眾所周知浪慌，白光光學(xué)輪廓儀可以用來測(cè)量表面形貌趁桃。隨著機(jī)械精度和光學(xué)加工能力的提高仑最，超光滑或者次納米表面的加工越來越普及扔役，這些表面的量化已成為過程控制的關(guān)鍵。

NewView?7000系列光學(xué)輪廓儀運(yùn)用掃描白光干涉技術(shù)配備MetroPro?軟件和專利的FDA分析技術(shù)使得表面形貌的測(cè)量能夠達(dá)到次納米量級(jí)警医。如果很好的控制測(cè)量環(huán)境亿胸，選擇合適測(cè)量參數(shù)以及可靠的儀器校準(zhǔn)，則表面粗糙度測(cè)量可以達(dá)到皮米量級(jí)（1×10-12）农灯。

在對(duì)超光滑表面進(jìn)行定量測(cè)試時(shí)修诈，首先要清楚每一個(gè)測(cè)量系統(tǒng)均存在其固有本底噪聲。這些噪聲來源電子噪聲品扯、接收器噪聲投沃、參考鏡表面的微小不平整以及測(cè)量環(huán)境引起的微小振動(dòng)等。對(duì)大多數(shù)樣品捻钢，NewView系統(tǒng)的測(cè)量噪聲基本上可以忽略绞艘，因?yàn)樗鶞y(cè)量的結(jié)果遠(yuǎn)大于本底噪聲。但對(duì)于非常光滑的表面稻续，本底噪聲就得加以考慮妈削，對(duì)這些樣品的測(cè)量就需要清楚知道噪聲的來源并加以很好的控制。

測(cè)量超光滑表面需要對(duì)測(cè)量環(huán)境很好的控制滔菠，理想的測(cè)量環(huán)境是：

? 機(jī)械和聲波振動(dòng)的最小化

? 在測(cè)量時(shí)間內(nèi)嚴(yán)格控制溫度的變化逮碾，使樣品，物鏡溫度變化最 小化

? 嚴(yán)格控制物鏡和樣品之間的氣流批斯，使氣流對(duì)測(cè)量影響最小化

許多噪聲源可以通過以下的方法來消除或減低辞槐，一是很好控制測(cè)試環(huán)境如聲波、氣流粘室、溫度及其變化等榄檬；二是進(jìn)行多次測(cè)量并將測(cè)量結(jié)果加以平均從而獲得很好的測(cè)量結(jié)果卜范。

通過上述描述的方法和測(cè)量過程，可以證明ZYGO有能力測(cè)量粗糙度小于0.05nm的光滑表面鹿榜，很好地控制環(huán)境并選擇合適的內(nèi)部精度以及基于系統(tǒng)優(yōu)化函數(shù)的位相平均次數(shù)海雪，就能讓光學(xué)輪廓儀測(cè)量高質(zhì)量的表面形貌。因此舱殿，NewView?7300的高采樣速度和高分辨率使得超光滑表面形貌測(cè)量變得輕而易舉奥裸。

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