“我們認(rèn)為是在按照尺寸規(guī)格要求加工零件，但零件的實(shí)際尺寸卻很難確定“砟”這是時(shí)陈筮洌可以聽(tīng)到的來(lái)自車間（特別是微型加工車間）的抱怨候摹。不過(guò)，新一代測(cè)量?jī)x器的發(fā)展將會(huì)對(duì)此大有幫助娄勒。

　　通乘恚可以采用觸測(cè)式和掃描式（非接觸式）兩種方法來(lái)測(cè)量零件。接觸式測(cè)頭用于測(cè)量可觸測(cè)的零件馋奠，也用于測(cè)量帶有難以照明的凹槽的零件屎洒。對(duì)于易碎零件、必須保持無(wú)菌狀態(tài)的零件或微型零件丰吐，則可采用某種形式的光線（如激光虑稼、白光、紅外線等）進(jìn)行測(cè)量世舰。本文介紹的正是可以完成上述任務(wù)的一些先進(jìn)測(cè)量?jī)x器动雹。

　　芝加哥的Microlution公司是生產(chǎn)微型加工機(jī)床的制造商，并為Microlution 310-S機(jī)床開(kāi)發(fā)了用于評(píng)價(jià)零件加工質(zhì)量的測(cè)量附件跟压。這是一種基于激光的幾何量特征在機(jī)測(cè)量系統(tǒng)胰蝠。該裝置將Z軸上采用共焦激光的距離測(cè)量與機(jī)床運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上線性編碼器的掃描定位信息相結(jié)合，以獲得表面被測(cè)點(diǎn)的三維坐標(biāo)震蒋。該裝置可獲得堪與表面輪廓儀媲美的分辨率（用光斑直徑2μm的激光束測(cè)量距離的分辨率達(dá)到10nm）茸塞。

　　為了對(duì)工件進(jìn)行測(cè)量，可利用Microlution 310-S機(jī)床上的運(yùn)動(dòng)安裝系統(tǒng)查剖，用具有亞微米級(jí)重復(fù)精度的激光測(cè)頭快速替換刀具主軸钾虐。在大批量生產(chǎn)時(shí)，可將零件裝卡在托盤上笋庄，使激光測(cè)頭可以掃描多個(gè)單元效扫，獲得的點(diǎn)云數(shù)據(jù)可用于確定零件的尺寸和表面質(zhì)量，也可輸入第三方軟件包進(jìn)行數(shù)據(jù)處理直砂。

　　Hexagon測(cè)量集團(tuán)旗下的Brown & Sharpe公司開(kāi)發(fā)的Optiv測(cè)量機(jī)系列是該集團(tuán)顯示其在微加工領(lǐng)域測(cè)量實(shí)力的最新產(chǎn)品计侯。公司產(chǎn)品經(jīng)理Gary Hobart介紹說(shuō)帝畸，該測(cè)量機(jī)主要采用基于視覺(jué)的測(cè)量原理，但也可以配備各種功能齊備的測(cè)頭和光學(xué)傳感器（包括接觸式測(cè)頭傻当、激光和白光傳感器等）邀安。Optiv由一系列“積木式”模塊元件構(gòu)成，可滿足用戶的特殊測(cè)量需求和適用于不同的測(cè)量方式堤型。

　　每一種傳感器扬瘸，無(wú)論是接觸式測(cè)頭，還是激光或白光（WLS）測(cè)頭教物，都可用于多種測(cè)量乌骇。盡管由于Z軸測(cè)量范圍的原因，在無(wú)補(bǔ)償時(shí)視頻測(cè)頭的精度受到透鏡景深的限制彪性，但對(duì)于二維測(cè)量來(lái)說(shuō)彩梅，視頻測(cè)頭仍是速度最快科请、精度最高的測(cè)頭稍记。

　　系統(tǒng)的精度取決于所用的測(cè)頭和所測(cè)的項(xiàng)目。根據(jù)經(jīng)驗(yàn)估計(jì)峡竣，視頻測(cè)頭的分辨率約為1/10象素靠抑，測(cè)量能力約為1/3象素（亞微米級(jí)水平）。用白光測(cè)頭測(cè)量時(shí)适掰，分辨率可達(dá)到納米級(jí)水平颂碧，高于測(cè)量機(jī)的機(jī)械運(yùn)動(dòng)能力。

　　能夠測(cè)量的最小項(xiàng)目為1/3象素类浪，借助于很高的放大倍數(shù)载城，可達(dá)到亞微米級(jí)水平。利用高放大倍數(shù)费就，精密接觸式測(cè)量和白光掃描測(cè)量都可與CAD檢測(cè)相互連接诉瓦，使零件尺寸更容易確定。

　　由于許多微小零件必須采用非接觸測(cè)量（許多特征如微小半徑或微孔對(duì)于接觸式測(cè)量裝置而言實(shí)在太辛ο浮）睬澡，因此需要采用光學(xué)測(cè)量方法。三豐美國(guó)公司提供精度范圍0.3－5μm的光學(xué)儀器眠蚂。Quick Vision視頻測(cè)量機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)精度為1.5μm煞聪。

　　“我們知道，研發(fā)工作對(duì)量?jī)x的需求量很大逝慧，尤其是那些功能與機(jī)床近似的量?jī)x讹荣。”三豐的視頻測(cè)量產(chǎn)品專家Allen Cius說(shuō)保跨，“大多數(shù)測(cè)量?jī)x器都采用手動(dòng)裝卸工件合杜，不過(guò)我們也能為大批量生產(chǎn)提供由機(jī)器人裝卸工件的儀器效聂。”

　　當(dāng)創(chuàng)建一個(gè)工件的測(cè)量程序時(shí)卑裹，首先將工件放置在工作臺(tái)的玻璃臺(tái)面上并粗略定位枷澜。然后利用工件邊緣自動(dòng)檢測(cè)工具建立一個(gè)坐標(biāo)系或參考點(diǎn)。創(chuàng)建工件測(cè)量程序時(shí)所完成的所有動(dòng)作都被“記錄”下來(lái)蜒媳，并作為程序儲(chǔ)存起來(lái)跷缀。只要相機(jī)能拍攝到工件畫面，就可以對(duì)其進(jìn)行測(cè)量古贡。一旦測(cè)量程序編制完成那捍，即可用于實(shí)現(xiàn)工件的自動(dòng)檢測(cè)。用戶只需簡(jiǎn)單地將工件置于工作臺(tái)上的夾緊裝置中签党，按下按鈕槐滔，即可走開(kāi)，讓視頻測(cè)量機(jī)自動(dòng)完成全部測(cè)量任務(wù)谒所。

　　視頻測(cè)量系統(tǒng)通常具有三種照明類型：工作臺(tái)照明热康、反光式照明（也稱為同軸照明）以及可編程的環(huán)形照明。照明類型的選用取決于產(chǎn)品的復(fù)雜程度以及必須照亮表面的數(shù)量劣领。

　　工作臺(tái)照明是最簡(jiǎn)單的照明方式（其照明效果非常像光學(xué)比較儀）姐军。同軸照明光穿過(guò)透鏡，主要用于照亮工件表面尖淘。最有用的照明方式是可編程控制的紅奕锌、綠、藍(lán)發(fā)光二極管的環(huán)形照明村生，利用不同顏色的光惊暴，很容易確定邊緣或工件結(jié)構(gòu)的變化。由于拋物線光環(huán)可獨(dú)立于相機(jī)進(jìn)行移動(dòng)趁桃，因此能改變光線的入射角以獲得最佳視場(chǎng)辽话。

　　三豐公司最新設(shè)計(jì)的Quick Vision Stream（QVS）系列視頻測(cè)量機(jī)采用頻閃照明替代CCD相機(jī)去捕獲測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的圖像，并用逐行掃描相機(jī)取代了標(biāo)準(zhǔn)的CCD傳感器镇辉。

　　QVS采用了新開(kāi)發(fā)的高亮度LED閃光照明裝置屡穗，因此能進(jìn)行不間斷的視頻測(cè)量。當(dāng)帶著被測(cè)工件的工作臺(tái)正好到達(dá)測(cè)量點(diǎn)時(shí)娶恕，一個(gè)短暫的高亮度閃光有效地“凍結(jié)”了運(yùn)動(dòng)揖漫，從而捕獲具有完整、精確細(xì)節(jié)的工件清晰圖像篓释。所獲得的圖像可記錄下每個(gè)工件的關(guān)鍵坐標(biāo)垄坡。

　　在一個(gè)應(yīng)用實(shí)例中，QV Stream測(cè)量系統(tǒng)可以在45分鐘內(nèi)檢測(cè)一個(gè)太陽(yáng)能電池板上的30000個(gè)小孔采璧，每個(gè)孔的尺寸琼葫、方位和位置都記錄在案罩音。

　　QV stream系列根據(jù)測(cè)量范圍的不同，有從300mm×300mm×250mm到600mm×650mm×250mm等多種規(guī)格蚯巍，但儀器的分辨率都是0.1μm试旬。

　　Marposs公司的產(chǎn)品經(jīng)理Frank Powell介紹說(shuō)，該公司擁有可以測(cè)量直徑1mm以下小孔的測(cè)量系統(tǒng)浅涛∽⒘龋“在使用這些儀器時(shí)，我們發(fā)現(xiàn)恤锣，微加工領(lǐng)域最難測(cè)量的兩種產(chǎn)品是微型軸承和燃料噴嘴廷蓉，通常其測(cè)量直徑可小到0.5mm÷黻迹”

　　為了滿足微加工領(lǐng)域的測(cè)量需求桃犬，Marposs公司開(kāi)發(fā)了多種測(cè)量?jī)x器，其中之一就是通過(guò)主軸的在線內(nèi)徑測(cè)量頭Picothruvar行楞。它用于內(nèi)圓磨床上攒暇，與磨輪對(duì)向安裝，可進(jìn)入微小的內(nèi)徑空間進(jìn)行測(cè)量敢伸。由于空間有限扯饶，磨輪和測(cè)頭不能同時(shí)進(jìn)入孔內(nèi)，只能以磨削—測(cè)量—磨削的順序交替進(jìn)行池颈。

　　為了更有效地進(jìn)行磨削加工，測(cè)量頭中組合了連續(xù)曲線存儲(chǔ)器钓丰。測(cè)頭每一次與磨輪互換進(jìn)行測(cè)量后躯砰，都要將測(cè)得的尺寸與前一次的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行比較，然后由放大器計(jì)算出工件尺寸的變化率携丁，從而在適當(dāng)?shù)臅r(shí)間觸發(fā)輸出到磨床的控制信號(hào)琢歇。

　　“孔徑太小是一個(gè)最大的問(wèn)題，”Powell表示拿详，“由于無(wú)法使用接觸式測(cè)頭拭牌，因此只能采用氣動(dòng)量規(guī)。是否選用氣動(dòng)量規(guī)取決于孔徑與孔深之比户克，例如方占，要測(cè)量一個(gè)直徑2mm、深度20mm的孔输僻，就必須采用氣動(dòng)量規(guī)升院。”

　　“在某些情況下春庇，無(wú)法進(jìn)行在機(jī)測(cè)量匠借。因此覆霹，對(duì)于0.5mm以下的微小外徑，我們建議采用一種離線光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)胆快。該系統(tǒng)采用紅外線的投影來(lái)測(cè)量尺寸煞陵，測(cè)量精度取決于相機(jī)的分辨率∷副海”

　　“另一個(gè)注意事項(xiàng)是：不要觸摸工件略吨。”Powell說(shuō)考阱，“帶油污的手指甚至工人的體溫都會(huì)影響測(cè)量精度翠忠。”

　　Marposs的測(cè)頭產(chǎn)品經(jīng)理Sharad Mundra指出乞榨，用于微加工的刀具幾乎都很小秽之，直徑小至0.0002″（0.005mm）的鉆頭也并不少見(jiàn)。因此吃既，確定刀具是否確實(shí)安裝在機(jī)床上就顯得至關(guān)重要考榨。“因此鹦倚，我們提供了一種非接觸式激光測(cè)量系統(tǒng)河质，可以測(cè)量小至30μm的刀具長(zhǎng)度和直徑≌鹦穑”Marposs公司的Mida OP32緊湊型觸測(cè)系統(tǒng)是為CNC微型銑床掀鹅、加工中心和小型機(jī)床而設(shè)計(jì)的。測(cè)頭中集成了傳輸模塊媒楼，測(cè)量數(shù)據(jù)可通過(guò)一個(gè)接收器和一個(gè)界面?zhèn)鬏數(shù)紺NC機(jī)床出蛾；為了應(yīng)對(duì)微小刀具不斷增長(zhǎng)的測(cè)量需要以及微型銑床數(shù)量的不斷增加，Marposs公司還開(kāi)發(fā)了Mida Laser 75 Pico非接觸式刀具激光檢查系統(tǒng)观哲，該系統(tǒng)測(cè)量直徑10μm的刀具時(shí)掏躬，重復(fù)性高達(dá)0.2μm。

　　無(wú)線測(cè)頭在小型加工機(jī)床上也非常有用担戏。Marposs的無(wú)線測(cè)頭有一個(gè)帶有發(fā)射器/接收器的淬硬觸針续疲，該測(cè)頭的測(cè)量范圍為32mm×50mm，用于在線測(cè)量堵生。

　　為了測(cè)量具有小于1mm內(nèi)外直徑的工件嘁梦，Marposs公司推出了M39S掃描測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用氣電技術(shù)棵擂，以掃描模式測(cè)量微小的內(nèi)外直徑见炫，并可沿著整個(gè)配合表面進(jìn)行間隙檢查。M39S可用圖形顯示測(cè)量信息拙达，可以檢測(cè)直徑誤差得稼、圓柱度誤差和軸腐蛀、孔的配合面誤差。例如回溺，它可用于檢查直徑僅為0.8mm的孔與軸之間的配合間隙春贸。該測(cè)量單元與被測(cè)工件無(wú)接觸。

　　Marposs的氣電轉(zhuǎn)換器是根據(jù)氣電測(cè)量原理遗遵、基于氣動(dòng)技術(shù)開(kāi)發(fā)的測(cè)量系統(tǒng)的一個(gè)部件萍恕，被測(cè)工件的尺寸偏差被轉(zhuǎn)換器以壓力變化方式讀出，然后被轉(zhuǎn)換為類似的電信號(hào)车要。

　　“我們發(fā)現(xiàn)允粤，航空零部件是微機(jī)械加工行業(yè)的強(qiáng)大推動(dòng)力∫硭辏”Metris美國(guó)公司的常務(wù)董事Myles Richard說(shuō)类垫。該公司主要關(guān)注的是盡可能獲得最高的測(cè)量精度，同時(shí)完全檢測(cè)出零件的主要特征琅坡。在現(xiàn)有的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（CMM）上增加非接觸式激光掃描測(cè)量功能悉患，可使其實(shí)現(xiàn)多功能化。使用Metris的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)或者用Metris激光掃描技術(shù)改造現(xiàn)有坐標(biāo)測(cè)量機(jī)榆俺，可以獲得許多益處售躁，提高實(shí)現(xiàn)最佳測(cè)量效果的效率。

　　采用陶瓷基座的Metris LK-V 876橋式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是多傳感器解決方案的一個(gè)實(shí)例扯殴，它在一個(gè)系統(tǒng)中同時(shí)提供了接觸式測(cè)頭和激光掃描測(cè)頭缰鹏。這種解決方案是為在實(shí)驗(yàn)室理想環(huán)境下進(jìn)行高精度測(cè)量而設(shè)計(jì)的，能夠?qū)崿F(xiàn)小于2.5μm的測(cè)量精度（空間測(cè)量精度為2.5/10000谅沛，重復(fù)性為0.6/10000）羞遭，并按ISO 10-3-60標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了測(cè)試驗(yàn)證。Richard解釋說(shuō)喳睬，“這種多傳感器方法使微機(jī)械加工行業(yè)在需要時(shí)可以充分發(fā)揮每一種掃描技術(shù)的優(yōu)勢(shì)。例如即荞，當(dāng)測(cè)量一個(gè)孔的形狀時(shí)泥出，只需要測(cè)量三個(gè)點(diǎn)，用一個(gè)接觸式測(cè)頭就足夠了尾疟。但在測(cè)量一個(gè)具有許多細(xì)節(jié)和特征的輪廓面時(shí)辟焚，采用非接觸式激光掃描測(cè)頭來(lái)獲取密集的數(shù)據(jù)點(diǎn)云則更為合適〉嫒酰”

　　Metris公司既能提供用于高精度加工的微小測(cè)量設(shè)備和在生產(chǎn)車間環(huán)境下使用的光學(xué)和便攜式測(cè)量系統(tǒng)究滞，也能提供用于尺寸在16－60m的加工及工件的大尺度測(cè)量設(shè)備。

　　“如今装获，激光掃描測(cè)量對(duì)于許多測(cè)量公司而言仍然是相對(duì)較新的技術(shù)瑞信。Metris公司在該技術(shù)的咨詢厉颤、支持和培訓(xùn)方面的能力可以幫助用戶在對(duì)該技術(shù)投資之前認(rèn)識(shí)其價(jià)值，這一點(diǎn)非常重要凡简”朴眩”Richard說(shuō)，“通常的理解是秤涩，新的設(shè)備會(huì)給用戶的生產(chǎn)工藝帶來(lái)重大變化帜乞，這正是Metris長(zhǎng)期積累的經(jīng)驗(yàn)和知識(shí)至關(guān)重要的原因】鹁欤”

　　Starrett公司的常務(wù)董事Mark Arenal指出：“計(jì)算機(jī)的強(qiáng)大能力和視頻技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)使得這一測(cè)量領(lǐng)域的進(jìn)步成為可能黎烈，這為圖像評(píng)估和復(fù)雜測(cè)量提供了大量的數(shù)字信息≡纫ィ”

　　在過(guò)去一段時(shí)期照棋，光學(xué)比較儀曾是應(yīng)用于許多加工中的主要測(cè)量?jī)x器。但是振定，隨著工件越來(lái)越小必怜、公差越來(lái)越嚴(yán)，對(duì)放大倍率城汹、觀測(cè)微小細(xì)節(jié)與特征以及測(cè)量效率等方面的要求在許多車間逐漸成為問(wèn)題偷菩，對(duì)測(cè)量?jī)x器更高的分辨率和更好的多功能性也提出了要求。為此拄下，首先開(kāi)發(fā)出了非接觸式視頻測(cè)量機(jī)咳蚣，然后，為了滿足更復(fù)雜的測(cè)量需求鸳咐，又在測(cè)量機(jī)上增加了接觸式測(cè)頭和激光測(cè)頭嘁拖。因此，如今用戶可以購(gòu)買一個(gè)坐標(biāo)定位平臺(tái)泥觉，它可將激光測(cè)頭瘸利、非接觸式光學(xué)測(cè)頭和接觸式測(cè)頭的優(yōu)勢(shì)組合在一起。

　　高端測(cè)量系統(tǒng)通常具有更難操控的特點(diǎn)紊捉，需要進(jìn)行更高水平的培訓(xùn)怯路。而入門級(jí)的基本型產(chǎn)品（如視頻比較儀或工具顯微鏡）則更容易操作。

　　“量?jī)x行業(yè)正在不斷發(fā)展溯剑，”Arenal說(shuō)蛉加，“完成測(cè)量任務(wù)可以采用多種方式，因此人們總是希望選擇最好的測(cè)量系統(tǒng)缸逃，其動(dòng)力既來(lái)自加工要求针饥，也來(lái)自量?jī)x能夠達(dá)到的測(cè)量效果。你不僅可以快速獲得定量數(shù)據(jù)，而且也能獲得定性數(shù)據(jù)丁眼】攴铮”

　　“對(duì)于具有復(fù)雜三維形貌的工件，激光測(cè)頭可能是很好的選擇户盯，你可以得到一組能反映復(fù)雜形貌的數(shù)據(jù)點(diǎn)嵌施。對(duì)于帶有許多凹進(jìn)處的較大工件，選擇接觸式測(cè)頭可能更好莽鸭。對(duì)于那些接觸式測(cè)頭難以到達(dá)具有微小細(xì)節(jié)重要部位的工件吗伤，視頻測(cè)頭則是最好的選擇，并且要求具有較高放大倍數(shù)硫眨∽阆”

　　在此，尺寸扮演了重要角色织岁≡咧“對(duì)于一個(gè)如阿司匹林藥片大小的工件，通常必須采用非接觸測(cè)量方式着脐。對(duì)于大型工件（如飛機(jī)的翼梁結(jié)構(gòu)）氨筑，則可能需要采用接觸式測(cè)量』樱”Arenal說(shuō)瑰齐，“在測(cè)量大平面或柔軟工件時(shí)，最佳選擇是較大規(guī)格的移動(dòng)式視頻測(cè)量系統(tǒng)栅洁。例如仔醒，對(duì)于一個(gè)帶有不能觸碰的蝕刻表面的大型扁平工件，可以采用一臺(tái)配備了視頻傳感器的大行程非接觸式測(cè)量機(jī)進(jìn)行測(cè)量劳诽⌒蚱溃”

　　視頻測(cè)量系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在對(duì)二維或2.5維工件的測(cè)量上《ㄆ纾“我們的低成本視頻測(cè)量系統(tǒng)能夠進(jìn)行復(fù)雜的測(cè)量辽廊，其主要特點(diǎn)是采用簡(jiǎn)單的邊緣檢測(cè)」俚兀”Arenal說(shuō)减拭，“該系統(tǒng)主要用于單件或小批量測(cè)量，并且可作為工具顯微鏡或光學(xué)比較儀的升級(jí)換代產(chǎn)品区丑。這些測(cè)量機(jī)在性能設(shè)計(jì)上已改進(jìn)為機(jī)動(dòng)操作⌒薅福”

　　Zeiss公司為微制造行業(yè)提供了最新的F25測(cè)量機(jī)沧侥，該儀器的測(cè)量不確定度不超過(guò)250nm，其特點(diǎn)是既配備了觸發(fā)式測(cè)頭魄鸦，又配備了最新式的光學(xué)測(cè)頭宴杀。

　　使用接觸式測(cè)頭的測(cè)量系統(tǒng)有一個(gè)關(guān)鍵問(wèn)題：避免測(cè)頭使工件變形或移位癣朗。Zeiss測(cè)量系統(tǒng)通過(guò)設(shè)計(jì)一個(gè)測(cè)量壓力為0.5mNμm（僅為大多數(shù)測(cè)頭的1/200）的測(cè)頭系統(tǒng)解決了這一問(wèn)題。該測(cè)頭可以采用直徑小至0.12mm的測(cè)球旺罢。

　　“實(shí)現(xiàn)不確定度如此小的測(cè)量的最大挑戰(zhàn)是熱量的影響旷余，”Zeiss公司精密產(chǎn)品部的新產(chǎn)品經(jīng)理Gerrit deGlee說(shuō)，“為了解決這一問(wèn)題扁达，F(xiàn)25測(cè)量機(jī)采用了由一種玻璃－陶瓷材料制成的刻度尺正卧，這種材料由不同的分子構(gòu)成，當(dāng)受熱時(shí)缨拇，一些分子膨脹而另一些分子收縮茅早，因此最終結(jié)果實(shí)質(zhì)上是零膨脹。以前类紧，光是刻度尺熱膨脹率的不確定度就會(huì)超過(guò)我們?cè)噲D達(dá)到的測(cè)量精度肘论。采用這種刻度尺后，我們就可以取消那些同樣會(huì)影響測(cè)量不確定度的熱傳感器抵思∠て觯”

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