超精密機(jī)床的研發(fā)和制造技術(shù)是一項(xiàng)前沿性的技術(shù)，將引領(lǐng)機(jī)床的加工精度不斷向著人類未曾涉及的技術(shù)領(lǐng)域深入邁進(jìn)墓懂。超精密機(jī)床技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域已拓展到我們?nèi)粘Ｉ畹脑S多方面统捶，并正在豐富和改變著我們的生活。北京機(jī)床研究所所長劉炳業(yè)在2014年6月19日召開的2014中國機(jī)床工具發(fā)展高端論壇上指出沃粗，當(dāng)我們滿眼于制造業(yè)繁雜的加工設(shè)備中粥惧，我們應(yīng)該知道有一類機(jī)床很少出現(xiàn)在行業(yè)展覽會(huì)中，但其卻是發(fā)達(dá)國家非常重視并且采取措施加以控制的機(jī)床最盅，這就是超精密機(jī)床突雪，而超精密機(jī)床體現(xiàn)著一個(gè)國家精度技術(shù)的競爭力。

高精度是數(shù)控機(jī)床的主流趨勢在過去的30年里涡贱，世界范圍的機(jī)床技術(shù)得到了很大程度的發(fā)展掠北，機(jī)床技術(shù)的發(fā)展趨勢也呈現(xiàn)出多元化的特點(diǎn)，比如高精度的趨勢翎女、高速運(yùn)動(dòng)的趨勢攘宝、多運(yùn)動(dòng)軸的趨勢、高可靠性的趨勢酸飞、多功能復(fù)合化趨勢下驴、可重構(gòu)的趨勢、低能耗環(huán)保的趨勢以及智能化的趨勢等央封，但在所有的趨勢中天殉，最能夠體現(xiàn)發(fā)展主流的趨勢應(yīng)該是高精度和智能化的趨勢脚培。劉炳業(yè)強(qiáng)調(diào)，高精度是數(shù)控機(jī)床的主流發(fā)展趨勢靡鞭，并且超精密加工的精度比精密加工精度還要高出一個(gè)數(shù)量級纺围。

事實(shí)上，超精密加工技術(shù)所涉及的技術(shù)領(lǐng)域非常豐富蜘辕。在北京機(jī)床研究所30多年的研究歷程中僧旬，針對超精密加工技術(shù)所涉及到的相關(guān)技術(shù)，劉炳業(yè)系統(tǒng)地總結(jié)出了36個(gè)方面的關(guān)鍵前沿研究以及11項(xiàng)領(lǐng)先的核心技術(shù)逼庞。其中蛇更，關(guān)鍵前沿研究包括設(shè)計(jì)、運(yùn)動(dòng)部件赛糟、測量分析派任、工藝技術(shù)、主機(jī)制造技術(shù)和機(jī)床應(yīng)用條件技術(shù)六方面內(nèi)容璧南。領(lǐng)先的核心技術(shù)涵蓋：精密超精密主軸關(guān)鍵結(jié)構(gòu)制造技術(shù)掌逛、精密超精密直線運(yùn)動(dòng)部件關(guān)鍵結(jié)構(gòu)制造技術(shù)、高分辨率運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)技術(shù)司倚、機(jī)床關(guān)鍵零部件的加工工藝制造技術(shù)豆混、部件抵御外部干擾的特性技術(shù)、高穩(wěn)定性快速直線運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)與制造技術(shù)动知、多運(yùn)動(dòng)軸機(jī)床的嵌套結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)皿伺，以及針對目標(biāo)零件制造的機(jī)床集成制造技術(shù)等內(nèi)容。

在機(jī)床的精度從微米級到納米級的發(fā)展歷程中盒粮，有三項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)無法回避鸵鸥，這三項(xiàng)技術(shù)也是納米精度機(jī)床的研究門檻。劉炳業(yè)分析稱嘶在，其中一項(xiàng)技術(shù)是無遲滯的軸承技術(shù)垂暖，遲滯現(xiàn)象在機(jī)械系統(tǒng)中大量存在，遲滯現(xiàn)象不僅嚴(yán)重影響機(jī)床溜板的運(yùn)動(dòng)定位精度和重復(fù)定位的精度精杜，也影響運(yùn)動(dòng)的高分辨率實(shí)現(xiàn)穗阐，同時(shí)也影響精密零件的加工形狀精度以及表面粗糙度。而靜壓軸承技術(shù)可以很好地解決機(jī)械遲滯的現(xiàn)象澳缴，并且可以均化幾何誤差能莫，在超精密機(jī)床中得到大量應(yīng)用。靜壓技術(shù)在過去的十年時(shí)間里取得了重大進(jìn)展烧晤，自補(bǔ)償?shù)姆答伡夹g(shù)更為成熟妇愉。以流量控制的節(jié)流技術(shù)使靜壓軸承的剛度得到很大程度的提升，使超精密機(jī)床加工的材料硬度不斷提高。

而另二項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)分別是高分辨率驅(qū)動(dòng)技術(shù)和機(jī)械系統(tǒng)中的微振動(dòng)處理技術(shù)芳企。納米級分辨率是近十幾年來超精密機(jī)床性能的特征體現(xiàn)烛蘑，運(yùn)動(dòng)的影響因素很多。同時(shí)造过，大量的實(shí)驗(yàn)研究發(fā)現(xiàn)唱较，10納米量級的振動(dòng)信號存在于許多機(jī)械執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，對于機(jī)械靈敏度的執(zhí)行與測定造成干擾召川，這種振動(dòng)被稱為微振動(dòng)南缓。對微振動(dòng)的機(jī)理深入研究，并尋求解決途徑是超精密機(jī)床通往納米精度的必經(jīng)之路荧呐。劉炳業(yè)說道汉形。

滿足超精密技術(shù)的應(yīng)用需求我國航天航空遙感、激光核聚變倍阐、國防武器系統(tǒng)概疆、天文探測等先進(jìn)技術(shù)領(lǐng)域，對大口徑非球面光學(xué)元件的需求日益增加峰搪，但國外部分高尖端光學(xué)加工設(shè)備和技術(shù)對我國實(shí)行禁運(yùn)岔冀。目前，我國大口徑非球面零件加工工藝流程的相關(guān)科研工作已經(jīng)開展罢艾，但成熟度還較低楣颠。同時(shí)尽纽，自行研制的設(shè)備加工精度與國外水平相比較低咐蚯，優(yōu)勢單位的有效聯(lián)合不足，還存在大口徑光學(xué)零件加工和超精密加工技術(shù)的結(jié)合程度較低等問題披贰。中國工程院院士蔣莊德在該論壇上亦提出對我國超精密加工與測量技術(shù)與裝備的迫切需求须涣。

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