坐標測量機的幾何參數(shù)誤差按其在各運動自由度方向作用分類澄耍,分為三項位置度浊伙、六項直線度样漆、九項角擺誤差为障、以及三軸相互之間的三項垂直度,共二十一項參數(shù)誤差氛濒。
二十一項誤差是測量機的基本幾何誤差产场,為了保證測量機滿足示值誤差及探測誤差的要求,生產廠家都要測量和控制這二十一項誤差软动,必要時進行補償惧梦。
二十一項誤差的測量可以使用不同的測量儀器進行檢測以便于修正,包括雙頻激光干涉儀衙地、電子水平儀眶侣、直角尺、高精度電感測微儀洗筛,但是夷著,需要注意的是,使用上述儀器測量參數(shù)誤差時,測量結果可能是幾種參數(shù)誤差的綜合結果望星。這二十一項中有:
X霹补、Y、Z 三個方向的位置度浸萤;
沿X十匆、Y、Z 三個方向運動時的六個直線度顷锰;
沿X柬赐、Y、Z 三方向運動時自轉官紫、俯仰肛宋、方向九個角擺;
X束世、Y酝陈、Z 各軸間三個垂直度;
下圖為21項誤差由來的顯示圖:
針對X軸:(6項)
X方向對X軸的自轉良狈,X方向對Y軸的角擺后添,X方向對Z軸的角擺笨枯,X方向對Y軸的直線度薪丁,X方向對Z軸的直線度,X方向的位置度馅精;
針對Y軸:(6項)
Y方向對Y軸的自轉严嗜,Y方向對X軸的角擺,Y方向對Z軸的角擺洲敢,Y方向對X軸的直線度漫玄,Y方向對Z軸的直線度,Y方向的位置度摆采;
針對Z軸:(6項)
Z方向對Z軸的自轉猬笑,Z方向對X軸的角擺,Z方向對Y軸的角擺选从,Z方向對Y軸的直線度呜颓,Z方向對X軸的直線度,Z方向的位置度麦咪;
垂直度:(3項)
XY面垂直度候摹,YZ面垂直度,ZX面垂直度娄勒;
針對21項誤差她添,企業(yè)可以使用激光干涉儀進行誤差補償:
VGS威申在實際運用中,對21項誤差中的3項位置度,3項垂直度做了補償屎洒。
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