ZYGO輪廓測量儀在機械加工中的應用
傳統(tǒng)的機械零件由于受加工設備的限制，對精度包括平面度，粗糙度的要求常規(guī)下停留在微米量級昧捷。但隨著技術(shù)發(fā)展，人們對機械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進冕咒，設備加工精度的提高帶動檢測技術(shù)的發(fā)展撑葡，傳統(tǒng)的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機械零件有很大的局限性。
光學輪廓儀最初應用在光學加工行業(yè)時彭理，其3D艾抠、高速、精密凝顿、可靠和穩(wěn)定惑妒，開始引起加工人士的注意并開始應用。ZYGO光學輪廓儀已在汽車發(fā)動機噴油嘴菌菇、半導體切割刀具泛驰、人工關(guān)節(jié)制造、量塊標定等方面有大量的應用浪顽。ZYGO的MetroPro?分 析軟件中的一些特定功能如平面度寺帽、粗糙度、直線度和高度差等在機械加工檢測中呈現(xiàn)出新的應用东悔。
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