白光掃描干涉儀NewView?系列能夠從樣品表面反射和參照反射的相干光中產出形貌高度數(shù)據(jù)属缚。干涉物鏡在垂直方向上進行掃描辨图，CCD記錄下干涉條紋的演變蒂破。計算機通過分析條紋演變過程中的強度變化稀颁，就能精確確定樣品形貌的高度芬失。

過去，測試樣品時匾灶，只有一個調制信號被檢查到棱烂，但大部分的樣品如半導體、MEMS阶女、平面顯示屏等垢啼，這些樣品透射且能在樣品的同一點上產生多個調制信號，利用傳統(tǒng)的分析方法來處理這些信號有可能導致不正確或不存在的數(shù)據(jù)张肾。

為分離多個調制信號，MetroPro?8.1.1（或更高級版本）包含ZYGO專利的薄膜分析軟件——TopSlice和FilmSlice可以消除這些缺陷并讓用戶獲得下列結果：

? 單獨測量薄膜頂部表面形貌

? 單獨測量薄膜底部表面形貌

? 單獨測量薄膜厚度悄贴、頂部表面形貌和底部表面形貌

NewView?7300系統(tǒng)采用一種增強型光源悟唆，包括一個LED光源和一個可變的光圈來限定光源的數(shù)值孔徑。其光圈保證所有的物鏡可以用來測量薄膜的第二個面和厚度诈绷，5倍或者更低的物鏡可以測量光學厚度1.5μm至75μm薄膜的頂部面形特征和底部面形特征以及薄膜厚度拗辜，大于5倍的物鏡可以得到更精確測量，但是可測量的最大薄膜厚度隨著物鏡的放大倍數(shù)增加而降低怒央。MetroPro?薄膜分析模塊同時提供頂部面形烤眉、第二面（一般稱為底部）面形和薄膜厚度的數(shù)據(jù)。

MetroPro?薄膜分析應用結合ZYGO最優(yōu)秀的輪廓儀—NewView?7300—是目前對薄膜面形和薄膜厚度定量和直接顯示的最快且功能最完善的儀器项请。ZYGO專利的TopSlice和FilmSlice算法讓用戶在薄膜中對薄膜厚度的最大范圍和無可比擬的重復性具有充足的信心烦盛。

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