【編者按】測量是按照某種規(guī)律，用數(shù)據來描述觀察到的現(xiàn)象，即對事物作出量化描述梅明。測量是對非量化實物的量化過程姐淫。在機械工程里面般迈，測量指講被測量與具有計量單位的標準量在數(shù)值上進行比較，從而確定二者比值的實驗認識過程匠泵。

對于高精和靈活測量場合恋赎，往往采用坐標測量儀器(KMG)。通過測量探頭對部件進行逐點探測了酌，從而獲得所需的部件外形特征信息疾浓。通常采用滾珠探測頭進行探測。對于表面測量點的亞微米精度計算來說对嚼，所設想的探測滾珠應該是一個曲率半徑已知的理想球體夹抗。為了確保這一點，必須對珠體的圓度進行監(jiān)視或對珠體形狀進行校準纵竖，因為探頭圓度上的誤差會加大測量的不確定性漠烧。制造廠商對測量珠體的質量進行分級。質量等級為5的珠體的直徑精度為0.13 μm靡砌，而質量等級為10的珠體的精度則變差到0.25 μm已脓。

標準檢測會忽視誤差

ISO 10360標準對“坐標測量儀的設定檢測和確認檢測”作出了定義珊楼。該標準也對坐標測量儀的檢測進行了定義，以便排除探頭珠體變形而造成的誤差度液。例如針對掃描模式下的KMG進行規(guī)定(ISO 10360-4)厕宗，在一個直徑為25 mm的參照性珠體上必須對四個確定軌跡進行測量。有兩個軌跡在珠體的直徑處接受測量堕担，兩個軌跡為相互垂直已慢，另兩個軌跡則在處于平面上，兩者與直徑面錯開8 mm并行霹购。通過這種方法蛇受，在不同的點位上以不同的介入角度對探測珠體進行檢驗。如果探測珠體在某個部位上受損巫顽，而該部位恰巧不在所定義的檢測方法檢測范圍之內的話菱脯，則該受損部位就無法被識別。

通過ISO 10360標準所描述的方法菲痹，可以對測量探頭珠體的大面積偏差進行可靠的確定湘秀。但是，測量誤差并非只是因為珠體的錯誤形狀编毒，同時也可能是因為測量探頭局部受損而產生军含。產生測量誤差的方式有多種多樣：制造測量探頭是造成損傷;測量物體對測量探頭的磨損;不專業(yè)的使用或安裝時的不良操作而造成的損傷。

此類損傷可以出現(xiàn)在探測珠體的任何部位上歹簸，并呈扁平孩砸、切口、刮痕或凸起狀搬洪。當珠體精度低于1 μm時贸掰，很小的缺陷也可導致KMG測量可靠性的變差。

為了對缺陷進行可靠的識別燃拥，需要對珠體表面進行全面的探測审胚。唯有如此，方可確保識別缺陷礼旅，即使缺陷恰好不在測量軌跡上膳叨。在進行類似于ISO 10360-4所描述的檢測流程時，可以通過采用觸覺方法來達到對表面的細微掃描痘系，從而達到識別缺陷的目的菲嘴。對此，檢測軌跡必須更加緊密汰翠，方可盡可能達到對表面的無縫探測龄坪。也可選擇采用光學探測方法，對探測頭珠體表面進行3D平面測量奴璃。

例如悉默，當一個直徑為6.3 mm的探測頭珠體需要接受全面的缺陷探測時城豁，則可以采用觸覺測量方法，以10 mm/s的測量速度和5 μm的測量軌跡間距進行檢測抄课，用時大約45min唱星。如果采用光學平面測量方法，則測量時間可以縮短為不足20min跟磨。

針對平面檢測的光學測量方法

為了在測量探頭上實現(xiàn)經濟性的缺陷識別并使費用和時間透明化局硝，Twip Optical Solutions GmbH公司在Consigno 3D光學測量儀器的基礎上實現(xiàn)了一種測量站。20x Consigno 3D光學測量儀特別適用于這種用途潭灯。該系統(tǒng)的實際深度分辨率為大約30 nm焙逝，測量區(qū)域為1.0 mm x 0.8 mm，最大可測量邊角為30o以上话弹。根據珠體的不同曲率半徑年笋，必須對不同規(guī)格的Z區(qū)域進行掃描。由于Consigno系統(tǒng)可以達到20 mm測量容量味专，因此它有足夠的靈活性對各種不同的探頭進行測量雌她。

基于可靠的共焦測量原理，通過多個耦合的定位軸和旋轉軸可實現(xiàn)對測量探頭的平面測定数荤。根據所使用的不同測量探頭政用，既可以對珠體的截面進行測定，也可以對幾乎整個珠體進行測定阴戚。即使在特定的介入角度下只能測量珠體截面倘灸，在任何時候也都有平面測量數(shù)據可供采用。

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