小野測器上市測量范圍增至原產(chǎn)品2.5倍的非接觸式厚度儀

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　　小野測器（總部：橫濱）上市了靜電容量式非接觸式厚度儀“CL”系列改進(jìn)后的新系列“CL-5600”。預(yù)定2007年8月1日開始接受訂貨，9月20日開始供貨白华。產(chǎn)品線包括標(biāo)準(zhǔn)型“CL-5600”和高功能型“CL-5600S”，售價分別為66萬1500日元（不含稅）和81萬9000日元（不含稅）贩耐。

　　該系列配合使用以非接觸方式測量金屬等導(dǎo)電體和傳感器間距離的微小位移測量儀“VE”系列衬鱼，可大幅縮小與測量對象之間的間隙。這樣酿萄，測量范圍便擴(kuò)大到了原產(chǎn)品的2.5倍左右。另外勘浇，還能測量振動的物體争峭。此前，主要以因靜止而不適合進(jìn)行接觸測量的硅晶圓劈咕、硬盤用鋁板及貼銅層壓板等為對象馍逗，新系列還支持金屬板生產(chǎn)線上的厚度測量和Digital Gap測量等。

　　新系列5600S通過與小型間隙轉(zhuǎn)換器配合使用柏困，能夠?qū)鞲衅鞑糠趾娃D(zhuǎn)換器的距離延長至1.5m衩羹，將轉(zhuǎn)換器和顯示部的距離延長至2.5m。通過選配部件清玉，總共可將傳感器-轉(zhuǎn)換器-顯示部的距離延長至10m弧劳。這樣一來，便能輕松地嵌入自動測量裝置惜施。

　　此外還可選配以下功能：（1）模擬與比較輸出功能“CL-0100”壁挖；（2）最高分辨率為0.02μm的運算功能“CL-0200”；（3）可設(shè)定絕緣體測量軟件“CL-0300”条篷。通過（2）中所述功能可以提高硅晶圓等的測量精度骗随。通過（3）中所述功能可以測量玻璃、薄膜赴叹、塑料及水晶晶圓等較薄的物體鸿染。

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