摘 要:介紹了在三坐標測量機研制中贬奢,對光柵測量系統(tǒng)的設(shè)計時產(chǎn)生的測量誤差的原因進行了分析征乳,并提出了解決方案。實驗證明新框,該方法可很好地解決測量誤差的問題倍工。
關(guān)鍵詞:光柵數(shù)顯表;測量誤差公般;單片機
分類號:TP216 文獻標識碼:B
文章編號:1001-2265(2000) 02-0029-04
微電子和計算機技術(shù)的發(fā)展万搔,使采用光柵傳感器作為長度、角度檢測元件的自動檢測技術(shù)已在自動控制官帘、數(shù)控機床瞬雹、儀器儀表及計量儀器等領(lǐng)域中得到普遍應(yīng)用[1]。根據(jù)儀器的測量原理的不同刽虹,光柵信號處理電路的光柵數(shù)顯表的設(shè)計原理也有所不同酗捌,這就要求在設(shè)計儀器時根據(jù)儀器所采用的測量方法的不同而選用不同的光柵數(shù)顯表。
1 光柵數(shù)顯表簡介
目前市面上光柵信號的處理電路大部分是微機型光柵數(shù)顯系統(tǒng)涌哲。下面以某公司生產(chǎn)的光柵數(shù)顯表為例闡述其基本的工作原理胖缤。原理框圖如圖1所示(光柵信號為三路X、Y阀圾、Z哪廓,這里只畫一路)。光柵的輸出的信號經(jīng)過放大初烘、整形涡真、細分、辨向后赔绒,輸出脈沖信號匠凤,兩片8253可編程計數(shù)器對脈沖進行計數(shù)。8253有3個獨立的通道衡孽,各通道均為16位2進制計數(shù)器厂跋,計數(shù)速率均為2.6Mkz,8253可由軟件控制谨寂。每一路用2個計數(shù)器分別作為加計數(shù)器和減計數(shù)器猫降,計數(shù)器的容量可達216,即64K脆携,只要CPU對8253在兩次采樣間隔內(nèi)不發(fā)生計數(shù)溢出淫沧,便可滿足響應(yīng)要求豌魏。8253的連接圖如圖2所示。微處理器周期地對2個8253計數(shù)器采樣院抛,通過運算求出它們的增量的大小和方向唉私,再與原累積值相加,得到該采樣周期的位移染突,新的累積值是位移坐標捻爷。數(shù)顯表細分倍數(shù)為20,最小分辨率為0.5μm份企,微處理器為8031單片機也榄。此數(shù)顯表為微機型光柵數(shù)顯表,對數(shù)據(jù)的鎖存是通過軟件來實現(xiàn)的司志。這種數(shù)顯表在許多閉環(huán)系統(tǒng)的位置反饋環(huán)節(jié)中(數(shù)控機床)甜紫,以及長度測量中(如測長儀,測微儀等靜態(tài)測量儀器)得到廣泛的使用骂远。但這種數(shù)顯表應(yīng)用到需要實時保存數(shù)據(jù)的高精密的點位測量儀器中(如三坐標機)囚霸,將會產(chǎn)生很大的測量誤差。下面以此光柵數(shù)顯表為例吧史,分析這種數(shù)顯表在長度測量的點位測量場合時產(chǎn)生誤差的原因邮辽。
圖1 微機型光柵數(shù)顯表原理框圖
圖2 計數(shù)器計數(shù)及采樣過程
2 光柵測量系統(tǒng)產(chǎn)生誤差的原因
在長度測量的點位測量場合應(yīng)用這種光柵測量系統(tǒng)時,產(chǎn)生誤差的主要原因是由于系統(tǒng)的某些環(huán)節(jié)的速度跟不上而使系統(tǒng)產(chǎn)生延時所致贸营。一般來說吨述,現(xiàn)代集成技術(shù)的發(fā)展,電路及元件的響應(yīng)速度應(yīng)是很快的钞脂,可達納秒級水平阅王,相對于光柵10m/min的移動速度,電路及元件的延時可以忽略不計狡煎,系統(tǒng)的延時主要是由軟件產(chǎn)生的延時所至培扳。
此數(shù)顯表的工作原理圖如圖2所示。計數(shù)器采用的是兩片8253可編程計數(shù)器瞧纹,與CPU的連接見圖2硫薇。數(shù)顯表的分辨率為0.5μm,微處理器為8031單片機澳券,為微機型光柵數(shù)顯表但治,對數(shù)據(jù)的鎖存是通過軟件來實現(xiàn)的,軟件的延時是產(chǎn)生誤差的原因乎渊。
現(xiàn)以測量機的測量過程為例來進行具體分析习诬。為了簡單起見,只測量X方向的值(x變化崩蚀,y零短、z不變壤趴,使被檢測的量塊工作尺寸方向與X方向平行,量塊工作尺寸為X方向的坐標差的絕對值)瑞侮,其采數(shù)過程是這樣的的圆,當測頭與工件接觸時測頭發(fā)出觸發(fā)脈沖(此時工件的被測點的坐標為(x、y区岗、z))略板,此脈沖送入8031單片機內(nèi)作為中斷信號使程序產(chǎn)生中斷,轉(zhuǎn)入執(zhí)行中斷采數(shù)子程序慈缔,采集8253計數(shù)器的數(shù)據(jù)送入CPU加以處理。測點1的X方向坐標為X1种玛,測點2的X方向坐標為X2藐鹤,則量塊的尺寸L=|X2-X1|。如圖3所示赂韵,當測點1與測頭接觸時娱节,此時坐標為X1,測頭產(chǎn)生脈沖引起中斷(此時刻為t1祭示,執(zhí)行中斷子程序采集數(shù)據(jù)的時刻為t1′)肄满。工件會由于慣性而繼續(xù)向前運動,在t1′時坐標為X1′质涛,這樣X1′=X1-ΔX1拭兢。同理,計算機采到的工件的測點2坐標值為X2′胯炊,實際需要的坐標為X2孟掺,則X2′=X2+ΔX2。測量計算出來的值為:L′=|X2′-X1′|回东,則L-L′=ΔX1+ΔX2喂搬。把匯編程序讀出來并反匯編成源代碼后,對源代碼加以分析可以計算出軟件的延時Δt成吓。
圖3 測量工件示意圖
這臺數(shù)顯表使用的CPU為8031熙拐,其晶振為6MHz,機器周期為1μs切咸。典型的指令周期(執(zhí)行一條指令的時間)為一個機器周期搏翎。當單片機確定請求有效到進入響應(yīng)狀態(tài),執(zhí)行中斷子程序時泳落,至少3個機器時間間隔沐恨;單片機響應(yīng)中斷,必須在當前指令執(zhí)行完后才進行婚被,這就可能增加2~4個機器時間間隔狡忙;當單片機正在執(zhí)行RETI或讀寫IE梳虽、IP指令時,單片機響應(yīng)中斷灾茁,必須等待2~5個機器時間間隔窜觉。總之北专,單片機響應(yīng)中斷響應(yīng)時間為5~12機器時間間隔[2]禀挫。
其中斷采數(shù)程序框圖如圖4所示。其程序如下:
圖4 采數(shù)接口程序圖
從上面的中斷子程序可以看出拓颓,將8253的計數(shù)器的值鎖存后再讀出來時就不會產(chǎn)生誤差语婴。把中斷子程序的指令歸類,匯總計算執(zhí)行這些指令所須的機器周期數(shù)驶睦,如下表1所示砰左。從表1可以看出,從測頭接觸工件發(fā)出觸發(fā)脈沖场航,到數(shù)顯表讀到數(shù)據(jù)時共有33~40個機器周期的延時缠导,即33~40μs的延時。設(shè)延時的時間間隔為Δt呼笨,工件的測量移動速度為v m/min(v<10m/min)恋晃,則每微秒移動的距離為v/60μm,在測測點1時的速度為v1/60μm肪吁,在測測點2時的速度為v2/60μm陷立。測量圖如圖5所示。
圖5 檢測示意 表1 程序中所用的指令統(tǒng)計表 |
項目 | 數(shù)量 | 指令所需的機器周期數(shù) | 總計機器周期數(shù) |
中斷等待 | 5~12 | 5~12 | |
PUSH指令 | 6 | 2 | 12 |
MOV指令 | 6 | 1 | 6 |
MOVX指令 | 10 | 2 | 20 |
合計 | 33~40 |
3 實驗結(jié)果驗證 三坐標測量機采用的測量方法主要是點位測量。上述的數(shù)顯表應(yīng)用在三坐標測量機時娱仔,由于其不具備實時保存數(shù)據(jù)的能力沐飘,系統(tǒng)的延時會使測量系統(tǒng)具有很大的原理性誤差,不可忽視牲迫。作者在研制三坐標測量機時曾遇到上述問題耐朴。測量機上使用的數(shù)顯系統(tǒng)跟上述的型號一樣。測量機設(shè)計的分辨率為0.5μm盹憎,三維空間精度1+L/300(μm)筛峭,工作臺范圍為300×300×400(mm)。 表2 實驗測量結(jié)果表 |
測量次數(shù) | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 |
測量結(jié)果 | 200mm +1μm |
200mm +4μm |
200mm +8μm |
200mm +2μm |
200mm +10μm |
誤差值 | 1μm | 4μm | 8μm | 2μm | 10μm |
從表2的測量數(shù)據(jù)來看焚痰,測量精度超出設(shè)計精度,測量數(shù)據(jù)的離散性大羔辉,重復(fù)精度很差盯萄,且穩(wěn)定性差(其他兩軸方向Y、Z也有類似的結(jié)果)睁衰。在測試中還發(fā)現(xiàn)誤差的大小與測量時測頭與工件的接觸速度很有關(guān)系用牲,速度大,誤差大蝴趾,當速度為零時誤差在允許的范圍內(nèi)勋酿,測量結(jié)果很好,測量誤差小于1μm且重復(fù)性很好愿味。這個測量結(jié)果與設(shè)計指標相差甚遠博个,排除了其他方面的原因,通過對光柵數(shù)顯表進行分析功偿,認為數(shù)顯表的軟件的延時是產(chǎn)生誤差的原因盆佣。 4 解決方案 三坐標測量機測量是屬于點位測量,它的測量系統(tǒng)必須具有實時數(shù)據(jù)鎖存的功能械荷,為了達到這一要求共耍,對原有的數(shù)顯表加以改進。把8253計數(shù)脈沖源斷開,使8253計數(shù)器無效痹兜。在數(shù)顯表內(nèi)加入一附加的實驗電路板(多片192計數(shù)器串連和多片373寄存器串連)穆咐,把計數(shù)脈沖引入192計數(shù)器中,寄存器的輸入端與計數(shù)器相連佃蚜,輸出端與CPU的P1口數(shù)據(jù)總線相連庸娱,中斷源同時跟微處理的中斷口和寄存器相連,使中斷信號可同時送到寄存器和微處理中谐算,其改進后的基本原理框圖如圖6所示熟尉。為了與改裝后的硬件相適應(yīng),對軟件重新改寫佳抗,編譯寫入程序存儲器中坠街。改造完成后進行測試,誤差能很好地控制在1μm以內(nèi)灵科。為了充分利用微機的功能墅失,使儀器緊湊,且提高儀器的可靠性揭轰,將數(shù)顯表的功能以計算機板卡的形式實現(xiàn)筑渴。方案原理圖如圖7所示。原理圖虛框內(nèi)為光柵數(shù)據(jù)采集卡原理圖少炎,采用微機插卡的形式代替光柵數(shù)顯表磕阱。計數(shù)器采用192或193可逆計數(shù)器,寄存器采用74LS173(其帶有三態(tài)門3D鎖存器)峡审,從三維測頭發(fā)出的觸發(fā)脈沖接入寄存器的三態(tài)門的使能信號輸入端情澈,同時作為微機的IQR3的中斷源。當觸發(fā)脈沖到來時拨聚,立即把計數(shù)器里的值打入寄存器中瘤琐,同時引起計算機中斷,執(zhí)行中斷采數(shù)子程序丑瞧。當沒有觸發(fā)脈沖時柑土,微機循環(huán)采數(shù),連續(xù)顯示當前的坐標值嗦篱。采數(shù)接口程序框圖如圖8所示冰单。此程序采用C語言編寫,中斷子程序(函數(shù))采用內(nèi)嵌式匯編編寫灸促。按照此原理制作的光柵采數(shù)接口卡插入微機內(nèi)诫欠,并與光柵傳感器連接調(diào)整好后,測量精度及重復(fù)精度都能很好地控制在1μm以內(nèi)浴栽,達到了設(shè)計要求荒叼。 |
圖6 具有實時鎖存功能的微機型光柵數(shù)顯表原理框圖
圖7 光柵測量系統(tǒng)框圖
圖8 采數(shù)接口程序圖
5 結(jié)論
本文分析了在設(shè)計儀器時轿偎,對不具備實時數(shù)據(jù)鎖存的光柵數(shù)顯表應(yīng)用在點位測量場合產(chǎn)生的誤差進行了分析,找出了產(chǎn)生誤差的原因被廓。因光柵測量系統(tǒng)類型繁多坏晦,且測量精度和適用范圍不同,所以在設(shè)計機床和儀器時嫁乘,應(yīng)根據(jù)不同的具體情況選擇不同的光柵的測量系統(tǒng)昆婿,如有可能因盡量了解系統(tǒng)的工作原理,看其是否與自己設(shè)計的機床或儀器相符合永努,否則有可能發(fā)生選型失誤贞倒,造成不必要的損失。
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