隨著計(jì)算機(jī)、激光技術(shù)粮锻、電子學(xué)技術(shù)的發(fā)展和各種高技術(shù)多學(xué)科的相互滲透粥蜘，它們由傳統(tǒng)的機(jī)械式、氣動(dòng)式刃拼、電子式發(fā)展到光渔缅、機(jī)、電一體化的綜合式额晶，由加工后測量發(fā)展到在線監(jiān)控測量演湘，由接觸式測量發(fā)展到非接觸式測量。本文所述的設(shè)備豌挫、儀器窃裙、系統(tǒng)主要用于對金屬加工件的形位誤差幾何量測量。

　　測量設(shè)備泄艘、儀器宦噩、系統(tǒng)，他們總的發(fā)展趨勢是向著高可靠性宗商、工藝穩(wěn)定性衰拄、對使用現(xiàn)場的適應(yīng)性、準(zhǔn)確性發(fā)展裕照。其中攒发，通用型設(shè)備、器具向著小型數(shù)字化發(fā)展晋南。電子型設(shè)備晨继、器具向著電子元件和電路的集成化發(fā)展。光電大型綜合設(shè)備搬俊、儀器檢測技術(shù)向著自動(dòng)化紊扬、智能化、動(dòng)態(tài)唉擂、高精度發(fā)展餐屎，檢測結(jié)果向著數(shù)字化與圖象化發(fā)展檀葛，體積向著小型化發(fā)展，結(jié)構(gòu)向著模塊化腹缩、單元組合式發(fā)展屿聋，檢測功能向著綜合性、多參數(shù)藏鹊、多維發(fā)展润讥。

　　我國生產(chǎn)的機(jī)械式、氣動(dòng)式仅莲、電子式通用產(chǎn)品跛脾，如：卡尺、千分尺（表）等產(chǎn)品辉茴，其主要的廠家有上海量具刃具廠癣跟、桂林廣陸公司、哈爾濱量具刃具廠女骗、中原量儀廠等景顷。他們生產(chǎn)的這類產(chǎn)品與國外典型的廠家，如：日本Mitutoyo公司镣逃、瑞士Tesa公司等廠家生產(chǎn)的這類產(chǎn)品相比水平接近强男，其最高測量精度一般在微米量級(jí)。國產(chǎn)品已經(jīng)能夠滿足國內(nèi)需要撼遵，占有95%以上的市場肤币。其中某些廠家已有較大出口份額。上述產(chǎn)品最大的缺點(diǎn)是防水性能較差峰裁。目前夏哭，日本、瑞士已經(jīng)研制成功采用非容柵原理的防水型通用產(chǎn)品献联。

　　我國生產(chǎn)的在線測量和光電接觸式產(chǎn)品的整體指標(biāo)與國外發(fā)達(dá)國家相比有的接近竖配，如：萊格光電儀器公司、北京萊格超精光電研究所生產(chǎn)的光電測長儀（光電線性規(guī)）里逆、圓光柵測角傳感器进胯。成都光電所生產(chǎn)的光電測角儀、絕對式光電軸角編碼器等產(chǎn)品原押，它們的精度已達(dá)到微米至0.1微米水平和已達(dá)到角秒至0.1角秒水平胁镐。

　　光電測長儀

　　國產(chǎn)光柵位移測量系統(tǒng)，其中在高檔產(chǎn)品中诸衔，萊格光電儀器公司盯漂、北京萊格超精光電研究所生產(chǎn)的單支不接長玻璃光柵尺的長度以達(dá)3.5m。長春光機(jī)所生產(chǎn)的圓光柵的密度已達(dá)162000對線笨农，與國外相當(dāng)就缆，但在其它方面尚上有一定的差距帖渠。這類中低檔的產(chǎn)品已經(jīng)滿足國內(nèi)市場的需求，且有一定的出口资担，在國內(nèi)占有90%左右的市場份額旬效，然而這類高檔產(chǎn)品仍有10%左右的份額來自國外。德國Heidenhain公司是當(dāng)今技術(shù)水平最高踱孕，銷售量最大的跨國公司讯匈，控制了全球60%以上的市場，2000年的銷售額達(dá)到7.05億歐元将窗。

　　圓光柵編碼器

　　三座標(biāo)測量機(jī)是大型測量設(shè)備中較典型的代表策坏，英國、美國班痹、瑞士等國家的產(chǎn)品具有較高的水平镶悟。此類的高檔產(chǎn)品梦铭，國外占據(jù)我國80%以上的市場份額蔚抖，較高和中檔水平的產(chǎn)品，我國已經(jīng)能夠滿足市場的需要垦祭。主要廠家有：青島前哨布朗公司孔尸、上海量具刃具廠、西安愛德華公司籍胯、航空精密機(jī)械研究所等廠家竟闪，其中青島前哨布朗公司的產(chǎn)品已有較大出口量。目前杖狼，三座標(biāo)測量機(jī)的最大缺點(diǎn)是：采用接觸式測量方式炼蛤，影響其精度的提高和使用的廣泛性。未來的發(fā)展趨勢是采用非接觸式的測量方式蝶涩。

　　目前理朋，我國光電非接觸式的檢測產(chǎn)品與發(fā)達(dá)國家相比差距較大，國外典型的廠家有：美國Zygo和Tsi公司绿聘，英國Renishaw公司嗽上，瑞士Zambach公司，德國Zeiss和Opton公司熄攘，日本安立兽愤、三菱、松下公司等挪圾。它們的精度指標(biāo)已達(dá)到0.1微米浅萧，產(chǎn)值以每年10%的速度遞增，占據(jù)主要的國際市場哲思。國內(nèi)能夠生產(chǎn)這類產(chǎn)品的主要廠家有北京萊格超精光電研究所郭宪、萊格光電儀器公司燃灿、長春光機(jī)學(xué)院等廠家。其主要產(chǎn)品有：激光掃描多功能檢測儀息扶；通用激光測量儀敦璧；形位誤差光電綜合測量機(jī)；激光圓度儀等產(chǎn)品纫脚。

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