當(dāng)機(jī)械零件的邊緣幾何尺寸至關(guān)重要時纹站，就必須對它們進(jìn)行精確的闲耿、可復(fù)現(xiàn)的測量。例如您账，在燃料噴射系統(tǒng)中盲拐，提供密封性的邊緣幾何尺寸必須加工得極其精密，以提高噴射燃料的準(zhǔn)時性爽附，并使泄漏的可能性降至最小号均。

　　為了實(shí)現(xiàn)某些應(yīng)用功能，有時需要對工件邊緣進(jìn)行小至5μm的倒棱加工蝗淡。為了在生產(chǎn)檢測中易震，通過測針的一次性觸測，實(shí)現(xiàn)對邊緣幾何尺寸精確的避顶、可復(fù)現(xiàn)的測量烈瑰，Hommel Etamic公司推出了一種納米掃描粗糙度及輪廓形狀測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)能對工件邊緣進(jìn)行微米級檢測蟋软，同時還能確定構(gòu)成邊緣的兩個表面的粗糙度镶摘。該系統(tǒng)還能評估輪廓特征(如半徑和角度)，且能達(dá)到20nm的重復(fù)測量精度岳守。

　　除了檢測邊緣以外凄敢，該系統(tǒng)還能確定由邊緣毛刺造成的凸起，這些毛刺是在加工過程中產(chǎn)生的湿痢，它們會削弱邊緣功能贡未。該測量系統(tǒng)配備的高分辨力(0.6nm)激光干涉儀可以實(shí)現(xiàn)對這些微小毛刺的納米掃描檢測。有時蒙袍，盡管這些毛刺的高度只有1-2μm俊卤，但當(dāng)配合間隙僅為1μm時，一個微小毛刺就可能造成配合不良的問題害幅。

　　在接觸測量時消恍，金剛石測針可將工件表面測量值傳輸?shù)郊す飧缮鎯x中，接觸式測頭可與激光干涉儀相互配合進(jìn)行檢測以现。為了避免采用數(shù)學(xué)方式濾除由驅(qū)動測量運(yùn)動的電機(jī)產(chǎn)生的機(jī)械噪聲狠怨，納米掃描測量系統(tǒng)配備了一個可進(jìn)行機(jī)械濾波的驅(qū)動裝置，該裝置可消除電氣噪聲和任何機(jī)械噪聲邑遏。

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