直線電機也稱線性電機诈胜，線性馬達(dá)裸燎，直線馬達(dá)竟趾，推桿馬達(dá)耙考，是一種新型電機，具有高加速劣秦、高減速王菲、運動慣量小、高靈敏蔼邓、系統(tǒng)剛性好羽矮、使用壽命長、安全可靠等優(yōu)點侨懈，與光柵尺配合可形成閉環(huán)控制系統(tǒng)』驹椋現(xiàn)其應(yīng)用日益廣泛，在計算機、自動化穴肄、精密直線位移的機械手等方面大有取代傳統(tǒng)電機之勢娇符。磁懸浮列車上就是用直線電機來驅(qū)動的。

這種電機在生產(chǎn)過程中需要對其步長進(jìn)行檢測和調(diào)整從而達(dá)到更高的精度指標(biāo)人度，我們可以按照設(shè)定的運動步長控制直線電機運行遂撮，利用激光干涉測量每運行一個步長對應(yīng)的定位誤差；根據(jù)定位誤差值建立誤差補償表拉氧，并對位置坐標(biāo)進(jìn)行修正壳坪，再利用修正值控制直線電機運行。

上圖既為利用API激光干涉儀測量直線模組的實例掰烟，API的激光干涉儀具有超高的精度爽蝴，無需三腳架可快速安裝固定，干涉鏡組與主機集成一體纫骑，兩點對光蝎亚，比同類的激光干涉儀測量速度快。API激光干涉儀一次調(diào)光測量先馆，就可以測量出直線模組的定位精度发框，重復(fù)性，反向間隙磨隘，水平方向直線度缤底，豎直方向直線度等幾何精度誤差。

上圖為線性誤差經(jīng)過往返4次測量番捂，最終得到的定位精度為0.0012mm个唧，重復(fù)性為0.0006mm。不僅僅證明了直線電機的高精度设预，也驗證了激光干涉儀自身的超高精度和穩(wěn)定性徙歼。

API激光干涉儀測量線性軸直線度時，無需額外對光焦忌，無需更換光學(xué)鏡組捆牍，在測量線性誤差的同時即可得到雙向直線度誤差。這兩個方向的直線度誤差可直觀實時的顯示在電腦屏幕上绳粮，快捷方便且便于安裝人員調(diào)整跃躯。

另外，DD是directdriver的簡稱需天，即直接驅(qū)動馬達(dá)唯久。API激光干涉儀在DD馬達(dá)的測量方面，為用戶提供了最簡單猩禀，最經(jīng)濟(jì)的解決方案XD5LS激光干涉儀+多面體吕罩。多面體可根據(jù)客戶不同需求選擇12面洒屡、24面或36面棱體。其測量精度可達(dá)1角秒等跳。

上圖為DD旋轉(zhuǎn)馬達(dá)經(jīng)過往返5次測量查奉，最終得到精度為7.9角秒，重復(fù)性為3.01角秒萌狂。實現(xiàn)了非常好的測量效果档玻。

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