議題規(guī)劃：

國家標(biāo)準(zhǔn)解讀

• 國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》台腥；

• 高級別半導(dǎo)體潔凈室設(shè)計及生產(chǎn)車間建設(shè)規(guī)范與標(biāo)準(zhǔn)解讀投放；

• 相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)解讀奈泪。

行業(yè)發(fā)展趨勢解讀

• 半導(dǎo)體材料應(yīng)用技術(shù)及發(fā)展前景；

• 半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用技術(shù)及發(fā)展前景灸芳；

• 潔凈技術(shù)發(fā)展趨勢及應(yīng)用需求涝桅。

技術(shù)發(fā)展與創(chuàng)新

• 空氣中的塵埃粒子的檢測/控制/及整體解決方案；

• 半導(dǎo)體/集成電路生產(chǎn)中防靜電及除靜電；

• 微電子潔凈廠房的送風(fēng)模式;

• FFU在芯片制造環(huán)境與工藝良品率中的作用;

• HVAC：溫濕度控制冯遂；模糊控制在半導(dǎo)體廠潔凈室溫濕度控制中的應(yīng)用蕊肥；

• 工程設(shè)計與施工過程管理；

• 基于需求的潔凈室人工智能管控節(jié)能蛤肌；

• 數(shù)字化建設(shè)：智能控制系統(tǒng)壁却；

• 潔凈室建設(shè)解決方案：垂直領(lǐng)域痛點解決方案；

垂直領(lǐng)域的解決方案

• 控制表面污染-提高成品率裸准；

• 半導(dǎo)體硅材料廠工藝設(shè)計中的污染控制技術(shù)展东；

• 半導(dǎo)體晶圓廠潔凈室氣態(tài)化學(xué)污染物測試及污染源分析;

• 半導(dǎo)體潔凈室AMC（氣態(tài)分子污染物）控制方案;

• 化學(xué)過濾器在半導(dǎo)體潔凈室新風(fēng)凈化中的應(yīng)用；

• 高效PTFE復(fù)合濾材/過濾器生命周期的性能優(yōu)化炒俱；

• 微生物污染控制/微生物污染源分析及解決方案盐肃。

碳中和與綠色發(fā)展

• 潔凈廠房建設(shè)的節(jié)能環(huán)保；

• 過濾没靖、分離锚倦；空氣、廢水驱宴、純凈水任咨；

• 應(yīng)對氣候變化：潔凈室的能源效率；

• 潔凈區(qū)的消防與主動安全

“引進(jìn)來”與“走出去”

• “引進(jìn)來”政策解讀

• “走出去”政策及實例解讀

往期回顧

*部分往屆論壇現(xiàn)場圖片

統(tǒng)籌 | 劉昊宇

審校 | 賀雅寧

編排丨仲鳳元

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（PME表面精密加工博覽會）

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