激光切割加工具有切割精度高、切割速度快、熱效應(yīng)低、無污染地混、無噪音等優(yōu)點(diǎn)，在汽車句担、船舶庆牵、航空航天和電子工業(yè)中都得到了廣泛的應(yīng)用。而激光切割加工質(zhì)量與激光焦點(diǎn)與工件之間的相對(duì)位置有著密切的關(guān)系青蝗，保證激光焦點(diǎn)和切割對(duì)象之間的合理的相對(duì)位置是保證激光切割加工質(zhì)量的關(guān)鍵之一遏填。

　　激光切割加工具有切割精度高、切割速度快世蕴、熱效應(yīng)低氛赞、無污染、無噪音等優(yōu)點(diǎn)塘丝，在汽車赔癌、船舶、航空航天和電子工業(yè)中都得到了廣泛的應(yīng)用澜沟。而激光切割加工質(zhì)量與激光焦點(diǎn)與工件之間的相對(duì)位置有著密切的關(guān)系灾票，保證激光焦點(diǎn)和切割對(duì)象之間的合理的相對(duì)位置是保證激光切割加工質(zhì)量的關(guān)鍵之一。

　　激光聚焦的焦點(diǎn)位置無法直接測(cè)量茫虽，但可以通過間接方法檢測(cè)刊苍。對(duì)于一個(gè)激光切割加工系統(tǒng)，其焦點(diǎn)位置是由聚焦鏡的光學(xué)焦點(diǎn)決定的濒析，所以在聚焦鏡一定情況下其位置是不變的(不考慮聚焦鏡的熱效應(yīng))正什，因此可以通過檢測(cè)聚焦鏡和被加工對(duì)象之間的相對(duì)位置來間接檢測(cè)焦點(diǎn)和被加工對(duì)象之間的位置關(guān)系啥纸。

　　激光焦點(diǎn)和被加工對(duì)象之間的相對(duì)位置可以通過電感位移傳感器和電容傳感器來檢測(cè)，在使用中各有優(yōu)缺點(diǎn)婴氮。電感傳感器的響應(yīng)頻率較低斯棒，不太適用于高速加工和像!維加工這樣需要非接觸檢測(cè)的場(chǎng)合；電容傳感器主经，具有響應(yīng)速度快荣暮，檢測(cè)精度高等優(yōu)點(diǎn)，但在使用過程中存在非線性和易受激光切割加工過程中產(chǎn)生的等離子云和噴渣的干擾的影響追祈。

　　本文將系統(tǒng)討論激光切割加工中激光焦點(diǎn)位置誤差的產(chǎn)生途徑和自動(dòng)消除誤差的控制系統(tǒng)的組成返乏。在此基礎(chǔ)上分別討論了兩種傳感器檢測(cè)系統(tǒng)組成以及實(shí)際使用中存在的不足和克服的方法框抽。

　　1激光切割過程中焦點(diǎn)位置誤差的產(chǎn)生

　　在激光切割過程中俐番，產(chǎn)生焦點(diǎn)和被加工對(duì)象表面之間相對(duì)位置發(fā)生變化的因素很多，被加工工件表面凸凹不平绵扇、工件裝夾方式撇熬、機(jī)床的幾何誤差以及機(jī)床在負(fù)載力下的變形、工件在加工過程中的熱變形等都會(huì)造成激光焦點(diǎn)位置和理想給定位置(編程位置)發(fā)生偏差仓煌。有些誤差(如機(jī)床的幾何誤差)具有規(guī)律性烧已，可以通過定量補(bǔ)償方法進(jìn)行補(bǔ)償，但有些誤差為隨機(jī)誤差熔徊，只能通過在線檢測(cè)和控制來消除烘牌，這些誤差是：

　　1.1工件幾何誤差

　　激光切割的對(duì)象為板材或覆蓋件型零件，由于各種?因的影響朽晓，加工對(duì)象表面具有起伏不平撮点，且在切割過程中的熱效應(yīng)的影響也會(huì)產(chǎn)生薄板零件的表面變形，對(duì)于1維激光加工方仿，覆蓋件在壓制成型過程中也會(huì)產(chǎn)生表面的不平固棚，所有這些，都會(huì)產(chǎn)生激光焦點(diǎn)與被加工對(duì)象表面的位置與理想位置發(fā)生隨機(jī)變化仙蚜。

　　1.2工件裝夾裝置產(chǎn)生的誤差

　　激光切割加工的工件是放在針狀工作臺(tái)上此洲，由于加工誤差、長(zhǎng)時(shí)間與工件之間的磨損和激光的燒傷委粉，針床會(huì)出現(xiàn)凸凹不平呜师，這種不平也會(huì)產(chǎn)生薄鋼板和激光焦點(diǎn)之間的位置的隨機(jī)誤差。

　　1.3編程產(chǎn)生的誤差

　　在1維激光切割加工過程中贾节，復(fù)雜曲面上的加工軌跡是通過直線匣掸、圓弧等擬合的，這些擬合曲線和實(shí)際曲線存在一定誤差氮双，這些誤差使得實(shí)際焦點(diǎn)和加工對(duì)象表面的相對(duì)位置和理想編程位置產(chǎn)生一定誤差碰酝。而有些示教編程系統(tǒng)也會(huì)引入一些偏差霎匈。

　　2激光切割過程中焦點(diǎn)位置在線檢測(cè)與控制系統(tǒng)的組成

　　激光切割焦點(diǎn)位置在線檢測(cè)與控制系統(tǒng)由控制器、檢測(cè)系統(tǒng)送爸、執(zhí)行裝置等部分組成铛嘱。

　　根據(jù)焦點(diǎn)位置檢測(cè)控制系統(tǒng)和系統(tǒng)的關(guān)系，焦點(diǎn)位置檢測(cè)控制系統(tǒng)分為獨(dú)立式和集成式兩種窗蠕。

　　獨(dú)立式焦點(diǎn)位置檢測(cè)與控制系統(tǒng)采用單獨(dú)的坐標(biāo)軸進(jìn)行焦點(diǎn)位置誤差的補(bǔ)償控制波烘，機(jī)械結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本較高骏疆，但可與各種數(shù)控系統(tǒng)和激光切割機(jī)床配合使用亥矿。

　　而集成式采用激光切割機(jī)床本身的一個(gè)進(jìn)給軸(對(duì)平面加工)或多個(gè)進(jìn)給軸的合成(對(duì)于1維切割加工)運(yùn)動(dòng)來進(jìn)行焦點(diǎn)位置誤差的補(bǔ)償。這種方式具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單潜佑、成本低锨飞，易于調(diào)整等優(yōu)點(diǎn)，但要求和數(shù)控系統(tǒng)統(tǒng)一設(shè)計(jì)镐准，對(duì)數(shù)控系統(tǒng)的開放性要求較高徘敦。

　　2.1電容傳感器檢測(cè)電路

　　電容傳感器檢測(cè)電路由調(diào)諧振蕩器、信號(hào)放大器诈金、晶體穩(wěn)頻振蕩器虾钾、同步電路、混頻電路拐棺、信號(hào)處理電路等將電容量信號(hào)變成對(duì)應(yīng)頻率的脈沖信號(hào)透嫩，$? (通過對(duì)脈沖信號(hào)進(jìn)行頻率采樣和處理，得到相應(yīng)的電容量察绷。這里的電容為切割噴嘴和切割對(duì)象之間兩個(gè)極板形成的電容干签。顯然其電容量除了與兩個(gè)極板的面積有關(guān)外，還與極板之間的介質(zhì)克婶、極板之間的距離有關(guān)筒严。而這個(gè)距離就與激光聚焦鏡和工件之間的距離有關(guān)，也就是與激光焦點(diǎn)與工件之間的距離有關(guān)情萤，所以電容量近似和焦點(diǎn)位置與切割對(duì)象之間的距離有關(guān)鸭蛙。這就是電容傳感器檢測(cè)焦點(diǎn)位置的原理。

　　頻率和焦點(diǎn)位置誤差之間的關(guān)系為非線性關(guān)系筋岛，必須通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行線性化處理娶视。同時(shí)，由于電容量還和極板之間的介質(zhì)有關(guān)睁宰，所以檢測(cè)結(jié)果容易受加工過程中產(chǎn)生的等離子云和噴渣影響肪获，必須加以克服。

　　2.2電感傳感器檢測(cè)電路

　　由于采用了最新的大規(guī)模集成電路柒傻，電感傳感器的檢測(cè)電路比較簡(jiǎn)單孝赫，且集成電路采用了新的調(diào)制解調(diào)方法和算法央颈，減少了以前的檢測(cè)焦點(diǎn)位置控制系統(tǒng)框圖圖"外差式調(diào)頻檢測(cè)電路方法由于傳感器的激勵(lì)信號(hào)的相角、頻率以及幅值漂移對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響岗制，大大提高了檢測(cè)精度和穩(wěn)定性械耙。

　　傳感器信號(hào)通過處理后得到與傳感器測(cè)頭位移成正比的電壓信號(hào)补君，通過變換電路轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的頻率信號(hào)附鸽，通過計(jì)算機(jī)處理得到了焦點(diǎn)的位置誤差信號(hào)。

　　由于電感傳感器的固有特性洪铣，對(duì)被測(cè)信號(hào)的頻率有一定的限制(幾百)剪碱，不太適用于高速加工場(chǎng)合羊耸，同時(shí)，由于其為接觸式檢測(cè)方式穆递，只能用于平面加工場(chǎng)合葵伟。

　　3切割過程中等離子云對(duì)焦點(diǎn)位置檢測(cè)系統(tǒng)的影響

　　在工件尚未被切穿的瞬間，激光和金屬相互作用像样，在噴嘴和加工對(duì)象之間產(chǎn)生云霧狀等離子體绷觉，改變電容極板之間的介質(zhì)鄙荚，從而對(duì)電容傳感器產(chǎn)生干擾莫辨。在正常切割過程中，輔助氣體將等離子體從切縫中吹散毅访，對(duì)電容傳感器產(chǎn)生影響較小沮榜。但如果加工速度太快和剛開始切割時(shí)，由于工件未被完全切穿喻粹，激光照射點(diǎn)附近會(huì)產(chǎn)生等離子體云蟆融，對(duì)電容傳感器產(chǎn)生干擾，嚴(yán)重時(shí)甚至使傳感器無法正常工作守呜，嚴(yán)重影響加工質(zhì)量型酥。

　　由電磁學(xué)原理可知，相鄰的兩個(gè)極板間電容量為

　　C=εS/h 式中ε---極板之間介電常數(shù))一般為(1) S---極板相對(duì)有效面積h---兩極板間距離

　　如果沒有等離子體的干擾查乒，那么弥喉，根據(jù)式(1)所測(cè)到的電容就和極板(噴嘴和加工對(duì)象)之間距離成反比，由電容量可以方便求出兩極板間距離玛迄，進(jìn)而求出焦點(diǎn)和被加工對(duì)象之間的相對(duì)位置由境。

　　但是，當(dāng)噴嘴和被加工對(duì)象之間存在等離子體或噴渣時(shí)蓖议，電容極板之間的電介質(zhì)就不是空氣了虏杰，其介電常數(shù)就發(fā)生變化。由電容?理公式毁几，此時(shí)兩個(gè)極板間電容量為：

　　C'=εS1 /[(h-h1)+h1ε/ε1 ]+εS2/h (2)

　　式中ε1---等離子體的介電常數(shù)h1---等離子體云的厚度S1 + S2 =S分別為有等離子云或噴渣的區(qū)域和無等離子云或噴渣的區(qū)域的面積撕擂。

　　如果等離子云均勻分布于噴嘴和被加工對(duì)象之間的一定高度范圍之內(nèi)孝尺，則電容傳感器所測(cè)得的兩極板間距離為：

　　h'=(h-h1)+ h1ε/ε1 (3)

　　檢測(cè)的誤差理論值：

　　Δh = h'-h = h1 (ε/ε1 -1) (4)

　　從式(4)可知，誤差的大小由極板間等離子體云的厚度及等離子體的介電常數(shù)決定泉蠢。而等離子體介電常數(shù)具有非常大的值腺拗，可以達(dá)到105的數(shù)量級(jí)。所以由式(4)可以看出等離子云或噴渣對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響是非常大的费赋，如果等離子體云的厚度為1～2mm困碰，則由電容傳感器檢測(cè)的兩極板間距離的理論誤差也達(dá)到1～2mm，顯然達(dá)不到激光焦點(diǎn)位置檢測(cè)的精度指標(biāo)(為±0.2mm)尽瑰。

　　4傳感器優(yōu)化設(shè)計(jì)技術(shù)減少等離子云對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響

　　等離子體對(duì)電容傳感器的干擾是由于等離子體改變了電容兩極板之間的介質(zhì)西龟。因此，為了消除等離子體對(duì)電容傳感器的干擾奠拢，就要使電容兩極板之間的介質(zhì)不受等離子體的影響镣学，可以加大圓環(huán)形極板的中心小孔和將電容傳感器移至等離子云以外兩種方法來實(shí)現(xiàn)。

　　(1)要消除等離子體對(duì)電容量的影響瘟则，就要將等離子體置于電容傳感器的極板之外黎炉。考慮到等離子云是沿切割點(diǎn)周圍分布的醋拧，因此可以：將圓環(huán)形極板的中心小孔直徑擴(kuò)大至2～3mm并嵌入絕緣的耐高溫陶瓷材料慷嗜，由于電容傳感器極板是空心的，在不考慮邊緣效應(yīng)的情況下丹壕，照射點(diǎn)附近的等離子體云對(duì)傳感器電容量和檢測(cè)值不產(chǎn)生影響庆械，所以采用這種辦法能有效地減小等離子云的干擾影響。

　　(2)對(duì)于平面激光切割加工菌赖，還可以通過機(jī)械傳動(dòng)方法進(jìn)行間接測(cè)量缭乘。即通過一機(jī)械裝置跟隨被加工對(duì)象運(yùn)動(dòng)，將機(jī)械裝置的上端和檢測(cè)傳感器形成極板琉用，通過檢測(cè)傳感器和這個(gè)機(jī)械裝置之間的距離來間接檢測(cè)激光焦點(diǎn)和被加工對(duì)象之間的位置堕绩。這種方法可以最大限度避免了離子云和噴渣對(duì)檢測(cè)精度的影響，也發(fā)揮了電容傳感器響應(yīng)迅速的優(yōu)點(diǎn)邑时。

　　5結(jié)論

　　激光焦點(diǎn)位置檢測(cè)與控制是激光切割加工的關(guān)鍵技術(shù)之一奴紧，對(duì)于快速切割加工，焦點(diǎn)位置檢測(cè)精度和快速性將直接影響到焦點(diǎn)位置的控制精度和加工質(zhì)量刁愿，電容傳感器具有檢測(cè)靈敏度高街赊、響應(yīng)快速的優(yōu)點(diǎn)，可以通過計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的線性化來克服其非線性宋旭；

　　通過特殊的傳感器結(jié)構(gòu)來消除加工過程中產(chǎn)生的等離子云和噴渣對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響娘介，提高其在激光切割加工系統(tǒng)中的使用效果。

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