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API激光干涉儀在雙軸同步測量中的應(yīng)用

近些年來斥稍,在常用傳統(tǒng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)中险绘,龍門結(jié)構(gòu)越來越多的被使用换可,比如手機(jī)顯示玻璃雕銑機(jī)切割商模,手機(jī)外殼高光機(jī)奠旺,半導(dǎo)體自動化,臥式加工中心等方面施流。

隨著龍門結(jié)構(gòu)越來越豐富响疚,有一些特殊要求的龍門結(jié)構(gòu)也不斷的涌現(xiàn),比如雙X軸瞪醋,雙Y軸忿晕,以及多Z軸等變異結(jié)構(gòu)同時(shí)出現(xiàn)。

從結(jié)構(gòu)上分析這些變異結(jié)構(gòu)并不復(fù)雜银受,但是對加工和檢測的要求卻越來越高践盼,如何能保持雙軸同步的性能也是一個不小的難題。龍門結(jié)構(gòu)越復(fù)雜跨度越大宾巍,同步性問題越明顯因摸,一直以來,這種結(jié)構(gòu)的同步性存在三個難題:難檢測叭蜂,難發(fā)現(xiàn)侦滩,難處理!傳統(tǒng)的直尺方尺唬研,只能測量小龍門的高低以及左右方向的同驅(qū)問題假祝,一旦龍門結(jié)構(gòu)變大,或者結(jié)構(gòu)變復(fù)雜就幾乎無法測量尼削,即使測量出來發(fā)現(xiàn)了同驅(qū)問題也束手無策虎内!

隨著科技的發(fā)展,這一難題被我們API公司(美國自動精密工程以下簡稱API)生產(chǎn)發(fā)明的激光干涉儀徹底地解決了难宋。

在此案例中需要測量提高A軸B軸的同步性能耗鲸,同步性參數(shù)主要包括(A/B軸的線性定位精度同步,A/B軸高度方向的直線度同步乙闰,A/B軸垂直結(jié)構(gòu)的同步性懒潘,A/B軸平臺的俯仰角度同步,A/B軸平臺偏擺角度同步互墓,A/B軸滾動角同步性)前三個參數(shù)是同步性能中最重要的三個參數(shù)必尼。測量這些參數(shù)如果用傳統(tǒng)方法,最多只能做到直線度同步檢測篡撵,其他的都無法做到判莉,我們API公司只需要借助本公司生產(chǎn)的激光干涉儀即可做到A/B軸的同步性測量,XD-3D只能實(shí)現(xiàn)前三個參數(shù)的同步性測量育谬,如果選擇XD-6D則可以完成六組主要同步性參數(shù)的測量券盅。而且我們API最大的優(yōu)勢就在于一次安裝帮哈,可同時(shí)完成以上所有同步參數(shù)的測量,是目前激光測量設(shè)備中唯一可以做到的檢測儀器锰镀。

激光干涉儀在線性方面的測量娘侍,已經(jīng)被廣泛使用了數(shù)十年,這一點(diǎn)大家都非常了解泳炉,同樣在測量雙驅(qū)軸的同步性能方面憾筏,使用本公司生產(chǎn)的激光干涉儀亦能輕松完成,如上圖所示只需要把干涉儀主機(jī)放置M點(diǎn)或者N點(diǎn)花鹅,反射鏡放在相對應(yīng)的位置上氧腰,兩點(diǎn)對光好之后,調(diào)取后臺實(shí)時(shí)監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)呐缸,設(shè)置好參數(shù)比如每秒記錄一個干涉鏡與反射鏡的距離三钦,當(dāng)然測量的間隔時(shí)間可以按照需要調(diào)整,然后A/B軸同時(shí)啟動疫谱,按一定合理的速度往同一個方向移動叽燃,直到測量全行程后停止,此時(shí)軟件里面會有與相應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)對應(yīng)的位置記錄姚菱,用軟件編輯之后就可以給出同步性能曲線圖。

圖為使用APIXD-3D采集的40個點(diǎn)(圖中每秒收集一次記錄)的同步情況葛暇!如果用XD-6D測量皂汞,即可得到6個參數(shù)的同步數(shù)據(jù),滿足客戶對于同步性能的測試需求尼软!測試完之后再利用激光干涉儀的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)補(bǔ)償技術(shù)熄晕,可顯著提升設(shè)備的同步性能!


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(API)

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