wǎng)友自主投稿和發(fā)布勃核、編輯整理上傳再僧，對此類作品本站僅提供交流平臺，不為其版權(quán)負責(zé)。如果您發(fā)現(xiàn)網(wǎng)站上所用視頻猬听、圖片嫉鸳、文字如涉及作品版權(quán)問題，請第一時間告知证森，我們將根據(jù)您提供的證明材料確認版權(quán)并按國家標(biāo)準(zhǔn)支付稿酬或立即刪除內(nèi)容辰令，以保證您的權(quán)益！聯(lián)系電話：010-58612588 或 Email:editor@mmsonline.com.cn节值。