激光干涉儀與計量檢測

隨著計算機和電子技術(shù)的飛速發(fā)展，數(shù)控機床產(chǎn)業(yè)也有了長足進步，計量檢測要求越來越高效化、精細化严钞。那么如何評價數(shù)控機床質(zhì)量好壞，精度高低就成為了重要的要素忆某。激光干涉儀就是高效点待、準確檢測數(shù)控機床、三坐標弃舒、測長機等的檢測設備癞埠。

激光干涉儀以氦氖激光為載體，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量聋呢，是迄今公認的高精度苗踪，高靈敏度的測量儀器，在高端制造領(lǐng)域應用廣泛。激光干涉儀的使用徒探，避免了傳統(tǒng)人工檢測效率低瓦呼、準確性差喂窟、受人為因素干擾等缺點测暗，具有高效、快捷磨澡、方便的特點碗啄。尤其是在計量檢測領(lǐng)域，成為非常好高效队乔、難以替代的設備隅贫。

本案中，我們將介紹API XD Laser系列激光干涉儀在三坐標拾肚、位移傳感器做销、測長機檢測領(lǐng)域的應用特點和優(yōu)勢。

1奶匆、激光干涉儀測量三坐標示值誤差

隨著三坐標測量機技術(shù)的更新和發(fā)展对夹，傳統(tǒng)的測量檢測手段已經(jīng)難以滿足大型三坐標測量機的檢測要求，在實物標準器無法滿足測量要求時晕围，使用激光干涉儀進行位置示值誤差檢測极哨。從而減少系統(tǒng)誤差，保證三坐標測量機的穩(wěn)定運行和測量數(shù)據(jù)的準確可靠黑寻。

圖1：XD Laser激光干涉儀檢測三坐標測量機

2硼屁、位移傳感器檢測

激光干涉儀檢定位移傳感器的應用已成為一大發(fā)展趨勢，其特點是測量精度高晶恨，反應速度快赠懊，易于數(shù)字化測量。通常抗斤，設計一個精密導軌囚企，將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測，從而形成對比：即位移傳感器自動檢測系統(tǒng)與激光干涉儀定位進行測試對比豪治，得出往復測試實驗結(jié)果洞拨。

圖2：XD Laser激光干涉儀檢測位移傳感器

3、檢定測長機

測長機作為計量檢測室里的主力設備负拟，使用頻率高烦衣，通用性強，需要定期進行檢測掩浙。

傳統(tǒng)的測長機分米刻度尺示值誤差是用三等大量塊及分段專用檢具進行檢定花吟，該方法對環(huán)境要求高，標定方法繁瑣，如何準確地標定測長機的分米刻度尺示值誤差衅澈，是測長機檢定中不可避免的問題键菱。

利用激光干涉儀標定測長機的分米刻度尺示值誤差，快捷今布，準確经备，可有效消除儀器溫度及環(huán)境溫度對檢定結(jié)果的影響。

圖3：XD Laser激光干涉儀檢測測長機

API品牌 XD Laser激光干涉儀應用特點

API品牌 XD Laser系列激光干涉儀掩半，根據(jù)用戶的不同需求瞒脆，分為1D/3D/5D/6D型號。

?1D型號可一次測量：定位精度溉谣、重復定位精度纺闷、反向間隙；

?3D型號可一次測量：定位精度胧含、重復定位精度需复、反向間隙、導軌水平方向直線度费控、垂直方向直線度拓郑、兩軸間垂直度（需五棱鏡附件）；

?5D型號可一次測量：定位精度芦赔、重復定位精度托逝、反向間隙、導軌水平方向直線度桥膝、垂直方向直線度萤皂、兩軸間垂直度（需五棱鏡附件）、俯仰角匣椰、偏擺角裆熙；

?6D型號可一次測量：定位精度、重復定位精度禽笑、反向間隙入录、導軌水平方向直線度、垂直方向直線度佳镜、兩軸間垂直度（需五棱鏡附件）僚稿、俯仰角、偏擺角蟀伸、滾動角蚀同。

根據(jù)精度等級分為：精密型、標準型啊掏。

?精密型精度：0.2μm蠢络；

?標準型精度：0.5μm。

圖4：API品牌XD Laser激光干涉儀

XD Laser激光干涉儀，結(jié)構(gòu)簡單刹孔，兩點對光忧绊，用戶容易掌握；一次調(diào)光可以測量多個參數(shù)缓贤，減少用戶頻繁更換鏡組基列、調(diào)整光的工作量；所有參數(shù)都是一次測量產(chǎn)生眷幢，數(shù)據(jù)基礎(chǔ)好澎矗，一致性高，二次開發(fā)時酒舶，數(shù)據(jù)可靠性得到保證；無需三腳架歇决，有效避免外部振源對測量的影響宇赁，且攜帶方便。

API品牌 XD Laser激光干涉儀廣泛應用在機床制造芹蟹、航空航天凳嘁、軍工裝備、計量檢測绍绽、高兄涣祝科研、職業(yè)培訓泌绣、醫(yī)療器械钮追、3C制造等領(lǐng)域，得到了廣大用戶的認可和好評阿迈。

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