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API XD LASER激光干涉儀實現(xiàn)高端精密自動化設(shè)備的高效檢測

高端制造業(yè)的精密自動化設(shè)備需求

伴隨著高端制造產(chǎn)業(yè)如:液晶面板兼蕊、太陽能光伏、鋰電新能源孙技、激光排作、貼裝牵啦、半導(dǎo)體、醫(yī)療制造哈雏、精密噴繪、精密檢測裳瘪、點膠等行業(yè)的興起或進階,帶來了龐大的精密自動化設(shè)備需求熟央;為匹配高端制造業(yè)相應(yīng)技術(shù)要求,自動化設(shè)備的制造及標(biāo)定技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)也在不斷提升善占;這其中,無論是在生產(chǎn)制造過程中的測量檢測遮英、還是在設(shè)備服役期間的校準(zhǔn)標(biāo)定想阎,都是重中之重的環(huán)節(jié)憾侮,為自動化設(shè)備的穩(wěn)定運行提供最堅實的保障瓤梦。

圖1:大理石平臺雙X、Y軸自動化設(shè)備(左上)&檢測中需關(guān)注的誤差種類示意(右下)

高端自動化設(shè)備特征及檢測需求

高端精密自動化設(shè)備作瞄,通常情況,使用大理石平臺框架搭載直線電機驅(qū)動組合的形式較多(如圖1示意)宗挥。這類平臺通常具有兩個X軸、兩個Y軸契耿,且精度方面要求關(guān)注的數(shù)據(jù)比較多。

除了安裝過程中需要嚴(yán)格控制直線度搪桂、垂直度、平行度以外踢械,安裝完畢后魄藕,直線電機運動的線性誤差(定位精度内列、重復(fù)性)、小角度(偏擺角话瞧、俯仰角、滾動角)等數(shù)據(jù)也需要得到充分關(guān)注唉箩。而使用傳統(tǒng)檢測手段實施這些誤差參數(shù)的檢測晕忙,往往耗時耗力交鹊、且精準(zhǔn)度和客觀性難以得到最佳保障膛画。

圖2:XD LASER激光干涉儀測量作業(yè)中(左)&數(shù)據(jù)報告

(右,由上至下依次為:線性誤差曲線圖癞亩、直線度誤差曲線圖传等、角度誤差曲線圖、軟件中的實時數(shù)值顯示)

API解決方案

基于高質(zhì)量檢測標(biāo)準(zhǔn)和針對以上各參數(shù)項的檢測需求绪痘,使用XD LASER激光干涉儀,一次安裝即可同時實現(xiàn)對:線性定位誤差(定位精度钱雷、重復(fù)定位精度、反向間隙)罩抗、直線度誤差(XX方向和YY方向)、垂直度誤差套蒂、以及角度誤差(俯仰角、偏擺角烁挟、滾動角)的檢測(如圖2示意),測量效率較傳統(tǒng)激光干涉儀提升五倍以上骨坑!

XD LASER激光干涉儀特征特點

01實現(xiàn)線性定位誤差測量:包括定位精度撼嗓、重復(fù)定位精度、反向間隙卡啰;

02實現(xiàn)直線度測量:包括垂直于運動軸方向的兩個方向(豎直警没、水平)的直線度胚僧;

03實現(xiàn)角度測量:運動中的俯仰角、偏擺角逾族、滾動角;

04一次安裝可同時測量上述參數(shù)审鸿,無需更換光學(xué)組件,效率較傳統(tǒng)干涉儀提高五倍以上超茎;

05直線度和角度測量中不怕斷光,可以替代準(zhǔn)直儀使用标霎,對安裝進行指導(dǎo)調(diào)整椎崎;

06安裝靈活方便,可以選擇多種安裝方式缰犁,即使在最苛刻的擁擠環(huán)境也可便捷使用;

07精密型可選颇象,充分滿足工廠及實驗室使用需求并徘。

圖3:XD LASER激光干涉儀與應(yīng)用

全面機床誤差檢測&補償解決方案

除XD LASER激光干涉儀外,API還基于自主科研開發(fā)出了SWIVELCHECK角擺檢查儀饮亏、BALLBAR球桿儀、SPINDLECHECK主軸分析儀荐开、VEC大型機床空間誤差補償技術(shù)等機床誤差檢測與補償設(shè)備與技術(shù)简肴,為您提供機床誤差全方位檢測與校準(zhǔn)解決方案,敬請聯(lián)絡(luò)API各地辦事機構(gòu)詳詢尚羽。

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