受惠人工智能侮压、5G和物聯(lián)網(wǎng)等新技術(shù)的迅速發(fā)展裆蛆，半導(dǎo)體的需求近年不斷擴(kuò)大孝摘，設(shè)備商也紛紛加大投入開(kāi)發(fā)新機(jī)型以應(yīng)對(duì)精密先進(jìn)制程的嚴(yán)苛挑戰(zhàn)酿势。

雷尼紹光柵產(chǎn)品的多樣性和穩(wěn)定性能是重要因素，規(guī)格也十分貼近市場(chǎng)需求妻往，與華卓精科的產(chǎn)品定位十分匹配互艾。

華卓精科（中國(guó)） 

半導(dǎo)體制造核心裝備包括光刻機(jī)雙工件臺(tái)试和、晶圓級(jí)鍵合設(shè)備、激光退火先進(jìn)設(shè)備和EFEM等纫普。設(shè)計(jì)精密阅悍，無(wú)論對(duì)核心零件的規(guī)格或是測(cè)控穩(wěn)定性都有極嚴(yán)謹(jǐn)?shù)囊蟆?/p>

這個(gè)領(lǐng)域多年被歐美日廠商壟斷，鮮有中國(guó)國(guó)內(nèi)廠商有能力涉足其中昨稼。

北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)華卓精科）是中國(guó)國(guó)內(nèi)從事精密制程核心裝備的領(lǐng)先者节视，他們開(kāi)發(fā)的半導(dǎo)體設(shè)備和運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用雷尼紹多款高性能光柵系統(tǒng)，是半導(dǎo)體設(shè)備實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化的重要一員假栓。制程設(shè)備國(guó)產(chǎn)化

華卓精科的產(chǎn)品主要面向半導(dǎo)體和精密制造業(yè)寻行，包括整機(jī)和關(guān)鍵機(jī)械測(cè)控部件，其中精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)占整體營(yíng)收約三分之二匾荆。

目前華卓精科標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)最多配置7個(gè)運(yùn)動(dòng)軸拌蜘，有龍門(mén)、雙驅(qū)牙丽、氣浮等系列简卧，定位精度和重復(fù)精度分別達(dá)± 0.5 μm和 ± 0.1 μm。另外也因應(yīng)客戶(hù)制程的要求提供客制化設(shè)計(jì)郑舷。

平臺(tái)以直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)迈叫，配置雷尼紹TONiC系列等光柵系統(tǒng)，通過(guò)Ti接口輸出納米級(jí)分辨率訊號(hào)肘鹅。

除了半導(dǎo)體制程應(yīng)用啦别，平臺(tái)也設(shè)計(jì)用于顯示面板，玻璃切割贷营，三維成像等等怯录。

其他整機(jī)產(chǎn)品也包括晶圓級(jí)鍵合設(shè)備、激光退火先進(jìn)設(shè)備等整機(jī)設(shè)備诬粗，這些設(shè)備都是配置了雷尼紹的光柵系統(tǒng)牡呀。

雷尼紹TONiC系列高性能光柵系統(tǒng)

溫度對(duì)柵尺整體性能的影響

在溫度的影響下，設(shè)備許多部件的長(zhǎng)度會(huì)因熱膨脹效應(yīng)而發(fā)生變化扯凫，而柵尺也不例外轧黑。

華卓精科采用的TONiC系列光柵系統(tǒng)大部份配置了RGSZ20S鋼帶柵尺系列，這款柵尺屬于“隨基體伸縮”柵尺售拼，厚度僅0.1mm且昭，意味著柵尺固定在基體上，在溫度變化時(shí)會(huì)跟隨基體膨脹或收縮贱鼻。

TONiC系列是雷尼紹一款高性能增量式光柵系統(tǒng)宴卖，可因應(yīng)設(shè)備基體材料選配不同特性的柵尺。與Ti訊號(hào)細(xì)分接口配套使用時(shí)邻悬，在直線(xiàn)和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用中分辨率可達(dá)1nm.症昏，而光柵工作速度在0.1μm分辨率時(shí)可達(dá)3.6m/s随闽。

由于安裝公差寬松，并且只需按下按鈕即可進(jìn)行校準(zhǔn)肝谭，使TONiC光柵系統(tǒng)的安裝變得快捷簡(jiǎn)單掘宪。而TONiC的動(dòng)態(tài)信號(hào)處理功能可提高信號(hào)穩(wěn)定性，而且電子細(xì)分誤更低于±30 nm.攘烛。

雷尼紹RGSZ20S柵尺——“隨基本伸縮”柵尺

選用雷尼紹的原因半導(dǎo)體設(shè)備一直講求高度客制化和效率魏滚，設(shè)備商必須應(yīng)對(duì)制程的嚴(yán)苛要求和快速的更新周期。華卓精科是目前中國(guó)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商的領(lǐng)先者坟漱，像晶圓級(jí)鍵合設(shè)備栏赴，國(guó)內(nèi)目前僅華卓精科一家有開(kāi)發(fā)相關(guān)產(chǎn)品。設(shè)備要求精準(zhǔn)的定位精度和重復(fù)性以實(shí)現(xiàn)晶圓與晶圓之間的準(zhǔn)確位置靖秩。

華卓精科總經(jīng)理孫國(guó)華先生說(shuō)道：“企業(yè)除了本身需要有良好的技術(shù)基礎(chǔ)外卢操，供貨商的配合也至關(guān)重要。光柵作為平臺(tái)和設(shè)備最關(guān)鍵的零部件之一件父，我們也是經(jīng)過(guò)全面的評(píng)估后才選擇了雷尼紹企奔，而且一直沿用至今。

雷尼紹的服務(wù)反應(yīng)總是很迅速夹它，提供我們很多專(zhuān)業(yè)的意見(jiàn)妖奕，協(xié)助我們成功爭(zhēng)取不少客戶(hù)訂單。有一點(diǎn)令我印象非常深的是雷尼紹的培訓(xùn)做得十分到位恢儡，非常有針對(duì)性窄栓。我們雙方已合作多年，關(guān)系密切组莲，相信未來(lái)也會(huì)有更多合作的機(jī)會(huì)笙亿。"

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（China Marketing 雷尼紹Renishaw）

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