太陽能板是一種能夠?qū)⑻柲苻D(zhuǎn)化為電能的設(shè)備甥材，也被稱為“太陽能電池板”或“光伏板”顷窒。它由許多太陽能電池組成常挚，這些電池由半導(dǎo)體材料制成作谭，如硅、硒和銅銦鎵硫等奄毡。當(dāng)太陽光照射到太陽能電池上時折欠，它的能量被吸收，然后會生成空穴-電子對吼过。這些電子和空穴會移動并在電路中形成電流锐秦，從而產(chǎn)生能量。

完成制絨工藝的硅表面布滿金字塔結(jié)構(gòu)盗忱，能夠有效降低光（特別是可見光）的反射率酱床，其對電池光生電流的影響主要有以下幾點(diǎn)：

a. 減少硅片表面光發(fā)射，增加光子吸收趟佃，光生電流增大扇谣。

b. 改變光進(jìn)入硅中的角度，增加光在硅中的傳輸距離闲昭，增加光子吸收冕咒，光生電流增大。

c. 到達(dá)硅片背面的長波光子因角度改變益爽，有可能再次反射回硅內(nèi)而被硅吸收彭理，形成光陷阱。
金字塔主要測量難點(diǎn)：

• 金字塔的真實(shí)3D結(jié)構(gòu)

• 由于傾斜角度過大（50度以上 ）而導(dǎo)致無法測量完整

• 橫向間距（微米級）過小而無法識別

太陽能金字塔結(jié)構(gòu)

針對太陽能電池板的測量分析皆舅，馬爾可以提供相應(yīng)的MarSurf CM Select測量解決方案减组。

馬爾3D共聚焦定制化顯微鏡

? 基于CMP和Ture Detection雙重技術(shù)的非接觸式測量

? 全電動軸CNC控制

? 測量快速及可自動高清拼接

? 最大可測角度高達(dá)71.8度

? 可達(dá)納米級的Z向分辨率

? 可達(dá)亞微米級的橫向分辨率

? 操作簡單方便，可實(shí)現(xiàn)自動化檢測

馬爾3D共聚焦定制化顯微鏡

– 在太陽能電池中測量參數(shù)

? 2D 和3D 形貌

? 高度特植、角度哆卓、尺寸等微觀幾何測量分析

? 面積、體積逝惑、直徑等顆粒統(tǒng)計分析

? 平面度和翹曲度測量

? 2D/3D表面粗糙度 

( 符合ISO4287/ISO25178等國際標(biāo)準(zhǔn) ) 

Ra,Rz,Rpc,Sa,Sz…

應(yīng)用案例

案例1 – 太陽能電池板的金字塔3D圖岂苏、顆粒分析和2D輪廓

案例2 – 評估太陽能電池板切割槽的幾何尺寸

案例3 – 評估太陽能電池板2D和3D粗糙度

（Mahr馬爾精密量儀）

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