【編者按】三坐標(biāo)測量機(jī)是一種精密量儀，精密級的三坐標(biāo)測量機(jī)測量空間任何一點(diǎn)的坐標(biāo)精度可達(dá)到微米級，但是現(xiàn)代的超精加工、科學(xué)研究中往往提出納米級的精度要求蔬崩，所以對提高三坐標(biāo)測量機(jī)的精度提出進(jìn)一步的要求，以適應(yīng)超精加工與科學(xué)技術(shù)發(fā)展的需要搀暑。

 為了進(jìn)一步提高三坐標(biāo)測量機(jī)的測量精度沥阳，需要針對影響三坐標(biāo)測量機(jī)精度的因素采取一系列綜合性措施。首先是提高標(biāo)尺精度自点。激光干涉標(biāo)尺系統(tǒng)將在測量機(jī)中得到較多應(yīng)用桐罕。特別是大型三坐標(biāo)測量機(jī)，這種“無形”標(biāo)尺更有獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)桂敛。在采用激光干涉標(biāo)尺時(shí)功炮，還有兩個(gè)問題需注意。

一是不要讓激光產(chǎn)生的熱影響測量機(jī)的精度术唬，激光器常放在隔熱艙外薪伏，光束通過光纖或反射鏡引入；

二是注意折射率的補(bǔ)償避扎。為了減少大氣擾動(dòng)的影響疯蓄，可以對光路進(jìn)行全封閉或半封閉，即讓激光干涉儀在密閉的罩內(nèi)工作催岔。

 其次，為了提高三坐標(biāo)測量機(jī)的測量精度段扛，必須提高他的結(jié)構(gòu)精度惑叶，其中包括測量機(jī)主機(jī)、分度臺袁虽、測頭與各種測頭附件的精度旭绝。這里尤為重要的是提高他的重復(fù)精度。

 第三坠髓，要努力減小力變形桨皂、熱變形及其它環(huán)境因素帶來的影響。特別要注意避免復(fù)雜力變形與熱變形都敛。這要從結(jié)構(gòu)和環(huán)境控制兩方面采取措施衰屡。

 第四，還要采用適當(dāng)?shù)牟蓸硬呗灾懿洹y量機(jī)應(yīng)具有智能功能趋艘，能針對被測參數(shù)及精度要求，采用最佳采樣策略凶朗。

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