韓國運(yùn)動平臺制造商VAD Instrument(以下簡稱VAD)主要為客戶開發(fā)定制化的精密運(yùn)動平臺,當(dāng)中包括提供給需要在真空環(huán)境下工作的制程設(shè)備轧坎。
真空應(yīng)用與要求
許多精密工業(yè)制程都必須在真空環(huán)境下進(jìn)行宏邮,目的是減少任何氣體分子在制程中對加工品的影響。而制程中所涉及到的相關(guān)運(yùn)動控制零組件如導(dǎo)軌缸血,基體等金屬材料蜜氨,以及電機(jī)散熱問題,則需要經(jīng)過嚴(yán)格考慮捎泻,并采用兼容真空環(huán)境的光柵系統(tǒng)飒炎,包括耐高溫、高潔凈度族扰、降低整體氣體量釋出等特殊設(shè)計厌丑。
半導(dǎo)體真空平臺
TONiC UHV超高真空兼容光柵 目前VAD大部分平臺型號均采用雷尼紹TONiC系列光柵系統(tǒng),視精度要求配置不同種類的柵尺渔呵。
TONiC UHV光柵系統(tǒng)
VAD總裁Song, Baek-Kyun先生說道:“VAD一般平臺型號配置RTLC系列鋼帶柵尺怒竿,如果涉及真空應(yīng)用、像顯示面板AOI檢測設(shè)備或半導(dǎo)體制程設(shè)備等扩氢,我們會配置更高精度的RELM系列柵尺耕驰,配置兼容真空的TONiC讀數(shù)頭,連接到位于真空腔外的接口椎裕。
另外我們開發(fā)用于半導(dǎo)體EUV光刻機(jī)的膜板檢測設(shè)備言丧,由于精度要求達(dá)到ppm等級,需要采用雷尼紹高端的RLE系列激光尺定位系統(tǒng)皿进,激光發(fā)射頭安裝在XY平臺上辕寺,而雷尼紹可以提供性能穩(wěn)定的激光尺,這在市場上比較少見臊瞬。”
真空平臺配置RLE激光尺系統(tǒng)
雷尼紹TONiC UHV超高真空兼容光柵系列误扯,從讀數(shù)頭、電纜到柵尺都是必須經(jīng)過專門設(shè)計银景,真空壓力高達(dá)10-10 Torr骇瓦,讀數(shù)頭配置RFI屏敝線纜,其基本工作原理,規(guī)格性能與我們在大氣壓下使用的標(biāo)準(zhǔn)型TONiC型號無異庶咨。
但是岁九,UHV光柵的讀數(shù)頭在設(shè)計上消除了氣密孔,并且由高潔凈的真空兼容材料和粘合劑特制而成检碗,以避免對加工產(chǎn)品質(zhì)量造成損壞据块。
近乎零的熱膨脹系數(shù)柵尺 TONiC光柵可搭配多款不同特性的柵尺,并且適合在真空環(huán)境應(yīng)用后裸。Song,Baek-Kyun先生解釋他們選擇柵尺的準(zhǔn)則:“我們部分高端機(jī)型瑰钮,采用了雷尼紹RELM系列柵尺冒滩,主要看中它近乎零的熱膨脹系數(shù)微驶,以確保定位精度在溫差范圍變化大的環(huán)境下得以保持,要知道真空腔的溫差可達(dá)100 °C开睡。”
雷尼紹RELM是一款20μm柵距柵尺因苹,在1 m長度內(nèi)精度高達(dá)±1 μm,以堅固的雷尼紹專利材料ZeroMet制成篇恒,其熱膨脹系數(shù)僅為0.75±0.35 μm/m/°C(20 °C時)扶檐,柵尺可利用背面自帶的不干膠帶進(jìn)行安裝,同時也支持機(jī)械安裝方式以避免不干膠在真空中釋出氣體胁艰。
XL-80激光干涉儀檢測精密直線平臺
Song, Baek-Kyun先生繼續(xù)說:“我們看好未來真空應(yīng)用設(shè)備的市場需求款筑,尤其是半導(dǎo)體和顯示面板等精密工業(yè)制程。目前VAD正在開發(fā)更多相關(guān)的制程平臺腾么。在質(zhì)量管控方面浩出,我們正在采用雷尼紹XL-80系列激光干涉儀對設(shè)備出廠前進(jìn)行精度檢測,大大增加客戶對我們的設(shè)備性能表現(xiàn)的信心靡隔。”
感謝關(guān)注“雷尼紹Renishaw”
(China Marketing 雷尼紹Renishaw )
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