眾所周知脱拼,直線電機(jī)廣泛應(yīng)用于各大工業(yè)領(lǐng)域,包括平板顯示器 (FPD)坷备、半導(dǎo)體熄浓、自動(dòng)化、醫(yī)療診斷省撑、3D打印和機(jī)床等赌蔑。恒速控制對于這些先進(jìn)的工業(yè)過程來說至關(guān)重。
KOVERY公司是業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的高精度直線電機(jī)系統(tǒng)供應(yīng)商竟秫,其一系列先進(jìn)的直線電機(jī)集成了雷尼紹光柵娃惯,采用自有的專利技術(shù),契合地滿足了先進(jìn)工業(yè)的需求肥败。
挑戰(zhàn)
減小齒槽力罗迎,保持推力
大部分直線電機(jī)屬于“平板式直線電機(jī)”,其特點(diǎn)是永磁磁軌布置在一系列電磁線圈(動(dòng)子)的下方屑淌。半導(dǎo)體和FPD制造等領(lǐng)域的運(yùn)動(dòng)控制應(yīng)用要求嚴(yán)苛秒足,必須精準(zhǔn)控制動(dòng)子的運(yùn)動(dòng)。
恒速控制對于許多先進(jìn)的工業(yè)過程來說至關(guān)重要,但傳統(tǒng)的電機(jī)設(shè)計(jì)會(huì)產(chǎn)生齒槽力寿伊,導(dǎo)致電機(jī)速度出現(xiàn)紋波撩怀。
設(shè)計(jì)人員還可以選擇使用無槽(無鐵芯)平板式電機(jī),這種電機(jī)的控制性能優(yōu)異揽此,但缺點(diǎn)是推力輸出會(huì)大幅降低双竣。
解決方案
“獨(dú)特”的設(shè)計(jì),高品質(zhì)的光柵
KOVERY研發(fā)了一個(gè)采用“獨(dú)特”設(shè)計(jì)的電機(jī)系列煎敢,能夠在減小齒槽力的同時(shí)又不會(huì)犧牲推力汞潦。
KOVERY獨(dú)創(chuàng)研發(fā)的直線電機(jī)首次將永磁體以直立形式排列殿恤,這樣永磁體能夠在動(dòng)子線圈的磁極片間穿過盲趟。此電機(jī)使用雷尼紹QUANTiC?系列增量式光柵實(shí)現(xiàn)換向和位置控制。同時(shí)還使用了雷尼紹的其他測量產(chǎn)品慎陵,包括EVOLUTE?絕※式光柵眼虱,以及用于機(jī)器校準(zhǔn)的XL-80激光干涉儀。
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KOVERY總裁Kim Houng-joong先生介紹他們的專利技術(shù)說:
“市場上的直線電機(jī)類型多樣捏悬,每種設(shè)計(jì)都各有所長,但又各有短板润梯。我們KOVERY獨(dú)創(chuàng)研發(fā)的直線電機(jī)首次將永磁體以直立形式排列过牙,這樣永磁體能夠在動(dòng)子線圈的磁極片間穿過。這樣的設(shè)計(jì)可確保磁通量一致纺铭,且每條磁軌都具有獨(dú)立的磁路寇钉。在我們的設(shè)計(jì)中,磁軌數(shù)量越多舶赔,電機(jī)輸出功率越大扫倡。這種設(shè)計(jì)還可有效減小有槽鐵芯和磁軌之間的法向吸引力,同時(shí)又不會(huì)犧牲推力竟纳。換言之撵溃,電機(jī)的整體推力增強(qiáng),※大值可達(dá)到傳統(tǒng)直線電機(jī)的至少2倍锥累。其他優(yōu)點(diǎn)還包括重量輕挡医、設(shè)計(jì)自由度高、裝配便捷炸笋、擁有成本低等训癌。”
位置編碼器可幫助直線電機(jī)完成換向倒你,實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)的運(yùn)動(dòng)和位置控制胯夏。抖動(dòng)更低且細(xì)分誤差更小的光柵是推薦,因?yàn)檫@些特性有助于實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)的位置控制,并可減小速度紋波豆出。
在直線電機(jī)中工作的光柵需要具有兩個(gè)關(guān)鍵設(shè)計(jì)特性:讀數(shù)頭(傳感器)電纜的※小彎曲半徑小且電纜壽命長囊嘲,以確保機(jī)器的電纜軌道具有優(yōu)異的抗擠壓、扭結(jié)和彎曲性能吵淌;※大工作溫度高锯帚,能夠承受電機(jī)線圈通電時(shí)預(yù)期產(chǎn)生的熱量。
如果讀數(shù)頭安裝在電磁線圈附近被处,則光柵還必須能夠抵御強(qiáng)磁場的影響楞播。KOVERY在其直線電機(jī)中使用了一系列雷尼紹光柵,包括先進(jìn)的QUANTiC光柵肢簿。
針對半導(dǎo)體和FPD制程設(shè)備應(yīng)用靶剑,KOVERY的直線電機(jī)配備了QUANTiC系列光柵,它具備以下特性:分辨率達(dá)到0.2 μm,配用RTLC40增量式柵尺,可輸出模擬或數(shù)字信號(hào)贩猎。針對其他應(yīng)用,KOVERY的電機(jī)則配備了雷尼紹EVOLUTE絕※式光柵及RTLA50-S直線柵尺坑匠。
Kim先生繼續(xù)說道:“KOVERY的直線電機(jī)提供多種規(guī)格,僅行程長度就有十余種之多卧惜。有時(shí)厘灼,我們還需提供行程長達(dá)數(shù)米的定制產(chǎn)品。而且我們預(yù)計(jì)長行程直線電機(jī)的市場需求還將持續(xù)增加咽瓷。QUANTiC光柵的RTLC40鋼帶柵尺成卷供應(yīng)设凹,我們可以根據(jù)每臺(tái)電機(jī)的具體要求方便地將柵尺裁剪為所需長度,從而提升了生產(chǎn)靈活性忱详。此外围来,雷尼紹的產(chǎn)品交付周期很短且性價(jià)比優(yōu),這些都是吸引我們的優(yōu)點(diǎn)阿座。雷尼紹的光柵幫助我們提升了產(chǎn)品競爭力乃衫。”
QUANTiC光柵的優(yōu)點(diǎn)包括:兼容行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字或模擬輸出格式腮哩;安裝和運(yùn)行公差寬松额神,間隙為±0.3 mm,扭擺公差為±0.9°腻酱;運(yùn)行速度高達(dá)24 m/s惑膀;電子細(xì)分誤差 (SDE) 低至±80 nm;配備具有EMI防護(hù)功能的單屏蔽柔性電纜烧歹;內(nèi)置可輔助安裝的LED安裝指示燈贼么。
通過選裝的高級(jí)診斷工具ADTi?100和免費(fèi)的ADT View軟件穗掘,可獲得更詳實(shí)的診斷數(shù)據(jù)。ADTi?100非常適合不易安裝的應(yīng)用場合介她,并可用于現(xiàn)場診斷和查錯(cuò)称啸。
尤其是,QUANTiC光柵配備LED安裝指示燈且具有極寬松的安裝公差疾就,可幫助用戶快速澜术、直觀地完成安裝過程,從而降低機(jī)器裝配成本猬腰,減少維護(hù)機(jī)器時(shí)的停機(jī)時(shí)間鸟废。此外,QUANTiC光柵的低電子細(xì)分誤差 (SDE) 和高分辨率特性還有助于提升直線電機(jī)的精度姑荷,減少速度紋波盒延,從而實(shí)現(xiàn)更平穩(wěn)的運(yùn)動(dòng)控制。
Kim先生詳細(xì)說道:“選擇光柵系統(tǒng)時(shí)厢拭,除了光柵規(guī)格要滿足客戶的應(yīng)用要求以外兰英,我們還會(huì)考慮光柵在生產(chǎn)環(huán)境中的安裝難度和可靠性。設(shè)備制造商要求的產(chǎn)品交付周期一般都非常短供鸠,從收到訂單、設(shè)計(jì)陨闹、制造楞捂、測試到交付,我們通常只有3到6個(gè)月的時(shí)間趋厉≌郑”
“零件的安裝效率絕※是確保準(zhǔn)時(shí)交付產(chǎn)品的關(guān)鍵因素之一。QUANTiC光柵具有寬松的安裝公差陶簿,因此安裝非常便捷欣骏。而且,通過觀察讀數(shù)頭上的LED安裝指示燈的顏色航十,我們可以快速確定信號(hào)強(qiáng)度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)耽晦,安裝是否成功。QUANTiC的這些特性可幫助我們節(jié)省時(shí)間诊势、降低成本洲棍,并且增強(qiáng)了我們對產(chǎn)品的信心±蟊眨”
雷尼紹的EVOLUTE絕※式光柵具有許多與QUANTiC系列相同的優(yōu)點(diǎn)助碰,包括寬松的安裝公差和優(yōu)異的抗污能力。通過高級(jí)診斷工具ADTa-100硬件和ADT View軟件毒沥,也可獲得有關(guān)EVOLUTE的更詳實(shí)的診斷數(shù)據(jù)婚乌。
KOVERY在電機(jī)產(chǎn)品出廠前使用雷尼紹XL-80激光干涉儀進(jìn)行測試和校準(zhǔn)拗疯。XL-80用于機(jī)器校準(zhǔn)和質(zhì)量控制,它的運(yùn)行速度快且精度高中姜,線性測量精度可達(dá)0.5 ppm祝峻,而且輕巧便攜。“我們的大部分客戶是對質(zhì)量要求嚴(yán)苛的精密設(shè)備制造商扎筒,因此電機(jī)在出廠前必須通過嚴(yán)格的檢驗(yàn)莱找。我們使用雷尼紹XL-80激光干涉儀測量每臺(tái)直線電機(jī)的線性度、直線度和垂直度嗜桌;此外還執(zhí)行動(dòng)態(tài)測量奥溺,包括速度紋波分析。XL-80激光干涉儀安裝快捷且易于使用骨宠,它無疑是我們執(zhí)行產(chǎn)品測試的理想之選浮定,”Kim先生說道。
QUANTiC光柵的RTLC40鋼帶柵尺成卷供應(yīng)层亿,我們可以根據(jù)每臺(tái)電機(jī)的具體要求方便地將柵尺裁剪為所需長度桦卒,從而提升了生產(chǎn)靈活性。此外匿又,雷尼紹的產(chǎn)品交付周期很短且性價(jià)比優(yōu)方灾,這些都是吸引我們的優(yōu)點(diǎn)。雷尼紹的光柵幫助我們提升了產(chǎn)品競爭力稿屏。
KOVERY Inc.(韓國)
結(jié)果
雷尼紹的光柵產(chǎn)品和激光校準(zhǔn)系統(tǒng)幫助KOVERY打造出性能優(yōu)異的直線電機(jī)播托,并應(yīng)用在半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的先進(jìn)制程機(jī)器設(shè)備中。雷尼紹與KOVERY之間的密切合作將繼續(xù)支持新型直線電機(jī)的研發(fā)滋冀。 Kim先生總結(jié)道:“我們專注于超高精度及高速直線電機(jī)的研發(fā)丙藤,不可能對產(chǎn)品內(nèi)部的每個(gè)零部件都了如指掌。雷尼紹的售后支持服務(wù)非常出色凿食,他們經(jīng)常與我們的研發(fā)團(tuán)隊(duì)緊密溝通窘螃,不僅在必要時(shí)提供相關(guān)培訓(xùn),還為我們解決了許多應(yīng)用難題馒俊。”
KOVERY Inc.簡介
KOVERY公司是一家超精密電機(jī)制造商册向,持續(xù)致力于原創(chuàng)技術(shù)研發(fā)。他們的戰(zhàn)略目標(biāo)是:通過超精密電機(jī)系統(tǒng)的商業(yè)化和規(guī)木陀茫化生產(chǎn)顿豹,助力韓國相關(guān)產(chǎn)業(yè)的繁榮發(fā)展,以原創(chuàng)產(chǎn)品打入國際市場霉处。截至目前跋擅,KOVERY已申請了200多項(xiàng)電機(jī)相關(guān)專利。
感謝關(guān)注“雷尼紹Renishaw”
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(雷尼紹Renishaw )
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