在高效率太陽能電池生產(chǎn)中，高速激光鉆孔是一個重要的加工步驟匣椰，特別是在需要在每個單元上鉆出10000多個通孔的發(fā)射極穿孔卷繞（EWT)太陽能電池的制造中。因為太陽能電池生產(chǎn)線上的單個加工步驟的典型持續(xù)時間為1-2秒端礼，每秒10000個通孔的鉆孔速度是工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)的最低要求禽笑。
       目前市場上可獲得的激光源與掃描振鏡所能實現(xiàn)的最大鉆孔速率為每秒4000孔。采用一種新的光學概念蛤奥，將高性能振鏡掃描和激光分頻器的結合使用佳镜，為實現(xiàn)高速激光鉆孔提供了一種潛在解決方案僚稿。這種方案要求激光源的平均輸出功率達到幾百瓦，脈沖寬度保持在微秒范圍蟀伸。目前已經(jīng)有一些不同的系統(tǒng)解決方案可滿足用戶的不同需求蚀同。
       研究表明，脈沖寬度和脈沖能量是實現(xiàn)高效鉆孔的關鍵因素望蜡。通過使用兩臺Jenoptik Jenlas IR 70激光器唤崭，有望在200微米厚的晶圓上實現(xiàn)9600孔/s的鉆孔速度拷恨，在180微米厚的晶圓上實現(xiàn)12500孔/s的鉆孔速度脖律。
       激光鉆孔的原理是將高能量的激光束照射在加工物體上，物體被照射部分溫度上升漩叶，當溫度達到熔點時開始熔化苹衰，同時吸收熔化潛熱；被熔化的物體在激光束照射下繼續(xù)受熱狞朦，溫度進一步上升棘爱，當液體達到汽化溫度時，開始汽化澎矗，同時吸收汽化潛熱柜棠，汽化物不斷揮發(fā)，在物體上不斷留下深孔标晤，完成鉆孔過程歇决。

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