雷尼紹技巧篇：實(shí)現(xiàn)測量6個(gè)自由度！

新型RMAP多光路集成鏡

雷尼紹新型RMAP多光路集成鏡可用于在XY平臺應(yīng)用中測量6個(gè)自由度爽冕，它可充分利用RLD10-X3-DI干涉儀發(fā)射頭的優(yōu)異性能仇祭，精確測量俯仰、扭擺及滾擺誤差颈畸。

在平臺運(yùn)動期間測量角度偏差有助于實(shí)時(shí)糾正上述機(jī)器運(yùn)動誤差乌奇，從而提高定位精度。雖然也可以使用獨(dú)立的差分干涉儀發(fā)射頭執(zhí)行這些測量眯娱，但是多光路集成鏡可將激光光斑所占空間大小縮至18mm x 35 mm礁苗，這樣對平臺上的鏡組尺寸要求便可更低，因此機(jī)器成本也將降低徙缴。

RMAP多光路集成鏡的角度范圍為±30角秒试伙，與大多數(shù)性能優(yōu)異的平臺兼容，并且能夠進(jìn)一步優(yōu)化平臺性能于样。RMAP只有一個(gè)安裝面疏叨，可簡單快速地安裝到真空室外壁或測量框架上。

使用RLD10-X3-DI干涉儀發(fā)射頭進(jìn)行角度測量時(shí)百宇，可以抵消在兩個(gè)光路的共有光程上由于激光頻率或環(huán)境變化產(chǎn)生的誤差考廉。與從兩個(gè)獨(dú)立的光路計(jì)算得出的角度偏差相比，這種角度測量方式提高了測量精度和重復(fù)性水搀。

（Marketing 雷尼紹中國）

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