不同分析儀器之間的聯(lián)用技術(shù)是當前分析儀器發(fā)展的一大方向妖异，它可以讓研究者原位同時得到材料更豐富的物理化學(xué)性質(zhì)谱邪。

SCA

雷尼紹作為最早實現(xiàn)拉曼光譜與掃描電鏡聯(lián)用的廠家之一楞泼，其設(shè)計的兩種設(shè)備的連接接口—化學(xué)與結(jié)構(gòu)分析儀（SCA）具有非常高的靈活性驰徊，可實現(xiàn)市面上電鏡制造廠商多種常用型號的SEM與雷尼紹inVia拉曼光譜儀的連接。

SCA提供了一種SEM內(nèi)的分析技術(shù)堕阔，補充了光學(xué)顯微鏡為基礎(chǔ)的拉曼光譜學(xué)棍厂，克服了SEM內(nèi)傳統(tǒng)的分析技術(shù)EDS的部分局限性颗味，可原位完成Raman、SEM牺弹、EDS鹃改、CL、PL幾種測量砸新，即一次測量可得到樣品的納米形貌特征侦萍、元素信息和化學(xué)結(jié)構(gòu)及分布等信息。

拉曼光譜與掃描電鏡聯(lián)用技術(shù)應(yīng)用于材料表征工作中拿奥，將高難度系數(shù)的工作化繁為簡均壳，得以精準驗證。擁有特殊工作性質(zhì)的刑偵領(lǐng)域接觸的樣品多種多樣母滤，形貌以及成分都非常的復(fù)雜拔翠，使得表征工作難度增加，此時采用Raman-SEM聯(lián)用技術(shù)變得尤為重要城砖。

使用光學(xué)顯微鏡翅窥，很難在形貌復(fù)雜且含微量雜質(zhì)的樣品中找到需要檢測的物質(zhì)。此時采用Raman-SEM聯(lián)用技術(shù)廷诺，SEM成像能夠很容易地找到其中一些可疑的顆粒没惶，借助EDS對可疑顆粒進行元素分析，使用拉曼光譜進行原位測量進一步確定其化學(xué)成分廉丽。圖中案例樣品是紡織品中嵌入的有機無機顆粒的混合物倦微，這在刑偵理化檢測中經(jīng)常碰到。通過原位測試發(fā)現(xiàn)正压，紡織物本體為聚酯纖維欣福，顆粒物包含聚四氟乙烯等塑料顆粒。此結(jié)果為刑偵破案提供一定的佐證焦履，有效的幫助刑偵人員加快辦案進程拓劝。

樣品的掃描電鏡成像（內(nèi)置為顯微鏡下光學(xué)成像）   

紡織品污染物拉曼成像

雷尼紹拉曼與掃描電鏡聯(lián)用技術(shù)被應(yīng)用于眾多領(lǐng)域，在半導(dǎo)體制造過程中嘉裤，質(zhì)量監(jiān)控和保證產(chǎn)量的一個手段是不斷對其進行污染物監(jiān)測郑临。

此領(lǐng)域的污染物一般情況下襯度較差甚至透明，粒徑通常會接近光學(xué)分辨率的極限屑宠，很難觀察厢洞。相對于光學(xué)顯微鏡，掃描電鏡能夠較容易分辨出污染物顆粒典奉，而拉曼光譜能夠很容易鑒定出顆粒的化學(xué)成分躺翻。對于難以鑒定的成分，EDS還可以給出元素分析，準確地確定并驗證顆粒成分真葱，從而找到污染物的來源宴忱。此案例中，通過聯(lián)用技術(shù)確定了電路板上的污染物讨砍。

樣品的掃描電鏡成像  

污染物拉曼成像

當前拉曼技術(shù)與其他分析手段巾妇，包括掃描電鏡、原子力顯微鏡等之間的聯(lián)用已經(jīng)非常成熟佩讨，使顯微拉曼光譜儀以及其他分析手段各自遇到的困難都通過“一次測量”迎刃而解哥甲。

（Raman Team 雷尼紹中國）

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