測(cè)量動(dòng)態(tài)MEMS設(shè)備

光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x是確定MEMS設(shè)備表面特征的一 種非常有用的工具颈顽。傳統(tǒng)意義上漱挚，光學(xué)輪廓儀被用來(lái)測(cè)量樣品的表面特性俭识。但是凉倚，在測(cè)量過(guò)程中兼都，所測(cè)量的樣品需保持在靜止的狀態(tài)下嫂沉，如果樣品不穩(wěn)定或者 處于運(yùn)動(dòng)狀態(tài)則會(huì)引起圖像混亂模糊、數(shù)據(jù)不完整或者數(shù)據(jù)丟失等現(xiàn)象扮碧。然而趟章，對(duì)于MEMS設(shè)備，需要確定該設(shè)備處于運(yùn)動(dòng)狀態(tài)時(shí)的形貌特征慎王，了解和確定 其在運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下的功能和特征對(duì)研發(fā)和生產(chǎn)質(zhì)量控制至關(guān)重要蚓土，作為質(zhì)量檢驗(yàn)，只有動(dòng)態(tài)測(cè)量才可以真正模擬MEMS實(shí)際運(yùn)行狀態(tài)偿股，從而達(dá)到正真的功能檢測(cè)蝇莲。

先進(jìn)的3D光學(xué)輪廓儀能夠?qū)崿F(xiàn)這一測(cè)量功能，運(yùn)用NewView?7300和新的動(dòng)態(tài)測(cè)量模塊DMM可以形成一個(gè)動(dòng)態(tài)測(cè)量體系：一個(gè)頻閃的LED光源同步于MEMS設(shè)備的觸發(fā)信號(hào)园秫，通過(guò)調(diào)整光源的頻閃頻率，其MEMS設(shè)備的運(yùn)動(dòng)被有效“靜止”爹窥。實(shí)現(xiàn)光學(xué)輪廓儀在 動(dòng)態(tài)設(shè)備上進(jìn)行測(cè)量峡稿。

無(wú)論是生產(chǎn)制造過(guò)程中的質(zhì)量控制，還是實(shí)驗(yàn)室的研究膊许，ZYGO裝有DMM模塊的NewView?7300系統(tǒng)對(duì)檢查靜態(tài)和動(dòng)態(tài)MEMS提供了不可或缺的測(cè)量設(shè)備和全面的解決辦法土叠。其最佳的測(cè)量范圍和測(cè)量速度，已成為動(dòng)態(tài)MEMS測(cè)量的理想解決方案拭秃。

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