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外科醫(yī)生使用的儀器越來越小，汽車制 造業(yè)使用的暇簡直徑也只有幾十微米拦耐。 這種小型化的趨勢方興未艾耕腾。在柏林新 建的微生產(chǎn)技術(shù)應(yīng)用中心（AMP），研究 人員致力于為各行各業(yè)的客戶開發(fā)微細(xì) 零件和結(jié)構(gòu)件杀糯。蔡司的7臺測量機(jī)在他 們的研究過程中大顯身手、各展奇能苍苞。

在微小生產(chǎn)技術(shù)中心固翰，尺寸為微米級的工件，涉及許多生產(chǎn)和測量技術(shù)的挑戰(zhàn)一圖片顯示的是一個硅材料零件

工業(yè)和科學(xué)領(lǐng)域正在進(jìn)入更小的規(guī)模 尺寸耕粪。因此治盆，2011年底微生產(chǎn)技術(shù)應(yīng) 用中心應(yīng)運(yùn)而生。新大樓是柏林生產(chǎn)技 術(shù)中心（PTZ）的一部分妨宙，里面有兩所學(xué) 院：F「aunhofe「生產(chǎn)系統(tǒng)及設(shè)計(jì)工藝學(xué) 院（IPK）矫摸，以及柏林工業(yè)大學(xué)的機(jī)床 和工廠管理學(xué)院（IWF）。

PTZ的大約20位科學(xué)家伐歇、3位技術(shù)人員 和約40名學(xué)生助理在微生產(chǎn)技術(shù)應(yīng)用 中心控制嚴(yán)格的環(huán)境中工作：相對濕度 穩(wěn)定保持在45%一55%之間烧锋，溫度波動 限于1攝氏度，實(shí)驗(yàn)室限于五分之一攝 氏度磁姻。即使是最輕微的溫度波動也會導(dǎo) 致工件報(bào)廢：如果滾刀刀片有極其細(xì)微 的膨脹密梯，機(jī)器將無法滿足加工精度的要 求。這是一個極端的案例一在這種微觀 生產(chǎn)技術(shù)情況下制造的商品革睬，至少具有 一個以微米級的尺寸標(biāo)的安影。

生產(chǎn)的極限

在醫(yī)療技術(shù)、動力和驅(qū)動技術(shù)竣康、汽車膏蚓、 航空航天、精密工程及工具制造和模具 制造行業(yè)的公司都極大地受益于AMP可 控的環(huán)境畸写。以他們?yōu)榇淼难芯咳藛T在
h. c. Ecka「t Uhlmann博士的指導(dǎo)下驮瞧，努力開發(fā)微小部件和結(jié)構(gòu)，并盡最大可能 優(yōu)化生產(chǎn)工藝艺糜。他們采用了一系列的加 工方法一從微小的鉆石鑲嵌工具的加工 至激光材料加工剧董，再到精密硬質(zhì)合金刀 具的銳J。雖然研究項(xiàng)目各不相同破停，但 他們有一個共同點(diǎn)：都經(jīng)過可靠的測 量技術(shù)的檢測翅楼，這也是在同一個世界里一個小個子的銷釘遇見一個巨大的箭 頭時尉剩，唯一能夠保證它們互識的依據(jù)∫汶“ 我們必須不斷檢查我們所做的一切理茎，” F「aunhofe「 IPK的Di「k Obe「schmidt博士 說，接著他又補(bǔ)充道：“我們的研究是生 產(chǎn)的極限管嬉≡砹郑”五臺坐標(biāo)測量機(jī)、一臺計(jì)算 機(jī)斷層掃描儀和六臺顯微鏡在AMP用于質(zhì)量檢驗(yàn)蚯撩。大多數(shù)設(shè)備是蔡司產(chǎn)品密巷，安 裝在超精密的實(shí)驗(yàn)室內(nèi)。該系列設(shè)備需 要監(jiān)測工件的廣譜性和員工面臨的測量 要求饲悟。這個范圍包捂從結(jié)構(gòu)尺寸僅有幾 百納米循贝，只能用顯微鏡檢查的零件，到 尺寸在毫米范圍內(nèi)根朱、有大量的幾何特征 需要不同的測量原理進(jìn)行檢查的大型零件尉利。

為了評估生產(chǎn)和測量潛力，AMP科學(xué)家們使用參考工件一如20微米大小的芯片的幾何形狀

一窺究竟 AMP柏林技術(shù)中心在開業(yè)時購買了一臺 蔡司O一INSPECT復(fù)合式測量機(jī)和一臺 蔡司METROTOM    800計(jì)算機(jī)X射線斷 層掃描儀敏盒。這是2011年年底經(jīng)過嚴(yán)格 的考核評估做出的采購決定汤顷。

從那時起，研究人員已經(jīng)用METROTOM 檢查了數(shù)百個男損的微型部件一即使用 X射線檢查部件翁凳，從而生成能夠顯示部 件所有特征的三維模型递促。然后操作人員 用蔡司CALYPSO測量軟件將其直接與 CAD模型進(jìn)行對比。公差的大小以不同 色彩顯示启毁，簡單明了橘蹭。目前，研究人員 已經(jīng)將測量機(jī)用于傳感器和醫(yī)療技術(shù)的 開發(fā)項(xiàng)目中页衙，以確碧希孔徑達(dá)到或略小于 50微米。將來店乐，在工具制造艰躺、模具制造 和生物技術(shù)方面還將增加其它的任務(wù)。 科學(xué)家們對所選擇的測量機(jī)感到非常滿 意：“X射線計(jì)算機(jī)斷層掃描儀具有神奇 的能力眨八，能夠看到部件內(nèi)部腺兴，以此確保 產(chǎn)品質(zhì)量，”O(jiān)be「schmidt博士非常高 興地說廉侧，然后又補(bǔ)充說：“當(dāng)檢測泡沫 和復(fù)合材料時页响，這一點(diǎn)幫助相當(dāng)大《翁埽”

日常工作中的可靠幫手

購買蔡司O一INSPECT的決定使AMP 得到了無法估量的回報(bào)：“這是一臺 非常適合我們?nèi)粘９ぷ鞯脑O(shè)備闰蚕，它 可以快速簡單地提供可靠的測量結(jié) 果栈拖，”O(jiān)be「schmidt博士總結(jié)說。該測 量機(jī)的兩個卓越性能特點(diǎn)没陡，確保了AMP 的工作順利完成：首先它操作簡單涩哟，適 合不斷變化的工作任務(wù)。工作人員經(jīng)過 簡單的培訓(xùn)之后焊循，可以迅速編寫新工件的測量程序帝愉。第二，蔡司O一INSPECT 具有兩種不同的探頭：接觸式探頭和 光學(xué)探頭沈跷。因?yàn)槟撤N工件部分特性可 能只能采用光學(xué)測量暖麻，而另外一些特 性可能只能采用接觸式探頭，根據(jù) Obe「schmidt博士的說法亮铛，“這種探頭 組合形式非常適合我們的測量要求式蠢。” 蔡司O一INSPECT現(xiàn)在是AMP使用頻率 最高的測量機(jī)卑聚，并且每天都在運(yùn)行，縱 觀使用的效果卧蒂，無論是對整個測試件進(jìn) 行測量纽秽，還是在注塑機(jī)上單獨(dú)檢測幾何 形狀都表現(xiàn)卓越。

Obe「schmidt博士認(rèn)為圆乡，復(fù)合式測量機(jī) 技術(shù)是他正在見證的生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展趨勢 中最好的例子：在一個單一的系統(tǒng)中整 合了不同的方法掰腌。盡管將AMP全部的測 量任務(wù)結(jié)合在一臺機(jī)器中可能無法很快 實(shí)現(xiàn)，但是由于選擇了測量機(jī)炸渡，針對任 何微型部件娜亿，AMP幾乎都擁有完美的測 量解決方案。對于Obe「schmidt博士來 說蚌堵，可靠的測量技術(shù)與微小產(chǎn)品生產(chǎn)緊 密相聯(lián)：“測量技術(shù)通常是更高精度技 術(shù)創(chuàng)新的先行者买决。由于我們也將這種理 論應(yīng)用在我們的工作領(lǐng)域中，因此我見 證了機(jī)械工程技術(shù)在日常工作中取得的 巨大進(jìn)步吼畏《匠啵”

 簡介

微 小 產(chǎn) 晶 生 產(chǎn) 技 術(shù) 應(yīng) 用 中 心 (AMP)

AMP柏林擁有德國最好的研究 和開發(fā)裝備。其于2011年11月啟用泻蚊，專門滿足最大精度生產(chǎn)方法的需要躲舌，具有絕對的優(yōu)越性：溫度和濕度可準(zhǔn)確調(diào)節(jié)，是叉 有環(huán)境振動的特殊實(shí)驗(yàn)室性雄。擁 有20名科學(xué)家没卸、3名技術(shù)人員和大約40名學(xué)生助理，他們來自 F「aunhofe「生產(chǎn)系統(tǒng)及設(shè)計(jì)工藝學(xué)院（IPK）秒旋，以及柏林工業(yè)大學(xué)的機(jī)床和工廠管理學(xué)院（IWF）约计。中心780平方米的設(shè)施诀拭，為他們在研究和發(fā)展項(xiàng)目上的聯(lián)合工作提供了足夠的空間。他們聯(lián)合創(chuàng)建柏林生產(chǎn)技術(shù)中心鸦呆，開發(fā)微型部件瓣挂、測試復(fù)雜的微型系統(tǒng)并優(yōu)化大批量生產(chǎn)的制程。

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