受惠人工智能、5G和物聯(lián)網(wǎng)等新技術(shù)的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體的需求近年不斷擴大侠呛，設(shè)備商也紛紛加大投入開發(fā)新機型以應(yīng)對精密先進制程的嚴苛挑戰(zhàn)。

半導(dǎo)體制造核心裝備包括光刻機雙工件臺凯践、晶圓級鍵合設(shè)備披锨、激光退火先進設(shè)備和EFEM等。設(shè)計精密，無論對核心零件的規(guī)格或是測控穩(wěn)定性都有極嚴謹?shù)囊舐粞啊＿@個領(lǐng)域多年被歐美日廠商壟斷毛咸，鮮有中國國內(nèi)廠商有能力涉足其中。北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱華卓精科）是中國國內(nèi)從事精密制程核心裝備的領(lǐng)先者除阐， 他們開發(fā)的半導(dǎo)體設(shè)備和運動平臺采用雷尼紹多款高性能光柵系統(tǒng)造星，是半導(dǎo)體設(shè)備實現(xiàn)國產(chǎn)化的重要一員。

制程設(shè)備國產(chǎn)化

華卓精科的產(chǎn)品主要面向半導(dǎo)體和精密制造業(yè)消贼， 包括整機和關(guān)鍵機械測控部件搬洪，其中精密運動平臺占整體營收約三分之二。目前華卓精科標準型號運動平臺最多配置7個運動軸丁傲，有龍門、雙驅(qū)审胚、氣浮等系列匈勋，定位精度和重復(fù)精度分別達 ± 0.5 μm和 ± 0.1 μm。另外也因應(yīng)客戶制程的要求提供客制化設(shè)計膳叨。平臺以直線電機驅(qū)動洽洁，配置雷尼紹TONiC系列等光柵系統(tǒng)，通過Ti接口輸出納米級分辨率訊號菲嘴。除了半導(dǎo)體制程應(yīng)用饿自，平臺也設(shè)計用于顯示面板，玻璃切割龄坪，三維成像等等昭雌。其他整機產(chǎn)品也包括晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火先進設(shè)備等整機設(shè)備健田，這些設(shè)備都是配置了雷尼紹的光柵系統(tǒng)烛卧。

華卓精科總經(jīng)理孫國華先生說道：“華卓精科成立之初是從事光刻機工件臺的開發(fā)為主，目前是國內(nèi)唯一妓局，全球第二家掌握光刻

機雙工件臺核心技術(shù)的公司总放。工件臺是光刻機兩個最核心的部件之一（另一個是EUV 曝光系統(tǒng)），相關(guān)的技術(shù)對運動控制系統(tǒng)有極高的要求好爬，當(dāng)中包括平面氣浮侥嫂、平面磁浮、六自由度磁浮微動臺等核心自主研發(fā)技術(shù)蒸撕。運動平臺是我們公司從高端（光刻機工件臺）往下延伸的一個產(chǎn)品線莽入，因此我們的運動平臺一進入市場就是定位在高端的應(yīng)用。對比國外廠商同級運動平臺產(chǎn)品跑放，我們的價格顯然更有競爭力年笋。”

“雷尼紹光柵產(chǎn)品的多樣性和穩(wěn)定性能是重要因素，規(guī)格也十分貼近市場需求雌她，與華卓精度的產(chǎn)品定位十分匹配透汞。”

華卓精科（中國）

溫度對柵尺整體性能的影響

在溫度的影響下，設(shè)備許多部件的長度會因熱膨脹效應(yīng)而發(fā)生變化政用，而柵尺也不例外薄肉。華卓精科采用的TONiC系列光柵系統(tǒng)大部份配置了RGSZ20S鋼帶柵尺系列，這款柵尺屬于“隨基體伸縮”柵尺倘灸，厚度僅0.1 mm某亩，意味著柵尺固定在基體上，在溫度變化時會跟隨基體膨脹或收縮热某。華卓精科的運動平臺大多采用花崗巖為基體腻菇，這種材料具有低膨脹系數(shù)，短時間內(nèi)的溫度變化不會導(dǎo)致基體出現(xiàn)大幅度的膨脹或收縮昔馋。事實上TONiC光柵也可以選配“自由伸縮”型柵尺筹吐，像RTLC、RELM柵尺系列秘遏，換句話說就是柵尺的膨脹量由柵尺本身的膨脹系數(shù)和溫度所決定丘薛，在對系統(tǒng)進行位置補償時可忽略基體的膨脹系數(shù)。當(dāng)然邦危，應(yīng)該選擇“隨基體伸縮”或是“自由伸縮”型柵尺還是需要經(jīng)過多方面的考慮洋侨，如基體材料、軸長倦蚪、工件膨脹系數(shù)等等希坚。

TONiC系列是雷尼紹一款高性能增量式光柵系統(tǒng)，可因應(yīng)設(shè)備基體材料選配不同特性的柵尺陵且。與Ti 訊號細分接口配套使用時吏够，在直線和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用中分辨率可達1 nm.，而光柵工作速度在0.1 μm分辨率時可達3.6 m/s嵌鳖。由于安裝公差寬松织扰，并且只需按下按鈕即可進行校準，使TONiC光柵系統(tǒng)的安裝變得快捷簡單及裂。而TONiC的動態(tài)信號處理功能可提高信號穩(wěn)定性率肉，而且電子細分誤更低于± 30 nm.。

選用雷尼紹的原因

半導(dǎo)體設(shè)備一直講求高度客制化和效率嘀矢，設(shè)備商必須應(yīng)對制程的嚴苛要求和快速的更新周期剑三。華卓精科是目前中國國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商的領(lǐng)先者，像晶圓級鍵合設(shè)備昵例，國內(nèi)目前僅華卓精科一家有開發(fā)相關(guān)產(chǎn)品矩汪。設(shè)備要求精準的定位精度和重復(fù)性以實現(xiàn)晶圓與晶圓之間的準確位置端皮。

孫國華先生說道：“企業(yè)除了本身需要有良好的技術(shù)基礎(chǔ)外，供貨商的配合也至關(guān)重要拒凝。光柵作為平臺和設(shè)備最關(guān)鍵的零部件之一腰凫，我們也是經(jīng)過全面的評估后才選擇了雷尼紹，而且一直沿用至今牢裳。雷尼紹的服務(wù)反應(yīng)總是很迅速逢防，提供我們很多專業(yè)的意見，協(xié)助我們成功爭取不少客戶訂單蒲讯。有一點令我印象非常深的是雷尼紹的培訓(xùn)做得十分到位忘朝，非常有針對性。我們雙方已合作多年判帮，關(guān)系密切局嘁，相信未來也會有更多合作的機會』耷剑”

（雷尼紹Renishaw）

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