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ULTRA系列測量機

 ULTRA系列性能包括：

  “亞微米級”精度
  花崗巖工作臺,全氣浮防震基座
  加強型單晶陶瓷橫梁和主軸
  三軸自適應微隙氣浮導軌
  全功能模塊化集成數(shù)控系統(tǒng)
  測量范圍1000×700×600mm-25000×1000×800mm
  空間精度：0.7μm+L/600
  高精度掃描：1.5μm



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