SensArray推出用于測(cè)量生產(chǎn)線溫度的晶圓狀傳感器底板

國(guó)際金屬加工網(wǎng)

美國(guó)SensArray近日展出了用于測(cè)量生產(chǎn)線溫度的晶圓狀傳感器底板塔猾。可檢測(cè)晶圓處理工序用制造設(shè)備內(nèi)部的設(shè)定值與實(shí)際溫度的差值及溫度波動(dòng)等情況稽坤。據(jù)稱還可用于液浸曝光設(shè)備的溫度管理永炭。

所展示的傳感器底板包括2種，分別用于干式工藝和濕式工藝土嚼。面向干式工藝的底板考慮了對(duì)等離子的耐受性魏桅，在傳感器底板表面包了一層硅晶圓。而面向濕式工藝的底板則在底板表面包了一層聚四氟乙烯樹脂（Teflon Resin）缓缝。傳感器底板以同心圓形狀總計(jì)嵌入了65個(gè)可將溫度變化轉(zhuǎn)換成電壓的钳葬、0.5mm見方的半導(dǎo)體傳感器。測(cè)量誤差在±0.1～±0.2℃之間赂品。同時(shí)在傳感器底板上還嵌入了2個(gè)采用LiPON電解質(zhì)翩腹、24mm見方、厚15μm的超薄充電電池。與其他競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的產(chǎn)品相比刷裂，其特點(diǎn)在于即使內(nèi)置了這么多傳感器和電池飘蔓，底板本身仍非常平坦。包括分析軟件米萝，售價(jià)在550萬(wàn)～600萬(wàn)日元之間账何。據(jù)悉還在開發(fā)具有溫度測(cè)量、電池充電功能缤谎、支持FOUP標(biāo)準(zhǔn)的非接觸型傳感器底板抒倚，力爭(zhēng)2006年內(nèi)研制成功。

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傳感器電池面包樹脂充電電池軟件

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            </div>
            </form>
        </div>
	</div><div   id="umzegmj"   class="relprod">
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					</div>
					</div>
                </div>
            </div>
            <div   id="5oqrdzq"   class="news_r_area">

<div   id="0ctvm4x"   class="news_right_title" id="news_right_1">
    
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	</span>
    
    
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<div   id="fcuwcjk"   class="news_right_border">
    <div   id="l5r5bs0"   class="news_right">
        <div   class="rtaxyu4"   id="news_right_2">
            <div   id="10mxovr"   class="news_right_bg_1" style="display:;">
                <div   id="fde0zq5"   class="news_right_sub">
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<div   id="0wh1xxv"   class="news_right_sub">
                    <span id="5dzhhul"    class="news_r_narrow_inner_title">
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                    </span>
                    <div   id="ayu5ar5"   class="news_r_product_e">
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						<a  target="_blank" class="news_r_product_e_link">夾具(含刀柄)</a><a  target="_blank" class="news_r_product_e_link">螺紋</a><a  target="_blank" class="news_r_product_e_link">鉆孔</a><a  target="_blank" class="news_r_product_e_link">非標(biāo)</a><a  target="_blank" class="news_r_product_e_link">坐標(biāo)測(cè)量</a><a  target="_blank" class="news_r_product_e_link">長(zhǎng)度儀器</a><br />
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	</div>
	 <script src="/tools/pagecount.js?v=20180322"></script>
<script src="/notice.js"></script>

     
     
	 
     <footer class="newsShow_footer">
     	<ul class="newsShow_footer_ul1">
     		<a href="http://www.atkqc.com" target="_blank"><li id="dmtkbhj"    class="newsShow_footer_li1">首頁(yè)</li></a>
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        <ul class="newsShow_footer_ul2">
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        </ul>
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					 <div   id="iar0m15"   class="erji">
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								<div   id="gyfwyar"   class="page_share_item_icon weibo_icon"></div>								
						   </div>
						   <div   id="ckmdpq5"   class="page_share_item" onclick="shareToQq()">
								<div   id="dkgdpbm"   class="page_share_item_icon kongjian_icon"></div>
								
						   </div>
						   <div   id="xvsefm1"   class="page_share_item creat_erwei">
								<div   id="51wxi1p"   class="page_share_item_icon weixin_icon"></div>
								<div   id="yf1rxtp"   class="page_url_erwei">
								   <div   class="omo6nzv"   id="qrcode"></div>
								</div>
						   </div>
						</div>

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						</ul>
						</div>
			
			<script>
			var ph=document.getElementById("phone");
			var otime=null;
			var num=-310;
			function tomove(){
				if(!ph) {
					return;
				}
				otime=setInterval(function (){
					num+=10;
					if(num==310)
					{
						num=-310;
						clearInterval(otime);
					}
					ph.style.backgroundPosition=num+"px 0px";
					//console.log(num);

},20)
				}
			tomove();
			setInterval(function(){
				tomove();	
			},3000);
			//生成二維碼
			var qrcode = new QRCode(document.getElementById("qrcode"), {
				width : 90,
				height : 90
			});

function makeCode () {		
				var elText = self.location.href;
				qrcode.makeCode(elText);
			}

makeCode();

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</footer>