數(shù)字化精密測量技術(shù)是數(shù)字化制造技術(shù)中的關(guān)鍵技術(shù)之一。開發(fā)亞微米扯蕾、納米級高精度測量儀器磨慷，提高環(huán)境適應(yīng)能力，增強(qiáng)魯棒性探九，使精密測量裝備進(jìn)入生產(chǎn)現(xiàn)場安揣，集成到加工機(jī)床和制造系統(tǒng)，形成先進(jìn)的數(shù)字化閉環(huán)制造系統(tǒng)舶衬，是當(dāng)今精密測量技術(shù)的發(fā)展趨勢埠通。

　　美國FARO技術(shù)公司的FaroARM系列便攜式三坐標(biāo)測量臂在工業(yè)界首次實(shí)現(xiàn)測量臂與激光掃描頭的完美結(jié)合，在同一坐標(biāo)系下實(shí)現(xiàn)非接觸式快速掃描和接觸式測量逛犹。特點(diǎn)：非接觸式靈活快速掃描端辱，獲取曲線曲面的點(diǎn)云數(shù)據(jù)，點(diǎn)云無分層圾浅；接觸式測量掠手，把握關(guān)鍵特征尺寸與輪廓的精度憾朴；非接觸式與接觸式測量在同一坐標(biāo)系下完美結(jié)合狸捕，掃描沒有任何分層；掃描頭與測量臂及測量軟件同為FARO公司產(chǎn)品众雷，技術(shù)完全共享灸拍，服務(wù)更加方便。在實(shí)際應(yīng)用中為客戶大大縮短設(shè)計(jì)生產(chǎn)制造周期砾省，降低成本鸡岗，質(zhì)量控制可以在內(nèi)部完成，自動生成的報(bào)告適用于網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用编兄，從而改善了各生產(chǎn)職能部門之間及實(shí)際不同地點(diǎn)間的溝通咕烟；提高了準(zhǔn)確性，做產(chǎn)品檢驗(yàn)時(shí)用戶通常通過5到10個點(diǎn)來定義曲面淀祟，使得用戶可以檢驗(yàn)由數(shù)以萬計(jì)的點(diǎn)云定義的曲面質(zhì)量憎对；自動化的SPC可對多個樣品進(jìn)行自動化的統(tǒng)計(jì)過程控制。
　　
　　美國CIMCORE公司推出了配備有先進(jìn)激光掃描測量系統(tǒng)的關(guān)節(jié)臂測量機(jī)酌铺。材料采用碳纖維散岩，INFINITE系列還具有無線通訊功能酿乾。用于反求工程時(shí)，不僅測量速度快萌圣，而且可實(shí)現(xiàn)測量過程的實(shí)時(shí)顯示和補(bǔ)漏測量數(shù)據(jù)的無縫拼接渣蒙。該儀器可用于三坐標(biāo)測量、三維造型低海、產(chǎn)品測繪缔寒、反求工程、現(xiàn)場測量以及模具設(shè)計(jì)制造等涉及到設(shè)計(jì)顿蝇、制造忠伊、過程檢測、在線檢測以及產(chǎn)品最終檢測等測量工作巷波。
　　
　　瑞士TESA公司的Scan系列用2個線陣CCD組件萎津，通過工件的回轉(zhuǎn)和軸向移動對工件進(jìn)行投影掃描，可實(shí)現(xiàn)對軸類零件位置誤差和形狀誤差的精確檢測抹镊、對截面形狀和輪廓度的評估比較以及統(tǒng)計(jì)質(zhì)量分析锉屈，還能對零件的局部（如過渡曲線、微小溝槽等）進(jìn)行放大測量垮耳。對螺紋颈渊、蝸桿、絲桿等能夠進(jìn)行全參數(shù)精度的精確測量终佛。
　　
　　德國SCHNEIDER的WMM系列軸類及工具測量儀操作簡單俊嗽、測量速度高，特別適用于車間檢查站铃彰。儀器采用高分辨力的 Matrix攝像頭绍豁，可以快速獲取測量數(shù)據(jù)。儀器數(shù)顯分辨力為0.0001mm牙捉，長度測量不確定度為E2=（2.0+L/200）竹揍？m（L單位為mm）。
　　
　　數(shù)控機(jī)床的精度和性能檢測領(lǐng)域中橘凿，國外著名廠商Renishaw棱悄、API及HP等公司生產(chǎn)的激光干涉儀測量系統(tǒng)和球桿儀等在數(shù)控機(jī)床的幾何精度和運(yùn)動精度的檢測和監(jiān)控中，無論在機(jī)床制造廠還是機(jī)床使用廠寡络，都得到了廣泛的應(yīng)用鬼壹。Renishaw公司的激光干涉測量系統(tǒng)，配備了高精度述搀、高靈敏度的溫度寥药、氣壓、濕度傳感器及EC10環(huán)境補(bǔ)償裝置，在工作環(huán)境下測量精度得到進(jìn)一步提高趁悦；API公司的Rmtea六維激光測量系統(tǒng)可同時(shí)測量6個數(shù)控機(jī)床精度項(xiàng)目的誤差验柴，縮短了檢測時(shí)間，為生產(chǎn)現(xiàn)場數(shù)控機(jī)床的檢測和診斷提供了更為快速高效的精密測量手段委蒿。成都工具研究所的MJS系列雙頻激光干涉儀姊宗，分辨力0.01?m，測量軟件覆蓋了我國和世界主要工業(yè)國的數(shù)控機(jī)床精度標(biāo)準(zhǔn)評定方法和指標(biāo)黎人，動態(tài)采樣功能可用于自動補(bǔ)償撼泛。
　　
　　在非接觸掃描測量，三坐標(biāo)測量機(jī)方面LEITZ公司的精密三坐標(biāo)測量機(jī)用于測量大型齒輪澡谭。瑞典HEXAGON集團(tuán)所屬DEA公司的PRIMA C1系列水平臂測量機(jī)配備有光學(xué)/激光式非接觸掃描傳感器愿题，可適應(yīng)不同測量環(huán)境和任務(wù)的要求。德國ZEISS公司的PROR Premium坐標(biāo)測量機(jī)配備有EagleEye導(dǎo)航系統(tǒng)和可控測座可實(shí)施高速精密測量蛙奖。
　　
　　美國光動（Optodyne）公司近年推出的基于體對角線的激光矢量測量技術(shù)是快速測量和補(bǔ)償數(shù)控機(jī)床潘酗、加工中心三維空間位置誤差的一個新途徑。該技術(shù)由美國光動公司發(fā)明并獲得專利雁仲，它遵循了ASME B5.54仔夺。我國西安愛德華測量機(jī)公司自主開發(fā)的柔性關(guān)節(jié)臂測量機(jī)的樣機(jī)。
　　
　　德國帝目機(jī)械設(shè)備有限公司（teamtechnik）提供的測試系統(tǒng)解決方案攒砖「淄茫基于設(shè)備功能組成部分的模塊化。獨(dú)立于所測試的零件吹艇，功能元件被標(biāo)準(zhǔn)化為模塊惰蜜，并在應(yīng)用過程中始終保持一致。設(shè)備以被測試的零件為中心受神，這樣經(jīng)過試用檢驗(yàn)的技術(shù)就能夠不斷的積累和提高推讽。

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