工業(yè)測量顯微鏡廣泛應用于多個行業(yè)沿盅，特別在電子行業(yè)童谒，是觀察電路板的構造和 精確測量距離的“得力”儀器。關于 測量顯微鏡的測量基礎知識拦赠， 今天就和您淺聊一下巍沙。

一起走進測量顯微鏡的世界

首先，我們從測量顯微鏡的主要構成和光路說起荷鼠，請看下圖：

左：顯微鏡的主要構成圖

右：顯微鏡的光路圖

在上圖中也提到了顯微鏡的三種照明方式句携。照明方式不同，觀察成像也不同逛指，因此需要根據(jù)不同的工件以及測量部位宴亦，選擇最適合的照明方式。

照‖明‖方‖式

透射照明

采用透過輪廓光觀察的方法骤转，特別是觀察測量輪廓時使用啥闪，邊緣清晰易于觀察。

反射照明

垂直照射測量工件的表面锚蛀，用來表面性狀的觀察和測量曙悠。

外部照明（環(huán)狀光纖·環(huán)狀LED·雙光纖）

用斜射的光來照射測量工件的表面，能夠實現(xiàn)立體的核宿、顏色重復性良好的觀察烘韩。

使用顯微鏡時，您可能會遇到顯微鏡的專業(yè)用語，這些用語都代表什么意思呢室用？

屘矗‖業(yè)‖用‖語

綜合放大倍率

綜合放大倍率=目鏡倍率 x 物鏡倍率。

例：使用10x目鏡和100x物鏡組合時添瓷，觀察像的綜合放大倍率=10 x 100=1000x梅屉。

視場數(shù)F.N

指目鏡能否在廣視野下進行觀察的指標。F.N=Field Number

裝配1x物鏡時仰坦，通過目鏡觀察到的像的直徑為24mm

實視場 FOV

指通過目鏡觀察時實際觀察和觀察工件的實際范圍履植。FOV：Field Of View

透過物鏡與成像鏡頭的光在分劃板上（成像鏡頭焦點位置）成像计雌，

觀察被目鏡放大后的像悄晃。

PC顯示倍率(TV綜合倍率）

PC顯示器倍率（TV綜合倍率）是指相機攝像元件對角線長度與PC顯示器屏幕對角線長度之比。當顯微鏡通過CCD 設備連接至電腦上進行成像觀察時凿滤，就需要評價顯示器倍率了妈橄。

PC顯示器倍率（TV綜合倍率）的計算公式如下：

工作距離 WD

聚焦時物鏡鏡頭頭部頂點到檢查物體表面的距離。工作距離越長,聚焦時操作性越好,不用擔心鏡頭會碰上檢查物體翁脆。WD：Working Distance

工作距離的示意圖

齊焦距離 PFD

聚焦時從物鏡安裝位置到合焦時檢查物體表面的距離眷蚓。PFD：Par Field Distance

倍率不同但是從物鏡安裝面到檢查物體表面的距離不變，

所以變倍率時不用重新對焦反番。

焦點距離 FD

焦點距離指鏡頭（主點）到焦點的距離沙热。 FD：Focus Distance

焦點深度 DOF

聚焦之后,聚焦位置前后移動,也能清晰的觀察的前后移動范圍。 DOF：Depth Of Focus

高倍率鏡頭倍率越高較深越淺（短）

低 倍率鏡頭倍率越低較深越深（長）

在人眼分辨力以下（約0.1至0.3mm）需要使用顯微鏡來罢缸，顯微鏡的觀察方法又有哪些呢篙贸？

觀‖察‖方‖法

明視場觀察

垂直照射測量物表面，適用于金屬譬椰、印刷電路板踏蚓、淺孔的表面觀察。

暗視場觀察

通過對從工件發(fā)出的散射光進行觀察姚不，可完成在明視場下觀察不到的劃痕惫投、塵埃、凹凸衷玩，以及勝任低反射工件的觀察蹬谁。

偏光觀察

觀察具有偏光特性的物質(zhì)，適用于半導體材料盾倍、液晶癞烈、結晶、金屬組織炸诚、礦物等表面觀察递市。

微分干涉（DIC）觀察

利用Nomarski棱鏡將光線分為兩束，形成明暗和對比度變化，可進行立體觀察唁情。適用于觀察硅片的結晶缺陷疑苔、磁頭研磨面的損傷檢查、涂裝面甸鸟、金屬組織惦费、礦石表面等。

（新天光電）

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